Плазменные установки TETRA-150-LF-РС
Производственная установка "Plasma system TETRA-150-LF-РС" с камерой на 150 л и компьютерным управлением применяется для очистки, травления и активации.
 |
 |
|
Plasma system TETRA-150-LF-PC для очистки, активации и травления поверхности в промышленном производстве. |
Шестиярусный блок загрузки камеры и вращающийся барабан для систем TETRA (plasma system) |
Plasma system TETRA-150-LF-PC для очистки, активации и травления поверхности в промышленном производстве.
Технические характеристики
|
Технические характеристики: |
Plasma etcher TETRA 150-LF-PC |
|
Шкаф распределительного устройства: |
Ш 1000 mm, В 2.100 mm, Г 1000 mm |
|
Камера: |
Ш 400 mm, Г 625 mm, В 600 mm |
|
Объем камеры: |
~ 150 литров |
|
Подвод газа: |
max. 2 канала подвода газа с электронной регулировкой (MFC) |
|
Генератор: |
40 кГц / 0 – 2.500 Вт |
|
Вакуумный насос: |
Leybold, тип D65B (65 m³/h) |
|
Комплектация: |
До 16 ярусов(до 16 подложек для обрабатываемых образцов) |
|
Управление: |
ПК управление (Windows) |