S.DOC
Установка динамического окисления силана с механическим фильтром.
Используется для работы с пирофорными газами.
Особенности и преимущества:
- Производительность до 100 ст. л/ мин.
- Нейтрализация силана >99%
- Очистка от твердых частиц >99%
- Низкий расход воздуха на уплотнения
- выходной патрубок адаптирован для подключения
следующей ступени очистки
- не требуется охлаждающая вода или топливо
- очень компактные размеры
Обрабатываемые вещества:
- Силан
- Тетраэтоксисилан (ТЭОС)
- Дихлорсилан
- Алкилфосфин (фосфин, фосфористый водород)
- Аммиак
- Вольфрам
Каталог сухих форвакуумных насосов и систем нейтрализации опасных газов Ebara (Япония), Русский, 6 МБ