Скрубберы и установки нейтрализации газообразных отходов

Производство полупроводниковых приборов, солнечных батарей, LCD мониторов связано с образованием опасных твердых и газообразных отходов. В процессах производства выделяются смеси ядовитых, агрессивных, горючих или коррозийных газов. Все более и более ужесточающиеся экологические требования обязывают тщательно обрабатывать и утилизировать такие побочные продукты производства, прежде чем они попадут в окружающую среду.

Компания Vacuum Techno предлагает комплексные решения на базе оборудования EBARA для нейтрализации и обработки побочных газов непосредственно в месте их выделения для производителей микроэлектроники, фотовольтаики, дисплеев и исследовательских организаций. Большинство оборудования EBARA для утилизации и обработки газообразных отходов предназначено для компактного монтажа в непосредственной близости от оборудования, производящего эти побочные газы: напылительных установок, установок эпитаксиального роста, плазмохимического травления и т.д. Таким образом сводятся к минимуму риски, которые возникали бы при транспортировке и хранении опасных газов. Модельный ряд оборудования для утилизации выбросов включает водособционные скрубберы, установки высокотемпературного разложения со ступенями влажного сруббирования, установки каталитического динамического окисления и термического окисления. Все технологические решения компании Ebara для утилизации вредных выбросов разработаны с учетом минимальной стоимости владения, очень высокой надежности и соответствия самым строгим мировым стандартам в области экологии и защиты окружающей среды.

Опыт компании Ebara как одного из ведущих поставщиков оборудования для нейтрализации выбросов в микроэлектронике и смежных отраслях промышленности, говорит о том, что не существует одного универсального и в то же время оптимального решения для любого производства. Ключ к правильному подбору оборудования для утилизации вредных выбросов лежит в четком понимании состава утилизируемых газов и производственных процессов, при которых они выделяются. Зачастую даже при производстве схожих элементов, например солнечных батарей, но по разным технологиям, требуются различные комплектации оборудования для работы с газообразными выбросами для эффективной их утилизации и защиты окружающей среды и здоровья людей. В то же время в модельном ряду представлены установки, сочетающие в себе различные современные методы обработки опасных побочных продуктов и обладающие высокой эффективностью при работе с целым спектром наиболее применяемых в полупроводниковом производстве газов.