Плазменные установки TETRA-30-LF-PC
Мелкосерийная промышленная установка plasma system TETRA-30-LF с 30 - литровой камерой и компьютерным управлением используется в производственных процессах для: очистки, травления и активации.
Промышленная установка (plasma system) "TETRA-30-LF-РС" с компьютерным управлением для: очистки, активации, травления, нанесения покрытий
Технические характеристики
|
Технические характеристики: |
Plasma etcher TETRA-30-LF-PC |
|
Шкаф распределительного устройства: |
Ш 600 mm, В 2.200 mm, Г 850 mm |
|
Камера: |
Ш 305 mm, В 300 mm, Г 370 mm |
|
Объем камеры: |
~ 34 литра |
|
Подвод газа: |
3 канала подвода газа с электронной регулировкой (MFC) |
|
Генератор: |
40кГц/0-1000 Вт |
|
Комплектация: |
до 6 ярусов(до 6 подложек для обрабатываемых образцов) |
|
Управление: |
ПК управление(Windows) |