Установки термо-динамического окисления со ступенями влажного скруббирования E.DOC-TH.
Динамическое окисление – наиболее экономически выгодный способ утилизации пирофорных газов. Компания Pure Air Systems Inc. (корпорация EBARA) была пионером в области разработки систем утилизации пирофорных газов с 1999 года. Большие потоки пирофорных газов, таких как как SiH4 (силан) интенсивно используются в современной полупроводниковой промышленности и в процессах производства тонкопленочных солнечных батарей. Динамическое окисление обеспечивает один из самых надежных методов утилизации таких газов при самых низких капиталовложениях в оборудование и очень низких эксплуатационных затратах .
Установки динамического окисления могут работать в автономном режиме и быть установлены в непосредственной близости от оборудования, побочные продукты работы которого утилизируются, или так же возможно объединение установок динамического окисления в систему, обрабатывающую выбросы всего предприятия и имеющей централизованное управление. Установки E.DOC-TH объединяют преимущества методов динамического и термического окисления, а также имеют встроенный водосорбционный сруббер.
Особенности:
• Термическое окисление - высокоэффективный метод утилизации опасных газов
• Не требуется топливо
• Температура, при которой происходит реакция: 900 - 1100°C.
• Как окислитель используется воздух из окружающей среды
• Легко масштабируемая система, производительность до 1600 ст. л/мин. с 8 входами газа.
Конструктивные преимущества:
• Термическое окисление
• Динамическое окисление
• Водособционный скруббер
• Двойной блок электрического нагрева до 1100°C
• Многофункциональный распылитель воды
• Скруббер с функцией реверса
• Механизм самоочистки
• Простое обслуживание
• Минимальное время на обслуживание
Обрабатываемые вещества:
- Хлор
-Трёххлористый бор (трихлорид бора)
- Бромистый водород (бромоводород)
- Алкилфосфин (фосфин, фосфористый водород)
- Арсин (мышьяковистый водород)
- C2F6 - CF4