Блоки питания для напылительных установок En Technologies

Компания EN Technologies - корейская компания, работающая в сфере производства электронной техники. Номенклатура выпускаемого оборудования включает в себя блоки питания, электрические распределительные устройства, устройства беспроводного интернета. Блоки питания, производимые компанией, используются в полупроводниковой технологии, производстве ЖК дисплеев, солнечных батарей и других высокотехнологичных технологиях. Оборудование компании поставляется в различные страны, например, Японию, Тайвань.

В разделе вы можете выбрать блоки питания следующих серий: EnerPulse Duo для дуального магнетронного распыления; EnerPulse HV для ионной очистки; EnerPulse для магнетронного распыления; EnerStream для магнетронного распыления; EnerWorks/IDU-200N для дугового нанесения покрытий; Forte I для ионно-лучевой обработки; Genius для атмосферного плазменного разряда; Hercules для ионной очистки; модулятор PulseGen Duo для дуального магнетронного распыления; модулятор PulseGen для магнетронного распыления.

Каталог оборудования En Technoloies на английском языке

Протокол связи: Руководство на английском языке

Биполярный импульсный блок питания для дуального магнетронного распыления EnerPulse Duo

Особенности EnerPulse Duo
Высокая надежность:

- Контроль высокой плотности импульсной плазмы
- Разработан для процессов импульсного дуального магнетронного распыления
- Стабильная топология с падающей характеристикой
- 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
- Низкие помехи и шумы

Высоконадежная защита от дуги:

- Самая низкая энергия образования дуги (менее чем 1 мДж/кВт)
- Быстрое обнаружение дуги и прерывание
- Превосходные характеристики управления и быстрого изменения сопротивления

Превосходная производительность:

- Широкий рабочий диапазон
- Регулируемая частота и длительность импульса

Преимущества:

- Улучшенное качество тонких пленок за счет минимизации загрязнения мишени
- Легкая интеграция в систему и техпроцесс
- Удобная работа
- Повышенная производительность
- Низкие затраты на владение

Применения:

- TCO покрытия для производства дисплеев (LCD, OLED и т.д.)
- PDP фильтры, тонкопленочные солнечные батареи
- Архитектурное стекло, Хранилища данных
- Напыление на корпуса мобильных телефонов
- ITO покрытия для сенсорных панелей
- Нанесение оптических покрытий (просветляющие покрытия и т.д.)
- Осаждение нитридов и оксидов
- PECVD процессы, импульсная очистка

Технические характеристики

Характеристики	EnerPulse5 Duo	EnerPulse10 Duo
Питание	3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц
Выходная мощность	5 кВТ	10 кВт
Выходное напряжение	800 В (Max. 1200 В)
Выходной ток	12.5 А	25 А
Регулировка	Мощность/Ток/Напряжение
Форма сигнала	Симметричный биполярный импульсный
Частота	20-150 кГц
Время выключения	2-6 мс
Энергия дуги	менее чем 1 мДж/кВт
Охлаждение	Принудительное воздушное
Размеры, мм	В133 х Ш 483 х Г 605
Вес, кг	26.5	29.5

Униполярный импульсный блок питания для ионной очистки EnerPulse HV

Особенности униполярного импульсного блока питания
Высокая надежность

- Оптимизирован для высоковольтной ионной очистки и низковольтных Bias процессов
- Стабильная топология с падающей характеристикой
- 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
- Низкие помехи и шумы

Высоконадежная защита от дуги

Превосходная производительность

- Широкий рабочий диапазон
- Управление различными режимами

Преимущества:

- Улучшенное качество тонких пленок за счет высокой производительности
- Легкая интеграция в систему и техпроцесс
- Удобная работа
- Повышенная производительность
- Низкие затраты на владение

Применения:

- Ионная бомбардировка (высоковольтная очистка)
- Pulse Bias

Технические характеристики

Характеристики	EnerPulse5 HV	EnerPulse10 HV
Питание	3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц
Выходная мощность	5 кВТ	10 кВт
Выходное напряжение	1400 В
Выходной ток	6.5 А	13 А (опционально до 40 А)
Регулировка	Мощность/Ток/Напряжение
Форма сигнала	Униполярный импульс
Частота	20-120 кГц
Время выключения	25 – 90 %
Энергия дуги	менее чем 1 мДж/кВт
Охлаждение	Принудительное воздушное
Размеры, мм	В133 х Ш 483 х Г 605
Вес, кг	26.5	29.5

