Контроллер серии SQC31O напыления тонких плёнок
Контроллер серии SQC31O напыления тонких плёнок - высокотехнологичный, самый
доступный по цене контроллер напыления нескольких слоёв от лидера данной технологии.
Благодаря усовершенствованной электронике, улучшенному отображению и очень умеренной цене, контроллер серии SQC310 компании INFICON предоставляет возможности, которые отсутствуют у контроллеров напыления тонких плёнок наших конкурентов. Вы можете выбрать модель, оптимально подходящую для конкретного приложения: последовательное напыление (SQC310) или совместное (SQC310C).
Модель SQC310 для контроля последовательного напыления имеет 2 ввода для датчиков, 2 вывода для источников и 8 дискретных вводов-выводов, а также дополнительную плату расширения, которая удваивает число этих вводов-выводов. Модель SQC310C для контроля совместного напыления контролирует до 4 датчиков на основе кристалла кварца с помощью 4 выводов ПИД-регулирования, 16 дискретных вводов и 16 выводов реле с характеристиками как у SQC310.
Преимущества контроллерa серии SQC31O
- Цветной, яркий ЖК дисплей с активной матрицей ¼ VGA, отображающий информацию на английском или китайском языке
- Электрические соединители стандарта RS-232 и USB (дополнительно Ethernet)
- Меню Quick Setup (Быстрая настройка), 6 контекстно-зависимых кнопок и ручка настройки параметров облегчают настройку и управление
- Программа под Windows® для разработки, испытания и загрузки процессов, а также регистрации данных прибора на ПК для контроля качества и анализа процесса напыления
- Тщательный контроль процесса, особенно при низких скоростях напыления, с разрешающей способностью ±0,03 Гц при 10 измерениях в секунду и стабильностью частоты ±2 ppm в диапазоне 0-50 °C
- Ёмкость памяти для хранения до 100 процессов, 1000 слоёв, 50 плёнок
- Мониторинг материала источника с помощью одного или нескольких датчиков, чтобы обеспечить точный мониторинг распределения источника
Каталог по контроллерам и кварцевым измерителям толщины тонких пленок Inficon (PDF, Русский, 6 МБ)
Информация для заказа
Для заказа Вам нужно составить код, вставив в формулу вместо букв a , b, c, нужные цифры.
|
S |
Q |
C |
3 |
1 |
0 |
- |
a |
b |
c |
|
S |
Q |
C |
3 |
1 |
0 |
C |
- |
a |
b |
c |
|
a |
Каналы |
b |
Интерфейс |
c |
Дисплей |
Пример полностью укомплектованной системы:
|
SQC310-2-R-1 |
Контроллер SQC310 последовательного напыления с 2 каналами, интерфейсами RS232 и USB и дисплеем с отображением на английском |
|
782-934-003-10 |
Комплект генератора содержит: генератор (782-900-010), кабель 150 мм с электрическими BNC-соединителями вилка/розетка и кабель 3 м с электрическими BNC-соединителями вилка/вилка |
Дополнительные принадлежности и запасные части
Принадлежности
|
782-900-017 |
Ручной пульт регулирования мощности, витой кабель 3 м |
|
782-900-007 |
Расширитель стойки: установка одного прибора 5 ¼ в 19-дюймовую стойку |
|
782-900-016 |
Переходник для стойки: установка двух приборов 5 ¼ в 19-дюймовую стойку |
|
782-900-008 |
Расширитель с форм-фактором «31/2" Full Rack» стойки: для установки одного прибора SQC-330 или SQM160 в 19-дюймовую стойку |
|
782-900-014 |
Переходник с форм-фактором «31/2" Half Rack» для стойки: для установки двух приборов SQC-330 или SQM160 в 19-дюймовую стойку |
|
782-900-026 |
Дополнительная плата для подключения к сети Ethernet |
Генераторы и кабели
|
782-934-003-10 |
Комплект генератора в составе: 782-900-010, 782-902-011, 782-902-012-10 |
|
782-934-003-25 |
Комплект генератора в составе: 782-900-010, 782-902-011 и 782-902-012-25 |
|
782-934-003-50 |
Комплект генератора в составе: 782-900-010, 782-902-011 и 782-902-012-50 |
|
782-934-003-99 |
Комплект генератора в составе: 782-900-010, 782-902-011 и 782-902-012-99 |
|
782-900-010 |
Дистанционный генератор |
|
782-902-011 |
Кабель 150 мм с электрическими BNC-соединителями вилка/розетка |
|
782-902-012-10 |
Кабель 3 м с электрическими BNC-соединителями вилка/вилка |
|
782-902-012-25 |
Кабель 7,7 м с электрическими BNC-соединителями вилка/вилка |
|
782-902-012-50 |
Кабель 15,4 м с электрическими BNC-соединителями вилка/вилка |
|
782-902-012-99 |
Кабель 30,7 м с электрическими BNC-соединителями вилка/вилка |
|
782-902-022 |
Согласующий кабель 150 мм с электрическими соединителями типа BNC и Microdot |
|
782-932-022 |
Обжимная переходная муфта с 1/8" на 3/16" |
|
782-932-020 |
Обжимная муфта 1/8" |
|
782-932-021 |
Обжимная муфта 3/16" |
Технические характеристики
|
Измерение |
SQC310 |
SQC310C |
|
Вводы QCM |
2 (4 дополнительно) |
4 |
|
Диапазон частот |
4-6 МГц |
4-6 МГц |
|
Разрешающая способность по частоте |
±0,03 Гц при периоде измерения 0,1 с |
±0,03 Гц при периоде измерения 0,1 с |
|
Стабильность частоты |
общая: ±2 ppm в диапазоне 0-50°C |
общая: ±2 ppm в диапазоне 0-50°C |
|
Частота измерения |
1-10 Гц |
1-10 Гц |
|
Отображение скорости напыления |
0,01 Ä/с |
0,01 Ä/с |
Управление
|
|
SQC310 |
SQC310C |
|
Память |
100 процессов, 1000 слоёв, 50 плёнок |
100 процессов, 1000 слоёв, 50 плёнок |
|
Управляющие выводы |
2 (4 дополнительно) |
4 |
|
Выходной сигнал |
0-10 В постоянного тока, 15 бит |
0-10 В постоянного тока, 15 бит |
|
Дискретные вводы/реле |
8 (16 дополнительно) |
16 |
|
Дискретные вводы |
5 В постоянного тока, неизолированные |
5 В постоянного тока, неизолированные |
|
Реле |
однополюсные: 1 А, 30 В, макс. 2 А |
однополюсные: 1 А, 30 В, макс. 2 А |
|
Интерфейс(-ы) |
Электрические соединители стандарта RS-232 и USB (дополнительно Ethernet) |
Электрические соединители стандарта RS-232 и USB (дополнительно Ethernet) |
|
Пульт дистанционного регулирования мощности |
Нет в стандартной комплектации |
Нет в стандартной комплектации |
Дисплей
|
Тип |
ЖК дисплей с активной матрицей ¼ VGA 320 х 240 |
|
Графики |
скорость напыления, отклонение, мощность или в численной форме в полноэкранном формате |
Общие
|
Электропитание |
100-240 В, 50/60 Гц, 25 Вт |
|
Соответствие требованиям |
CE |
|
ПО под Windows® |
В комплекте |
|
Установка |
Форм-фактор «half-rack 5 ¼» |