Плазменные установки TETRA-100-LF-РС
Промышленная установка plasma system TETRA-100-LF-РС со 100 - литровой камерой и компьютерным управлением используется в производственных процессах для: очистки, травления и активации.
 |
 |
|
Plasma system TETRA-100-LF-PC для очистки, активации и травления поверхности в промышленном производстве. |
Шестиярусный блок загрузки камеры и вращающийся барабан для систем TETRA (plasma system) |
Plasma system TETRA-100-LF-PC для очистки, активации и травления поверхности в промышленном производстве.
Технические характеристики
|
Технические характеристики: |
Plasma etcher TETRA 100-LF-PC |
|
Шкаф распределительного устройства: |
Ш 600 mm, В 2.200 mm, Г 800 mm |
|
Камера: |
Ш 400 mm, Г 625 mm, В 400 mm |
|
Объем камеры: |
~ 100 литров |
|
Подвод газа: |
max. 3 канала подвода газа с электронной регулировкой (MFC) |
|
Генератор: |
40 кГц / 0 – 2.500 Вт |
|
Вакуумный насос: |
Leybold, тип D40B (40 m³/h) |
|
Комплектация: |
До 10 ярусов(до 10 подложек для обрабатываемых образцов) |
|
Управление: |
ПК управление (Windows) |