Рассеивающий датчик
Рассеивающий датчик компании INFICON специально сконструирован для использования в любом
процессе напыления. Корпус датчика и охлаждающие трубки изготовлены из бериллиево-медного сплава и позолочены для максимально эффективного охлаждения в среде напыления. Магнит, встроенный в головку датчика, уменьшает избыточный нагрев быстрыми свободными электронами в системах напыления путём их отклонения внешним магнитным полем. Конструкция держателя кристалла с установкой с тыльной стороны обеспечивает простую замену кристалла без обязательного извлечения головки датчика из системы.
Каталог по контроллерам и кварцевым измерителям толщины тонких пленок Inficon (PDF, Русский, 6 МБ)
Преимущества
- Корпус датчика и охлаждающие трубки изготовлены из бериллиево-медного сплава и позолочены для максимально эффективного охлаждения - Магнит для отклонения свободных электронов в сторону от кристалла
- Простая установка, гнущиеся трубки для воды обеспечивают возможность выбора местоположения датчика
- Установка кристалла с тыльной стороны обеспечивает простую замену кристалла
Информация для заказа
Рассеивающий датчик
|
Рассеивающий датчик |
750-618-G1 |
|
Блок затвора рассеивающего датчика |
750-005-G1 |
Примечания. В комплекте: кабель 78 см для вакуума, выталкиватель кристалла и руководство пользователя. Кабели другой длины заказываются отдельно. Кристаллы приобретают отдельно.
Технические характеристики
Рассеивающий датчик 750-618-G1
|
Макс. температура прогрева без водяного охлаждения |
105 °C |
|
Размер (макс. огибающая) |
Нар. Диам. 3,45 см x 1,75 см высота |
|
Коаксиальные трубки и трубки для воды и воздуха |
76,2 см в стандартном исполнении |
|
Замена кристалла |
с тыльной стороны |
|
Установка |
обеспечивает пользователь |
Требования установки
|
Вакуумный ввод |
2 проходных фитинга для присоединения трубки подачи воды с коаксиальным соединителем |
|
Прочее |
1) Пользователь обеспечивает вакуумплотные фитинги или соединители для трубок подачи воды |
|
Расход воды |
Мин. расход воды 750 куб.см./мин. при температуре не более 30 °C (не допускать замерзания). Хладагент не должен содержать хлориды поскольку может возникнуть коррозионное растрескивание. Если трубки для воды проходят сквозь охлаждающее устройство, обязательно сливайте воду из трубок в случае прекращения подачи воды. |
Материалы
|
Корпус и держатель |
Позолоченный сплав бериллия и меди |
|
Пружины,электрические контакты |
Позолоченный сплав бериллия и меди |
|
Трубки для воды |
Позолоченный сплав бериллия и меди, нар. диам. 0,32 см |
|
Соединитель |
Нержавеющая сталь 304 |
|
Изоляторы |
99 % Al2O3 |
|
Провод |
Медь, покрытая тефлоном |
|
Припой |
Сплавы серебра и индия, не содержащие кадмий |
|
Кристалл |
Диаметр 1,4 см |
|
Магнит |
Сплав ALNICO 5 (ЮНДК) |
Технические характеристики затворного узла (по отдельному заказу), 750-005-G1
|
Температура
|
130°C
|
|
Материалы |
Нержавеющая сталь 300 |
|
Давление |
Рабочее: 90-95 psig (6,2-6,55 бар) [620-655 кПа] |
|
Затвор |
С пневматическим приводом, требуется пневматический клапан управления затвором 750-420-G1 |
|
Твёрдый припой |
Жаропрочный сплав Ni-Cr для работы в вакууме |
Технические характеристики вакуумного ввода
Примечание. Технические характеристики комбинации вакуумного ввода с датчиком определяются худшими характеристиками каждого компонента.
Соединительная часть под обжимной фитинг или 1-дюймовое резьбовое соединение:
|
Материалы |
Нержавеющая сталь 304, Teflon®, керамика, никель-бериллий, VITON® |
|
Температура |
Температура рабочей среды до 300 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без охлаждения |
|
Установка |
Диаметр отверстия 1,015" ± 0,010" |
Соединительная часть под приваренный фланец CF 40
|
Материалы |
Нержавеющая сталь 304, Teflon®, керамика, никель-бериллий |
|
Температура |
Температура рабочей среды до 450°C с водяным охлаждением или до 165 °C без охлаждения |
|
Установка |
Под фланцы 2 ¾-дюйма типа ConFlat с мин. внутренним диаметром 1,375 дюйма |
Список запасных частей
|
Номер для заказа |
Описание |
|
007-023 |
Керамический держатель |
|
007-049 |
Держатель кристалла |
|
007-007 |
Пружинный замок (для держателя кристалла) |
|
007-044 |
Кабель для вакуума, 78,1 см |
|
007-047 |
Кожух рассеивающей головки с трубками для воды |
|
007-009 |
Магнит для кожуха рассеивающей головки |
|
070-0440 |
Упорное кольцо (устанавливается на шток затворного узла) |
|
070-0442 |
Упорное кольцо (устанавливается на шток затворного узла) |
|
070-0441 |
Прокладка (устанавливается на шток затворного узла) |
|
082-044 |
Винт 2-56 х 0,25 дюйма Teflon для корпуса рассеивающей головки 750-619-G1 |
|
082-029-P1 |
Установочный винт 2-56 х 1,8 дюйма для корпуса рассеивающей головки 750-619-G1 |
|
750-005-G1 |
Пневматический затворный узел |
|
750-009-P2 |
Крышка шарнира (устанавливается на шток затворного узла) |
|
750-046-G2 |
Затворный узел для пневматического затворного узла |
|
750-048-P1 |
Пружинный замок для корпусов рассеивающей головки моделей 007-048 и 750-619-G1 |
|
750-115-P4 |
Муфта (устанавливается в сильфонный узел) |
|
750-169-P4 |
Сильфонный узел для пневматического затворного узла |
|
750-174-P2 |
Коаксиальный соединитель розеточного типа для корпуса рассеивающей головки 750-619-G1 |
|
750-175-P1 |
Изолятор для корпуса рассеивающей головки 750-619-G1 |
|
750-188-P2 |
Плоская пружина для корпуса рассеивающей головки 750-619-G1 |
|
750-619-G1 |
Корпус рассеивающей головки с коаксиальным соединителем |
|
750-626-P1 |
Пружина для кожуха рассеивающей головки |
Габаритные размеры
Рассеивающий датчик 750-618-G1
Рассеивающую головку можно использовать со следующими вакуумными вводами:
