Плазменные установки ATTO – LOW COST


10,5-литровая лабораторная установка "Plasma system ATTO" с полуавтоматическим управлением применяется в следующих областях:



- Малосерийное производство
- Аналитика (REM, TEM)
- Медицинская техника
- Стерилизация
- Научно-исследовательские работы
- Археология
- Текстильное производство
- Полупроводниковые технологии
- Технологии обработки полимерных материалов




Low cost plasma system ATTO:
Исследовательские работы, очистка, активация, травление (мелкосерийные процессы)


Технические характеристики


Технические характеристики:

Plasma cleaner Atto

Шкаф распределительного устройства:

Ш 425мм, В 275мм, Г 450мм

Камера:

Материал стекло, Ø 211 мм, Г 300 мм

Объем камеры:

~ 10,5 литра

Подвод газа:

2 регулятора расхода газа с игольчатыми клапанами

Генератор:

40 кГц /200 Вт или 13,56 мГц /50 Вт

Вакуумный насос:

Всасывающий: 2 м³/час

Комплектация:

Подложка для обрабатываемых образцов – 1 шт.

Управление:

Ручное, время устанавливается таймером