Вакуумные напылительные установки (установки осаждения тонких пленок) CRYOFOX, производства компании POLYTEKNIK (Дания).
Polyteknik - известная датская компания, специализирующаяся более 15 лет на производстве и разработке высокотехнологичных напылительных установок и машин для модификации поверхностей серии Cryofox. Основные области применения установок Cryofox: полупроводниковая промышленность, оптические покрытия, MEMS, производство солнечных батарей, исследования, функциональные покрытия, производство дисплеев. Все установки Cryofox проектируются и изготавливаются компанией Polyteknik на заводе в Дании. Один из основных акционеров компании Polyteknik датский концерн Danfoss.
Cryofox Explorer 700 многофункциональная установка осаждения тонких пленок
Explorer 700 это базовая установка магнетронного и электронно-лучевого осаждения тонких пленок для особо требовательных применений. Концепция системы объединяет идеальные возможности для получения оптических покрытий, “Lift Off” технологии, MEMS приложений и широкого спектра исследовательских применений. Специальная двойная конструкция вакуумной камеры с загрузочным шлюзом обеспечивает большое расстояние от подложки до электронно-лучевого источника и малое расстояние до магнетронов. Благодаря свободному выбору электронно-лучевых источников и магнетронов могут быть получены пленки с большим количеством слоев в одной установке без разрыва вакуума.
В технологии “Lift Off” требуется очень равномерное (прямолинейное) осаждение материала. Explorer 700 благодаря очень большому расстоянию между подложкой и ионными источниками задает новые стандартны качества осаждения в “Lift Off” технологии. Такое расположение источников является также предпочтительным для классического электронно-лучевого осаждения оптических покрытий. Если установка оснащена магнетронами, то их наличие делает установку наиболее приспособленной для получения современных оптических покрытий.
В области MEMS технологий Explorer 700 имеет уникальное преимущество благодаря возможности выбора между осаждением на всю поверхность подложки (магнетронное осаждение высокого давления) или направленным осаждением с использованием электронно-лучевого источника.
Наличие шлюзовой загрузочной камеры обеспечивает защиту распыляемых материалов от окисления и быструю откачку после загрузки подложки.
Explorer 700 отлично подходит как для реактивного, так и для нереактивного осаждения.
Explorer 700 спроектирована с учетом возможности установки в чистых комнатах.
Механика- Расстояние между источниками и подложкодержателем: электронно-лучевой источник - 1060мм, магнетроны - 150 мм
- Камера из высококачественной электрохимически полированной нержавеющей стали
- Управление наклоном и вращением подложки
- Нагрев подложки
- Охлаждение подложки (опция)
Процесс
- Электронно-лучевой источник (одно- или многотиглевый, с возможностью совместного осаждения)
- До четырех DC/RF магнетронов 6”
- Один или несколько резистивных испарителей (опционально)
- Плазменная очистка (травление) в шлюзовой камере
- Ионное ассистирование (опционально)
Обеспечение процесса
- Пластинчато-роторный или спиральный форвакуумный насос
- Турбомолекулярный или криогенный высоковакуумный насос
- Один или несколько цифровых регуляторов потока газов
- Водяное охлаждение
Контроль процесса
- Полностью автоматический контроль технологического процесса для идеального результата
- Полностью автоматическое или ручное управление системой
- Система Windows XP для удобства оператора
- Очень удобная операторская панель с продуманным меню
- Возможность полного удаленно управления через Internet (опция)
- Система протоколирования (опция)
- Кварцевый измеритель толщины пленки, интегрированный в систему управления установкой
- Квадрупольный масс-спектрометр (опция)
- Оптический контроль толщины (опция)
Дополнительное оборудование
- Чиллер (опционально)
Cryofox Explorer 600 компактная высоковакуумная многофункциональная установка осаждения тонких пленок.
