Плазменные установки TETRA-100-LF
Промышленная установка "plasma system TETRA-100-LF" с камерой на 100 л и автоматическим управлением применяется для очистки, травления и активации.
"Plasma system TETRA-100-LF" применяется для очистки, активации и травления |
Шестиярусный блок загрузки камеры и вращающийся барабан для систем TETRA (plasma system) |
"Plasma system TETRA-100-LF" : применяется для очистки, активации и травления
Технические характеристики
Технические характеристики: |
Plasma cleaner TETRA 100-LF |
Шкаф распределительного устройства: |
Ш 600 мм, В 2.200 мм, Г 800 мм |
Камера: |
Ш 400 мм, В 400 мм, Г 625 мм |
Объем камеры: |
~ 100 литров |
Подвод газа: |
2 регулятора расхода газа с игольчатыми клапанами |
Генератор: |
40 кГц / 0 – 2.500 Вт |
Вакуумный насос: |
Leybold, тип D40B (40 м³/ч) |
Комплектация: |
До 10 ярусов(до 10 подложек для обрабатываемых образцов) |
Управление: |
автоматическое, время устанавливается таймером |