E.DOC - SC
Установка динамического окисления со встроенным водосорбционным скруббером.
Особенности и преимущества:
- Система динамического окисления
- Встроенный водосорбционный скруббер
- Инновационная система очистки от твердых загрязнений
- Минимальное потребление воды
- Длительное время работы без обслуживания
- Очень простое обслуживание
- Полностью герметичный корпус
Обрабатываемые вещества:
- Хлор
- Тетраэтоксисилан (ТЭОС)
- Трёххлористый бор (трихлорид бора)
- Бромистый водород (бромоводород)
- Дихлорсилан
- Аммиак
Каталог сухих форвакуумных насосов и систем нейтрализации опасных газов Ebara (Япония), Русский, 6 МБ