Двухкристальный датчик Cool Drawer
В двухкристальном датчике Cool Drawer™ имеется резервный кристалл, наличие которого очень важно для критических процессов, где желательно иметь второй кристалл в вакуумной камере. Литой из нержавеющей стали корпус датчика с водяным охлаждением, два держателя кристалла Cool Drawer и затвор с пневматическим приводом обеспечивают прочность головки датчика, а резервный кристалл – дополнительную надёжность. Этот датчик не использует коаксиальные кабели внутри камеры, что способствует поддержанию более высокой чистоты в вакуумной камере и надёжности вакуумной системы в целом.
Конфигурации датчика
Изготавливаются датчики двух конфигураций: стандартная и прямоугольная модели. Стандартная модель предназначена для установки сбоку или снизу камеры, в которой охлаждающие трубки расположены параллельно грани кристалла. Прямоугольная модель предназначена для установки сверху вакуумной камеры, в которой трубки с охлаждающей водой расположены перпендикулярно грани кристалла. Головка датчика каждой из этих конфигураций может иметь длину в диапазоне 10-66 см.
Вакуумные вводы
Компания INFICON предлагает вакуумные вводы двух типов с разными способами присоединения на выбор: с 1-дюймовым резьбовым соединением или фланцем CF40.
Присоединение вакуумного ввода
Двухкристальные датчики Cool Drawer можно заказать в комбинации с вакуумным вводом. Соединение вакуумного ввода с датчиком может быть сварным или выполнено с помощью обжимного фитинга.
Обжимные фитинги облегчают регулировку, не требуя пайки и сварки. Длина головки датчика регулируется в диапазоне 10-66 см. Датчик с привареным фланцем CF40 выбирают для высокотемпературных процессов, в которых критерий надёжности является самым важным. Изготовленный с использованием таких материалов, как нержавеющая сталь и керамика, этот датчик пригоден для приложений, требующих прогрева при высокой температуре (см. технические характеристики).
Двухкристальный датчик Cool Drawer с фланцем CF40 предварительно установлен в специальный двухкомпонентный 2 ¾-дюймовый вакуумный ввод ConFlat®. Это обеспечивает независимое от фланца вращение головки датчика и позволяет обйти пространственные ограничения из-за фланца. Длину вакуумного ввода с датчиком выбирают в диапазоне 10-66 см.
Каталог по контроллерам и кварцевым измерителям толщины тонких пленок Inficon (PDF, Русский, 6 МБ)
Преимущества
- Два кристалла
- Держатель кристалла Cool Drawer
- Не требуются соединительные кабели для вакуума
- Затвор кристалла
- Варианты вакуумного ввода:
Фланец CF40
1-дюймовое резьбовое соединение
- Датчик с приваренным фланцем CF40 допускает прогрев
- Регулируемая длина при заказе с обжимными фитингами
- Комбинации вакуумного ввода с датчиком со сварным соединением, согласно спецификации длины, указанной заказчиком
Информация для заказа
Двухкристальный датчик Cool Drawer (с проводящими трубками)
Для заказа Вам нужно составить код, вставив в формулу вместо букв a , b, c, d нужные цифры.
D |
D |
- |
a |
b |
c |
d |
a |
Тип датчика (Руководство по эксплуатации в комплекте. Кристаллы приобретают отдельно) |
b |
Длина датчика – см. примечание 3; Длина: 102-660 мм (см. примечание 6) - F |
c |
Вакуумный ввод – см. примечание 2 |
d |
Присоединение вакуумного ввода |
НЕ выпускаются следующие комбинации: CDD-AF48, CDD-BF48 Возможна поставка компонентов по заказу, с особыми изгибами и другие нестандартные компоненты – обращайтесь к специалистам "Вакуум Техно".
Примечание 1:
Если вам необходимы датчики со сварным соединением с вакуумным вводом, обращайтесь к специалистам "Вакуум Техно", так как заказы на датчики со сварным соединением с вакуумным вводом принимаются только при условии получения компанией INFICON чертежа с указанием размеров, подписанного заказчиком. После подтверждения особой длины или запуска заказа в производство, заказ отменить нельзя. Компания INFICON предоставляет форму спецификации длины датчика.
Примечание 2:
Конфигурация вакуумного ввода меняется в зависимости от выбранных вариантов (тип вакуумного ввода, соединение). Пример. В CDD-AF47 и -BF47 используется двухкомпонентная гибридная конструкция вакуумного ввода из-за пространственных ограничений, обусловленных стандартным фланцем CF40.
Примечание 3:
Длина датчика измеряется от центра кристалла, наиболее близкого к концу датчика, до уплотняющей поверхности вакуумного ввода со стороны вакуума (см. чертёж).
Примечание 6:
При заказе датчиков без сварного присоединения (вариант «8» заказа), трубки изготавливаются длиной приблизительно 762 мм для стандартного датчика и 660 мм для прямоугольного датчика.
Технические характеристики
Технические характеристики двухкристального датчика Cool Drawer серии CDD
Поверхность |
Нержавеющая сталь, позолоченный Cool Drawer™ |
Охлаждающая вода |
0,2 галлона в минуту, подаётся по трубке наружным диаметром 1/8 дюйма (не допускать замерзания) |
Кристалл |
Промышленного стандарта, диаметр 0,55 дюйма |
Подача воздуха |
Регулируемая в диапазоне 55-60 psi |
Электрическое подключение |
2 стандартных розетки типа BNC с наружной стороны |
Соединительная часть под обжимной фитинг или 1-дюймовое резьбовое соединение
Материалы |
Нержавеющая сталь 304, Teflon®, керамика, никель-бериллий, VITON® |
Температура |
Температура рабочей среды до 300 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без охлаждения |
Установка |
Диаметр отверстия 1,015" ± 0,010" |
Соединительная часть под приваренный фланец CF 40
Материалы |
Нержавеющая сталь 304, керамика, никель-бериллий |
Температура |
Температура рабочей среды до 450°C с водяным охлаждением или до 165 °C без охлаждения |
Установка |
Под фланцы 2 ¾-дюйма типа ConFlat® |
Список запасных частей
Номер для заказа |
Описание |
147401 |
Затвор |
147402 |
Шарнир |
147403 |
Привод |
147406 |
Опора сильфона |
147407 |
Крышка сильфона |
147408 |
Шток с резьбой |
147411 |
Промежуточное кольцо |
147424 |
Сильфонная труба |
084-205 |
#4-40 x 3/16 винт со шлицем «Филлипс» |
800128 |
#4 пружинная шайба |
800371 |
Винт с буртиком |
800372 |
Шайба |
800416 |
Установочный винт 6-32 x 3/16 дюйма |
803313 |
Пружина |
123223-2 |
Паяный проводник в сборе – короткий вывод |
803102 |
Уплотнительное кольцо для регулируемого вакуумного ввода с 5 разъемами |
803261 |
Шайба для регулируемого вакуумного ввода с 5 разъемами |
Габаритные размеры
CDD-AF37, CDD-AF38 и CDD-BF38
Комбинации двухкристального датчика Cool Drawer с вакуумным вводом
CDD-AF47 и CDD-BF47
Комбинации двухкристального датчика Cool Drawer с вакуумным вводом