Датчик на 12 кристаллах (Crystal 12)
Датчик на 12 кристаллах компании INFICON специально сконструирован для длительных
технологических процессов, требующих непрерывного контроля скорости напыления. В OLED- и MBE-приложениях, при производстве солнечных панелей или в других техпроцессах с длительным интервалом между вентиляциями камеры, датчик Crystal 12 обеспечивает высокую надёжность за счёт 12 кварцевых кристаллов, установленных в одной головке измерительного датчика.
При использовании с Cygnus®, XTC/3M, XTC/3S, SQC310 или SQC310C датчик на 12 кристаллах автоматически поворачивает новый кристалл в рабочую позицию в случае повреждения или нестабильной работы кристалла. Кристаллы автоматически переключаются, не прерывая процесс непрерывного контроля скорости напыления. Чтобы свести к минимуму время простоя, кристаллы можно вставить во вторую дополнительную карусель, которую затем без труда можно быстро установить вместо карусели с использованными кристаллами – это сокращает время пребывания системы под атмосферным давлением.
Механизм с пневматическим приводом осуществляет периодическую круговую подачу кристаллов. Этот пневмодвигатель обеспечивает более высокую тепловую стабильность по сравнению с модулями конкурентов, в которых используются дорогие электродвигатели для работы в условиях вакуума, выделяющие тепло. Трубки для воды диаметром 1/8 дюйма поддерживают стабильную температуру головки датчика и не ограничивают возможность выбора местоположения датчика.
Каталог по контроллерам и кварцевым измерителям толщины тонких пленок Inficon (PDF, Русский, 6 МБ)
Преимущества
- Вмещает 12 кристаллов с надёжным автоматическим механизмом переключения для сведения к минимуму времени простоя
- Легко извлекаемая карусель обеспечивает быструю замену всех 12 кристаллов
- Стабильная температура кристалла, благодаря использованию пневматического механизма переключения кристаллов (модули конкурентов используют электродвигатели, выделяющие тепло)
- ¼-дюймовые трубки для воды поддерживают стабильную температуру и не ограничивают возможность выбора местоположения датчика
- Легкоснимаемый передний антинапылительный экран защищает кристалл и карусель от осаждения напыляемого материала, что сводит к минимуму необходимость извлекать датчик целиком для техобслуживания
- Пользователь может адаптировать дополнительный монтажный опорный комплект под метрическое оборудование
- Дополнительно можно заказать затвор кристалла
Информация для заказа
Для заказа Вам нужно составить код, вставив в формулу вместо букв a , b, c, d, e, f нужные цифры.
|
X |
L |
1 |
2 |
- |
a |
b |
c |
d |
e |
f |
|
a |
Тип датчика (Руководство по эксплуатации в комплекте. Кристаллы приобретают отдельно) |
|
b |
Длина кабеля для вакуума в сборе: |
|
c |
Карусель для кристаллов в сборе |
|
d |
Передний антинапылительный экран |
|
e |
Монтажная опора с оборудованием |
|
f |
Пневматический клапан: Нет - 0; Да - 1 |
Возможна поставка компонентов по заказу, с особыми изгибами и другие нестандартные компоненты – обращайтесь к нашим специалистам.
Примечание 1:
Автоматический переключатель кристаллов только в комплекте с IC6, Cygnus, XTC/3M, XTC/3S, SQC310 и SQC310C
Примечание 2:
Для датчика на 12 кристаллах требуется пневматический клапан управления 750-420-G1
Примечание 3:
При использовании IC6, Cygnus, XTC/3M и XTC/3S возможна любая длина. SQC310 и SQC310C поддерживают глубину ввода в вакуумную камеру только до 30,75 дюйма.
Примечание 4:
SQC-310 и SQC-310C не поддерживают обратную связь по положению.
Технические характеристики
Технические характеристики датчика на 12 кристаллах серии XL12
|
Макс. температура прогрева без водяного охлаждения |
130°C |
|
Макс. температура рабочей изотермической среды при минимальном расходе охлаждающей воды |
300°C |
|
Размер (макс. огибающая) |
Диам. 102 мм x 84 мм высота С установленными дополнительными монтажными опорами: диам. 121 мм x 88 мм высота |
|
Длина трубок для воды или воздуха |
762 мм в стандартном исполнении |
|
Замена кристалла |
С передней стороны |
|
Установка |
Шесть #4-40 резьбовых отверстия на задней стороне корпуса датчика, шесть #4-40 резьбовых отверстия по длине наружной окружности. Три #6-32 резьбовых отверстия с дополнительным монтажным комплектом |
Требования установки
|
Вакуумный ввод |
Кол-во (1) 2 ¾-дюймовый фланец ConFlat® с двумя коаксиальными вакуумными вводами, 2 проходных фитинга для присоединения трубок подачи воды и один для трубки для воздуха, IPN 002-080, или |
|
Прочее |
Пользователь обеспечивает монтажную конструкцию, рассчитанную на массу датчика на 12 кристаллах и облегчающую процедуру извлечения и замены, сохраняя неизменным положение установки. Для этой цели можно приобрести дополнительный монтажный опорный комплект, IPN 750-670-G1. Пользователь обеспечивает вакуумплотные паяные соединения или фитинги для трубок для воды или воздуха. Клапанный блок для воздуха (не входит в комплект), IPN 750-420-G1, с ограничительной диафрагмой 0,022 дюйма, устанавливаемой пользователем. (Диафрагма входит к комплект принадлежностей датчика на 12 кристаллах) XIU или генератор сконструированы для взаимодействия с контроллером Cygnus |
|
Коммуникации |
Мин. расход воды 150-200 куб.см./мин. при температуре не более 30 °C (не допускать замерзания). хладагент не должен содержать хлориды поскольку может возникнуть коррозионное растрескивание. Регулируемая подача воздуха: 80-90 psig (5,5-6,2 бар) [550-620 кПа]. Макс. длина 2 м трубки 1/8 дюйма между сильфонным узлом и клапаном управления |
Материалы
|
Пластина, антинапылительный экран, механические части, корпус и карусель |
Нержавеющая сталь типа 304 |
|
Пружины, электрические контакты |
Позолоченный сплав бериллия и меди, позолоченная нержавеющая сталь 302 |
|
Трубки для воды или воздуха |
Бесшовная трубка из нержавеющей стали 304 с наружным диаметром 3,2 мм и толщиной стенки 0,4 мм длиной 762 мм |
|
Соединитель |
Нержавеющая сталь 304 |
|
Изоляторы |
Teflon, Peek® |
|
Кабель |
Омеднённая сталь, покрытая тефлоном |
|
Кристалл |
Диаметр 13,97 мм |
Технические характеристики вакуумного ввода
Примечание. Технические характеристики комбинации вакуумного ввода с датчиком определяются худшими характеристиками каждого компонента.
