Установки динамического окисления со ступенями влажного скруббирования
Представленные на этой странице установки производятся в США компанией Pure Air System Inc., дочерней компанией корпорации EBARA. Динамическое окисление – наиболее экономически выгодный способ утилизации пирофорных газов. Компания Pure Air Systems Inc. была пионером в области разработки систем утилизации пирофорных газов с 1999 года. Большие потоки пирофорных газов, таких как как SiH4 (силан) интенсивно используются в современной полупроводниковой промышленности и в процессах производства тонкопленочных солнечных батарей. Динамическое окисление обеспечивает один из самых надежных методов утилизации таких газов при самых низких капиталовложениях в оборудование и очень низких эксплуатационных затратах .
Установки динамического окисления могут работать в автономном режиме и быть установлены в непосредственной близости от оборудования, побочные продукты работы которого утилизируются, или так же возможно объединение установок динамического окисления в систему, обрабатывающую выбросы всего предприятия и имеющей централизованное управление. Установки динамического окисления могут быть оснащены механическими фильтрами (S.DOC), динамическими фильтрами (S.DOC Cyclone) или встроенным водяным скруббером, чтобы иметь возможность утилизировать любые растворимые в воде или реагирующие с водой газы (E.DOC-SC).
Особенности и преимущества:
- Динамическое окисление - очень эффективный метод, чтобы уменьшения концентрации побочных пирофорных газов
- Работа установок данной серии основана на инициировании естественных химических взаимодействий для пирофорных веществ
- Высокая эффективность достигается без использования активного горения или электрического нагрева
- Каждая молекула пирофорного газа подвергается многочисленным столкновениям с молекулами кислорода, благодаря чему вероятность реакции окисления достигает практически 100%