Плазменные установки PICO UHP
Малогабаритная установка "Plasma system PICO UHP" с камерой объёмом 5 литров и полуавтоматическим управлением, применяется в следующих отраслях промышленного производства:
- Малосерийное производство
- Аналитика (REM, TEM)
- Медицинская техника
- Стерилизация
- Научно-исследовательские работы
- Археология
- Текстильное производство
- Полупроводниковые технологии
- Технологии обработки полимерных материалов
Эта плазменная система не имеет стальной плазменной камеры, 
что позволяет использовать плазму, где содежание хрома, никеля или железа в течение плазменной обработки недопустимо. Металлическая камера заменена на стеклянную или кварцевую со специальными фланцами. (Plasma system PICO)
Малогабаритная установка (plasma system) "PICO UHP":
может использоваться для очистки оптических элементов конструкции.
Технические характеристики
|
Технические характеристики: |
Plasma etcher Pico |
|
Шкаф распределительного устройства: |
Ш 550 мм, В 330 мм, Г 500 мм |
|
Камера: |
Ø 130 мм, Г 300 мм |
|
Объем камеры: |
~ 4 литра |
|
Подвод газа: |
2 регулятора расхода газа с игольчатыми клапанами |
|
Генератор: |
40 кГц / 100 Вт, бесступенчатый (опционально: 13,56 МГц или 2,45 ГГц) |
|
Вакуумный насос: |
Leybold, тип D 5B (5 м³/ч) |
|
Комплектация: |
Подложка для обрабатываемых образцов – 1 шт. |
|
Управление: |
Полуавтоматическое, время устанавливается таймером |