Explorer 600 LT идеально подходит для “Lift Off” технологии. В процессах “Lift Off” технологии важно очень равномерное осаждение материала. Благодаря большому расстоянию между подложкой и источником в Explorer 600 LT обеспечивается высокая равномерность осаждаемого слоя.
Explorer 600 LT – это очень универсальная установка, специально разработанная для производства и исследований. Установка основана на технологии электронно-лучевого испарения. В зависимости от требований технологического процесса заказчика установка может быть оснащена магнетронами, ионными источниками, резистивными источникаами.
Благодаря компактным размерам установка легко транспортируется и ее можно разместить в условиях действующих лабораторий и производств. Требуется дверной проем шириной всего 850 мм и высотой 1900 мм.
Все установки Cryofox разработаны с учетом возможности установки в чистых комнатах.
Все установки Cryofox рассчитываются, проектируются и производятся на заводе Polyteknik AS (Дания).
Механика- Расстояние между источником и подложкодержателем около 750 мм
- Камера из высококачественной нержавеющей стали (электрохимическая полировка опционально)
- Максимальный размер подложки 200 мм
- Охлаждение/ нагрев подложки (опционально)
- Габаритные размеры
Вакуумный блок: 1047 x 816 x 1848 мм
Блок управления: 1044 x 624 x 1848 мм
Процесс
- Электронно-лучевой источник (одно- или многотиглевый)
- Один или несколько резистивных испарителей (опционально)
- Плазменная очистка (травление) в шлюзовой камере
- Ионное ассистирование (опционально)
Обеспечение процесса
- Пластинчато-роторный или спиральный форвакуумный насос
- Турбомолекулярный или криогенный высоковакуумный насос
- Один или несколько цифровых регуляторов потока газов
- Водяное охлаждение
Контроль процесса- Полностью автоматический контроль технологического процесса для идеального результата
- Полностью автоматическое или ручное управление системой
- Удобная операторская панель с продуманным меню
- Возможность полного удаленно управления через Internet (опция)
- Система протоколирования (опция)
- Кварцевый измеритель толщины пленки, интегрированный в систему управления установкой
- Оптический контроль покрытия (опция)
- Квадрупольный масс-спектрометр (опция)
Дополнительное оборудование
- Чиллер (опционально)
Cryofox PRO 650 PECVD — это высокопроизводительная высоковакуумная установка для осаждения тонких пленок.
Cryofox PRO 650 PECVD — это система для серийного производства, предназначенная для частичного или полного покрытия поверхности 3D изделий, полученных литьевым прессованием.
Неметаллические (полимерные и оксидные) покрытия наносятся с целью модификации поверхности, защиты декоративной отделки, создания барьерной защиты или антидиффузионного слоя.
Использование технологии плазмохимического осаждения из газовой фазы (PECVD) позволяет наносить на изделия различные неметаллические покрытия.
PRO 650 PECVD используется в различных отраслях материального производства, небольших и среднего размера автомобильных производствах, производстве изделий электроники и литьевом прессовании.
Модели PRO предназначены специально для напыления масочных и безмасочных покрытий на пластмассовые изделия, в том числе плоские, полученные литьевым прессованием.
В моделях PRO используются горизонтальные цилиндрические камеры.
Все системы Cryofox легко интегрируются в среду чистых комнат.
Все системы Cryofox разрабатываются, проектируются и изготавливаются компанией Polyteknik AS.
