Плазменные установки TETRA-100-LF


Промышленная установка "plasma system TETRA-100-LF" с камерой на 100 л и автоматическим управлением применяется для очистки, травления и активации.




"Plasma system TETRA-100-LF" применяется для очистки, активации и травления

Шестиярусный блок загрузки камеры и вращающийся барабан для систем TETRA (plasma system)


"Plasma system TETRA-100-LF" : применяется для очистки, активации и травления


Технические характеристики


Технические характеристики:

Plasma cleaner TETRA 100-LF

Шкаф распределительного устройства:

Ш 600 мм, В 2.200 мм, Г 800 мм

Камера:

Ш 400 мм, В 400 мм, Г 625 мм

Объем камеры:

~ 100 литров

Подвод газа:

2 регулятора расхода газа с игольчатыми клапанами

Генератор:

40 кГц / 0 – 2.500 Вт
(опционально: 13,56 МГц или2,45 ГГц)

Вакуумный насос:

Leybold, тип D40B (40 м³/ч)

Комплектация:

До 10 ярусов(до 10 подложек для обрабатываемых образцов)
(опционально: вращающийся барабан)

Управление:

автоматическое, время устанавливается таймером