Плазменные установки PICO


Лабораторная пятилитровая установка "Plasma system PICO" с полуавтоматическим управлением применяется в следующих отраслях производства:

 

- Мелкосерийное прооизводство
- Аналитика (REM, TEM)
- Медицинская техника
- Научно-исследовательские работы
- Археология
- Полупроводниковая техника
- Техника обработки пластмасс





Малогабаритная установка "plasma system PICO":
исследовательские работы, очистка, травление, оптика, лазерная техника


Технические характеристики


Технические характеристики:

Plasma cleaner PICO

Шкаф распределительного устройства:

Ш 550 мм, В 330 мм, Г 500 мм

Камера:

Ø 150 мм, Г 320 мм

Объем камеры:

~ 5 литров

Подвод газа:

2 регулятора расхода газа с игольчатыми клапанами

Генератор:

40 кГц / 200 Вт, бесступенчатый (опционально: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Вакуумный насос:

Leybold, тип Trivac D5B (5 м³/ч)

Комплектация:

Подложка для обрабатываемых образцов – 1 шт.

Управление:

Ручное, время устанавливается таймером