Cоединительная часть под обжимной фитинг или 1-дюймовое резьбовое соединение:
|
Материалы |
Нержавеющая сталь 304, Teflon®, керамика, никель-бериллий, VITON® |
|
Температура |
Температура рабочей среды до 300 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без охлаждения |
|
Установка |
Диаметр отверстия 1,015" ± 0,010" |
Cоединительная часть под приваренный фланец CF 40
|
Материалы |
Hержавеющая сталь 304, Teflon®, керамика, никель-бериллий |
|
Температура |
Tемпература рабочей среды до 450°C с водяным охлаждением или до 165 °C без охлаждения |
|
Установка |
Под фланцы 2 ?-дюйма типа ConFlat с мин. внутренним диаметром 1,375 дюйма |
Список запасных частей
|
Номер для заказа |
Описание |
|
750-276-P3 |
Крышка исполнительного механизма |
|
750-644-G1 |
Корпус |
|
750-658-G1 |
Антинапылительный экран |
|
750-286-P2 |
Пневматический привод |
|
750-291-P1 |
Фиксатор |
|
750-294-P2 |
Собачка |
|
750-293-P2 |
Храповый механизм |
|
750-256-P2 |
Пружина растяжения |
|
750-252-P2 |
Стойка пружины |
|
750-649-G1 |
Электрический соединитель |
|
750-295-G1 |
Защёлка и привод |
|
750-258-P2 |
Вал подшипника |
|
070-779 |
Шарикоподшипник |
|
750-652-G1 |
Карусель |
|
750-650-P1 |
Диафрагма (без установочного штифта) |
|
070-1253 |
Установочный штифт |
|
750-651-P1 |
Опора резисторной сборки |
|
750-655-P1 |
Изолятор резисторной сборки |
|
750-642-G1 |
Резисторная сборка |
|
750-661-P1 |
Соединительный контакт (деталь карусели) |
|
750-656-P1 |
Изолятор кристалла (деталь карусели) |
|
321-038-P6 |
Плоская пружина (деталь карусели) |
|
750-657-P1 |
Заземляющая плоская пружина |
|
750-671-P1 |
Пружина кручения |
|
750-626-P1 |
Пружина |
|
750-647-P1 |
Шпиндель |
|
070-1268 |
Подшипник шпинделя (деталь шпинделя) |
|
070-1254 |
Эластомерное кольцо (деталь шпинделя) |
|
750-660-P1 |
Центрирующий винт (деталь шпинделя) |
|
007-126 |
бесшовная трубка 3,175 мм х 762 мм |
|
070-201 |
#4 пружинная разрезная шайба |
|
084-004 |
Винт с головкой под шестигранный торцевой ключ #4-40 x 0,187 |
|
070-398 |
Упорное кольцо |
|
070-867 |
Прокладка вала |
|
070-170 |
#2 пружинная разрезная шайба |
|
070-177 |
Винт с головкой под шестигранный торцевой ключ #4-40 x 3,12 |
|
080-038 |
Винт со шлицем «Филлипс» #0-80 x 0,375 |
|
082-032 |
#2 внутренняя пружинная шайба |
|
082-045 |
Винт со шлицем «Филлипс» #2-56 x 0,187 |
|
084-054 |
#4 пружинная разрезная шайба |
|
082-022 |
#2 плоская шайба |
|
082-024 |
Винт с головкой под шестигранный торцевой ключ #2-56 x 0,250 |
|
082-032 |
#2 внутренняя пружинная шайба |
|
750-292-P2 |
Прокладка фиксатора |
|
080-013 |
#0-80 разрезная шайба |
|
080-007-P1 |
#0-80 х 0,17 плоская шайба |
|
080-009-P1 |
Винт с головкой под торцевой ключ #0-80 x 0,188 |
|
084-048 |
Винт с плоской головкой #4-40 x 0,250 |
|
750-665-P1 |
Винт с буртиком пружины кручения #2-56 |
|
070-170 |
#2 пружинная разрезная шайба |
|
082-045 |
Винт со шлицем «Филлипс» #2-56 x 0,187 |
|
070-201 |
#4 пружинная разрезная шайба |
|
084-093 |
Винт с головкой под торцевой ключ #4-40 x 1,125 |
|
086-084-P2 |
Установочный винт #6-32 x 0,125 |
|
086-041 |
#6 плоская шайба |
|
086-038 |
#6 пружинная разрезная шайба |
|
086-036 |
Винт с головкой под торцевой ключ #6-32 x 3/8 |
|
086-084-P2 |
Установочный винт #6-32 x 0,125 |
Габаритные размеры
Датчик на 12 кристаллах серии XL12
Датчик на 12 кристаллах можно использовать со следующими вакуумными вводами:
