Плазменные установки NANO UHP
Малогабаритная установка "Plasma system NANO UHP" с камерой объёмом 18 литров и полуавтоматическим управлением, используется, главным образом, в следующих отраслях производства:
- Мелкосерийное производство
- Аналитика (REM, TEM)
- Электротехника
- Техника обработки пластмасс
- Техника эластомеров
- Научно-исследовательские работы
Эта плазменная система не имеет стальной плазменной камеры, что позволяет использовать плазму, где содежание хрома, никеля или железа в течение плазменной обработки недопустимо. Металлическая камера заменена на стеклянную или кварцевую со специальными фланцами. (Plasma system NANO UHP)
Малогабаритная установка (plasma system) "NANO UHP" с полуавтоматическим управлением:
очистка, активация, травление, насенение покрытий
Технические характеристики
|
Технические характеристики: |
Plasma etcher NANO UHP |
|
Шкаф распределительного устройства: |
Ш 580 мм, В 650 мм, Г 600 мм |
|
Камера: |
Ø 240 мм, Г 400 мм (опционально: L 600 мм) |
|
Объем камеры: |
~ 18 литров |
|
Подвод газа: |
2 регулятора расхода газа с игольчатыми клапанами |
|
Генератор: |
40 кГц / 300 Вт, бесступенчатый (опционально: 13,56 МГц или 2,45 ГГц) |
|
Вакуумный насос: |
Leybold, тип D8B (8 м³/ч) |
|
Комплектация: |
Подложка для обрабатываемых образцов – 1 шт. |
|
Управление: |
Полуавтоматическое, время устанавливается таймером |