Конструкция
- Камера из нержавеющей стали (по запросу: электрохимически полированная сталь)
- Макс. размер маски: ∅540 x 720 мм
- Вращение инструмента с регулируемой частотой
- Орбитальный механизм для нанесения 3D-покрытия на изделия
- Габаритные размеры:
Вакуумный модуль: 1004 мм Х 1008 мм Х 1848 мм (Г х Ш х В)
Модуль управления: 1044 мм Х 624 мм Х 1848 мм (Г х Ш х В)
Обеспечение процесса
- Безмасляный насос для низкого вакуума
- Крионасос для высокого вакуума
- Один или несколько регуляторов массового расхода для подачи газа и исходного вещества
- Водяное охлаждение ответственных деталей технологического оборудования и антенной системы
Контроль процесса
- Полностью автоматический контроль технологического процесса
- Полностью автоматическое или ручное управление системой
- Очень удобный интерфейс управления системой на основе надежного ПЛК-управления
- Контроль и управление системой через Интернет (дополнительно)
- Система протоколирования данных (дополнительно)
- Анализатор остаточных газов и ПК для протоколирования (дополнительно)
Процесс
- PECVD технология напыления покрытий из одного или нескольких полимерных и/или оксидных слоев
- Среднечастотный блок питания для PECVD процессов
- Плазменная очистка (травление)
Дополнительное оборудование
- Чиллер (по запросу)
- Тележки для перемещения инструмента
WEB 5000
Cryofox Web 5000 — это система для нанесения покрытий на гибкие подложки в виде рулонов, требующие деликатного обращения, подаваемые с размоточного на намоточный барабан. Эта установка позволяет наносить металлические и неметаллические покрытия на полимерные и металлические рулонные материалы.
В установке Cryofox Web 5000 для нанесения покрытий используется зона плазменного процесса для плазменной очистки или процесса химического осаждения из газовой фазы (CVD) и зона распыления десятью DC или RF магнетронами.
Применения:
- Задние электроды для тонкопленочных солнечных элементов
- Подложки для тонкопленочных фотогальванических солнечных элементов
- Электроды для DEAP технологии
- Обработка поверхности или улучшение характеристик промышленных материалов
- Подложки для устройств отображения
Все системы Cryofox и WEB разрабатываются, проектируются и изготавливаются компанией Polyteknik AS.
Конструкция
- Камера из мягкой низкоуглеродистой стали (по запросу из нержавеющей стали)
- Внутренние размеры камеры: приблизительно 700 мм Х 700 мм Х 5000 мм (Ш х В х Д)
- Объем камеры: 2500 л
- Макс. ширина рулонного материала: 400 мм
- Возможна обработка рулонного материала с низким натяжением
- Регулируемая скорость подачи рулонного материала
- Подача рулонного материала с размоточного на намоточный барабан
- Возможна система маскирования
- Габаритные размеры:
Вакуумный модуль и модуль управления:
8000 мм Х 3000 мм Х 2600 мм (Д х Г х В)
Обеспечение процесса
- Безмасляный насос для низкого вакуума (и PECVD зоны)
- Крионасос для высокого вакуума
- Один или несколько регуляторов массового расхода для подачи газа и исходного вещества, если необходимо
- Водяное охлаждение ответственных деталей технологического оборудования
Контроль процесса
- Полностью автоматический контроль технологического процесса
- Полностью автоматическое или ручное управление системой
- Очень удобный интерфейс управления системой на основе надежного ПЛК-управления
- Контроль и управление системой через Интернет (дополнительно)
- Система протоколирования данных (дополнительно)
- Анализатор остаточных газов и ПК для протоколирования (дополнительно)
Процесс
- DC/RF магнетроны – прямоугольные (до 10 шт.)
- PECVD процесс по запросу
- Плазменная очистка (травление)
- Возможны изолированные зоны давления и состава газа для отдельных процессов
Дополнительное оборудование
- Чиллер (по запросу)
- MOWEB – модульное оборудование для перемещения рулонного материала по запросу (см. отдельную брошюру)
Подробная информация по напылительным установкам серии Cryofox, производства компании Polyteknik (Дания):
Explorer 700
Explorer 600LT
Explorer 600 LT Flex
Explorer 600 Solar
Discovery 500
Discovery 600 Solar
PRO 650 PECVD
PRO 650 Sputtering
PRO 650 Web
WEB 5000
Cryofox Cluster
Tornado
Отзывы наших клиентов
Другие рекомендации вы можете посмотреть в разделе Отзывы наших клиентов