Импульсный блок питания постоянного тока для магнетронного распыления EnerPulse

Особенности импульсного блока питания постоянного тока EnerPulse
Высокая надежность:

- Контроль высокой плотности импульсной плазмы
- Разработан для процессов импульсного распыления
- Стабильная топология с падающей характеристикой
- 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
- Низкие помехи и шумы

Высоконадежная защита от дуги:

Превосходная производительность:

- Широкий рабочий диапазон
- Регулируемая частота и длительность импульса

Преимущества:

- Улучшенное качество тонких пленок за счет высокой производительности
- Легкая интеграция в систему и техпроцесс
- Удобная работа
- Низкие затраты на владение

Применения:

- TCO покрытия для производства дисплеев (LCD, OLED и т.д.)
- PDP фильтры, тонкопленочные солнечные батареи
- Архитектурное стекло, Хранилища данных
- Напыление на корпуса мобильных телефонов
- ITO покрытия для сенсорных панелей
- Осаждение нитридов и оксидов
- PECVD процессы, импульсная очистка

Ener Pulse 5: Руководство по эксплуатации на английском языке

Технические характеристики

Характеристики	EnerPulse5	EnerPulse10	EnerPulse10LV
Питание	3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц
Выходная мощность	5 кВТ	10 кВт	10 кВт
Выходное напряжение	800 В (Max. 1200 В)	800 В (Max. 1200 В)	800 В (Max. 1050 В)
Выходной ток	12.5 А	25 А	33.3 А
Регулировка	Мощность/Ток/Напряжение
Форма сигнала	Импульсный постоянный ток
Частота	20-150 кГц
Время выключения	1.5-7 мс, в режиме постоянного тока
Энергия дуги	менее чем 1 мДж/кВт
Охлаждение	Принудительное воздушное
Размеры, мм	В133 х Ш 483 х Г 605
Вес, кг	26.5	29.5	29.5

Блок питания постоянного тока для магнетронного распыления EnerStream

Особенности блока питания постоянного тока EnerStream
Высокая надежность:

- Разработан для магнетронного распыления на постоянном токе
- Стабильная топология с падающей характеристикой
- 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
- Низкие помехи и шумы
- Уменьшенные выходные пульсации

Высоконадежная защита от дуги:

- Самая низкая энергия образования дуги (менее чем 0,5 мДж/кВт)
- Быстрое обнаружение дуги и прерывание
- Превосходные характеристики управления и быстрого изменения сопротивления
- Встроенный параметр управления дугой

Превосходная производительность:

- Широкий рабочий диапазон
- Возможность параллельного использования (до 160 кВт/8 блоков)
- Постоянный контроль мощности и силы тока
- Возможность использования с источником PulseGen (импульсный модулятор), что позволяет использовать блок питания как высокоемкостной источник питания
- Дружественный пользователю интерфейс

Преимущества:

Применения:

- Напыление на полупроводниковые пластины
- Металлические и TCO покрытия для производства дисплеев (LCD, OLED и тд)
- PDP фильтры, тонкопленочные солнечные батареи
- Архитектурное стекло, хранилища данных
- Напыление на корпуса мобильных телефонов
- ITO покрытия для сенсорных панелей
- Напыление на автомобильные диски и производство ламп, FCCL
- Ионное азотирование

Технические характеристики

Характеристики	EnerStream 10	EnerStream 15	EnerStream 20
Питание	3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц
Выходная мощность	10 кВТ	15 кВт	20 кВт
Выходное напряжение	800 В
Выходной ток	25 А (400 В)	37.5 А (400 В)	50 А (400 В)
Регулировка	Мощность/Ток/Напряжение
Энергия дуги	менее чем 0.5 мДж/кВт
Охлаждение	Принудительное воздушное
Размеры, мм	В133 х Ш 483 х Г 605
Вес, кг	26.5	29.5	29.5

Блок питания постоянного тока для дугового нанесения покрытий EnerWorks/IDU-200N

Особенности EnerWorks/IDU-200N
Высокая надежность:

- Оптимальное управление для дугового напыления
- Стабильная топология с падающей характеристикой
- 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
- Пониженные выходные пульсации
- Внутреннее циркуляционное охлаждение
- Компактные размеры

Превосходная производительность:

- Автоматический триггер и перезагрузка
- Самодиагностика
- Параллельная работа

Преимущества:

- Легкая интеграция в систему и техпроцесс
- Дружественный пользователю интерфейс
- Увеличенный выпуск продукции
- Низкие затраты на владение

Применения:

- Упрочняющие покрытия для инструментов и металлических деталей
- Декоративные цветные покрытия
- Покрытия автомобильных и электронных компонентов
- Упрочняющие покрытия для металлических корпусов мобильных телефонов

Технические характеристики

Характеристики	EnerWorks 100	IDU-200N
Питание	3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц
Выходная мощность	5 кВТ	10 кВт
Выходное напряжение	50 В (Max. 70 В)
Выходной ток	100 А	200 А
Регулировка	Ток
Охлаждение	Принудительное воздушное
Размеры, мм	В133 х Ш 483 х Г 543	В178 х Ш 483 х Г 605
Вес, кг	27.5	31.0

Блок питания постоянного тока для ионно-лучевой обработки Forte I

Особенности блока питания Forte I
Высокая надежность:

- Оптимальное управление ионного луча
- Стабильная топология с падающей характеристикой
- 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
- Пониженные выходные пульсации
- Низкие помехи и шумы

Высоконадежная защита от дуги:

Преимущества:

- Легкая интеграция в систему и техпроцесс
- Удобная работа
- Повышенная производительность
- Низкие затраты на владение

Применения:

- Обработка поверхностей
- Напыление с ионно-лучевым ассистированием
- Ионно-лучевое напыление

Forte I-302 (протокол): Руководство на английском языке

Forte I-302: Руководство по эксплуатации на английском языке

Технические характеристики

Характеристики	Forte I-302
Питание	3 Ф, 208/220/380 В, 50-60 Гц
Выходная мощность	6 кВТ
Выходное напряжение	3000 В
Выходной ток	2000 мА
Регулировка	Мощность/Ток/Напряжение
Время выключения	1.5-7 мс, в режиме постоянного тока
Энергия дуги	менее чем 1 мДж/кВт
Охлаждение	Принудительное воздушное
Размеры, мм	В133 х Ш 483 х Г 565
Вес, кг	18.5

Квазиимпульсный блок питания для атмосферного плазменного разряда Genius

Особенности квазиимпульсного блока питания Genius
Высокая надежность:

- Управление плазмой высокой плотности
- Оптимален для процессов DBD (диэлектрический барьерный разряд)
- Стабильная топология с падающей характеристикой
- 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
- Низкие помехи и шумы

Превосходная производительность:

- Автоматический триггер и перезагрузка
- Самодиагностика
- Параллельная работа
- Квазиимпульсный
- Широкий рабочий диапазон
- Регулируемая частота (20-60 кГц)
- Варьируемая ширина импульса (7 шагов)

Преимущества:

- Легкая интеграция в систему и техпроцесс
- Дружественный пользователю интерфейс
- Увеличенный выпуск продукции
- Низкие затраты на владение
- Принудительное воздушное охлаждение

Применения:

- Очистка поверхностей
- Активация поверхностей
- Сухое травление
- Удаление фоторезиста

Технические характеристики

Характеристики	Genius 2	Genius 6	Genius 10
Питание	3 Ф, 220В, 50-60 Гц
Выходная средняя мощность	2 кВТ	6 кВт	10 кВт
Выходная пиковая мощность	6 кВА	18 кВА	30 кВА
Выходной напряжение	4 – 10 кВ5 – 12 кВ6.5 – 15 кВ	2 – 10 кВ2 – 12 кВ2 – 15 кВ	2 – 10 кВ2 – 12 кВ2 – 15 кВ
Регулировка	Мощность/ Напряжение
Форма сигнала	Квазиимпульсный
Частота	20-150 кГц
Время выключения	1.5-7 мс, в режиме постоянного тока
Охлаждение	Принудительное воздушное
Размеры, мм	В133 х Ш 483 х Г 605
Вес, кг	26.5	29.5	29.5

Блок питания постоянного тока для ионной очистки Hercules

Особенности блока питания Hercules
Высокая надежность:

Высоконадежная защита от дуги:

Превосходная производительность:

- Широкий рабочий диапазон
- Параллельная работа
- Позволяет устанавливать пределы по напряжению/току/мощности
- Стабильный разряд

Преимущества:

Применения:

- Ионная бомбардировка (Высоковольтная очистка)
- Bias

Технические характеристики:

Характеристики	Hercules 10	Hercules 20
Питание	3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц
Выходная мощность	10 кВт	20 кВт
Выходное напряжение	1200 В
Выходной ток	33,3 А (300 В)	80 А (250 В)
Регулировка	Мощность/Ток/Напряжение
Энергия дуги	менее чем 1 мДж/кВт
Охлаждение	Принудительное воздушное
Размеры, мм	В133 х Ш 483 х Г 605
Вес, кг	26.5	29.5

Высокоемкостной импульсный модулятор для дуального магнетронного распыления (объединение с блоком питания EnerStream) PulseGen Duo

Особенности импульсного модулятора PulseGen Duo:
Высокая надежность:

Высоконадежная защита от дуги:

- Самая низкая энергия образования дуги (менее чем 1 мДж/кВт)
- Превосходные характеристики управления и быстрого изменения сопротивления

Превосходная производительность:

- Широкий рабочий диапазон
- Регулируемая частота и длительность импульса
- Соединение с блоком питания EnerStream 20 позволяет использовать как высокоемкостной импульсный блок питания

Преимущества:

Применения:

- TCO покрытия для производства дисплеев (LCD, OLED и тд.)
- PDP фильтры, тонкопленочные солнечные батареи
- Архитектурное стекло, Хранилища данных
- Напыление на корпуса мобильных телефонов
- ITO покрытия для сенсорных панелей
- Нанесение оптических покрытий (просветляющие покрытия и тд.)
- Осаждение нитридов и оксидов
- PECVD процессы, импульсная очистка

Технические характеристики

Характеристики	PulseGen 20 Duo	PulseGen 30 Duo
Питание (AC)	1 Ф, 220 В, 50-60 Гц
Питание(DC)	3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц
Выходная мощность	20 кВТ	30 кВт
Выходное напряжение	800 В (Max. 1200 В)
Выходной ток	50 А	75 А
Регулировка	Мощность/Ток/Напряжение
Форма сигнала	Симметричный биполярный импульсный
Частота	20-50 кГц	20-40 кГц
Время выключения	2-6 мс
Энергия дуги	менее чем 1 мДж/кВт
Охлаждение	Принудительное воздушное
Размеры, мм	В133 х Ш 483 х Г 605
Вес, кг	24	33

Высокоемкостной импульсный модулятор для магнетронного распыления (объединение с блоком питания EnerStream) Pulse Gen

Особенности Pulse Gen
Высокая надежность:

- Контроль высокой плотности импульсной плазмы
- Разработан для процессов импульсного магнетронного распыления
- Стабильная топология с падающей характеристикой
- 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
- Низкие помехи и шумы

Высоконадежная защита от дуги:

Превосходная производительность:

- Широкий рабочий диапазон
- Легкая параллельная работа и импульсная синхронизация
- Регулируемая частота и длительность импульса
- Соединение с блоком питания EnerStream 20 позволяет использовать как высокоемкостной импульсный блок питания

Преимущества:

Применения:

Технические характеристики

Характеристики	PulseGen 20	PulseGen 40
Питание (AC)	1 Ф, 220 В, 50-60 Гц
Питание(DC)	3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц
Выходная мощность	20 кВТ	40 кВт
Выходное напряжение	800 В (Max. 1200 В)
Выходной ток	50 А	100 А
Регулировка	Мощность/Ток/Напряжение
Форма сигнала	Импульсный DC
Частота	50 – 100 кГц	50 – 80 кГц
Время выключения	1.5-7 мс, в режиме постоянного тока
Энергия дуги	менее чем 1 мДж/кВт
Охлаждение	Принудительное воздушное
Размеры, мм	В133 х Ш 483 х Г 605
Вес, кг	24	32