Плата контроллера SQM242 совместного напыления тонких плёнок

Плата контроллера SQM242 совместного напыления тонких плёнок - дешёвый способ контроля совместного напыления посредством одной платы pci.
Плата SQM242 превращает ПК в контроллер процесса совместного напыления тонких плёнок. Это идеальный выбор для изготовителей комплектного оборудования, а также для решения задачи интегрирования контроллера напыления тонких плёнок в имеющуюся компьютерную систему управления.
В этой типичной системе напыления с одним датчиком плата SQM242 устанавливается в слот шины PCI на системной плате компьютера. Датчик на основе кристалла кварца подключается к одному из четырёх вводов платы SQM242, а один из выводов платы SQM242 подключается к управляющему вводу источника питания системы напыления. Внутренний контур ПИД-регулирования на плате сравнивает измеренное значение скорости напыления с заданным и изменяет выходной сигнал, подаваемый источнику питания, для установления необходимой скорости напыления. В процессе управления вручную плата SQM242 также может контролировать скорость напыления и толщину плёнки.
Совместное напыление без труда осуществляется путём назначения одного или нескольких датчиков и управляющего вывода каждому источнику материала. Скорость напыления каждого материала регулируется независимо отдельным контуром ПИД-регулирования. Каждая плата SQM242 способна управлять совместным напылением двух материалов. Для совместного напыления большего числа материалов установите дополнительные платы в компьютере.
Небольшая дочерняя плата SAM242 предоставляет четыре аналоговых ввода 10 В и два дополнительных управляющих вывода. Эти вводы можно использовать для контроля другого оборудования техпроцесса, например оптического монитора, чтобы определить момент окончания. Аналоговые вводы также можно назначить любому выводу для управления нагревом подложки, напылением с регулируемой температурой и т. д.

Преимущества платы контроллера SQM242

- Четыре ввода для датчиков и два управляющих вывода
- Использование нескольких плат для большего числа датчиков и выводов
- Четыре дополнительных аналоговых ввода (SAM242)
- ПО LabView и Visual Basic
- Предоставляется исходный код для интеграции в систему

Программы LabView™ и Visual Basic® (с исходным кодом) обеспечивают базовую функциональность и демонстрируют приёмы программирования. Эти программы можно изменять в собственных целях или использовать с любой другой программой пользователя, поддерживающей технологию Windows ActiveX® (COM).
Кто предпочитает ПО, пригодное для непосредственного использования (не требующее настройки), может воспользоваться дополнительным ПО SQS242 для неограниченного числа программ процесса, графического представления данных, дискретного ввода-вывода на базе ПЛК и передачи данных по стандартам RS-232/Ethernet. Независимо от выбранного решения плата SQM-242 предоставляет такие возможности, гибкость и полезность, которыми не обладает ни один другой контроллер напыления тонких плёнок.

Дополнительные принадлежности и запасные части

Генераторы и кабели

782-934-003-10

Комплект генератора содержит: генератор (782-900-010), кабель 150 мм с электрическими BNC-соединителями вилка/розетка и кабель 3 м с электрическими BNC-соединителями вилка/вилка

782-934-003-25

Комплект генератора в составе: 782-900-010, 782-902-011 и 782-902-012-25

782-934-003-50

Комплект генератора в составе: 782-900-010, 782-902-011 и 782-902-012-50

782-934-003-99

Комплект генератора в составе: 782-900-010, 782-902-011 и 782-902-012-99

782-900-010

Дистанционный генератор

782-902-011

Кабель 150 мм с электрическими BNC-соединителями вилка/розетка

782-902-012-10

Кабель 3 м с электрическими BNC-соединителями вилка/вилка

782-902-012-25

Кабель 7,7 м с электрическими BNC-соединителями вилка/вилка

782-902-012-50

Кабель 15,4 м с электрическими BNC-соединителями вилка/вилка

782-902-012-99

Кабель 30,7 м с электрическими BNC-соединителями вилка/вилка

782-902-022

Согласующий кабель 150 мм с электрическими соединителями типа BNC и Microdot

782-932-022

Обжимная переходная муфта с 1/8" на 3/16"

782-932-020

Обжимная муфта 1/8"

782-932-021

Обжимная муфта 3/16"

Технические характеристики

Требования к компьютеру

Плата SQM242 работает в любом ПК с процессором Pentium 90 МГц или более производительным под управлением ОС Windows® 98SE/ME/NT/2000/XP, Vista. Для установки каждой платы SQM242 или SAM242 требуется один свободный слот шины PCI.

Плата контроллера SQM242 совместного напыления тонких плёнок, номер для заказа: 782-SQM-242

Вводы для датчиков

Четыре активных генератора QCM

Выводы

Два аналоговых сигнала

Электрические соединители

BNC

Электрические соединители

Два телефонных гнезда ¼

Диапазон частот

1-10 МГц

Сигнал

от 0 до ±10 В постоянного тока

Разрешающая способность по частоте

0,05 Гц

Разрешающая способность

15 бит

Разрешение по скорости*

0,05 Ä/с*

Полное сопротивление

1 кОм

Разрешение по толщине*

0,02 А*

Интерфейс ПК

Стандартный слот шины PCI

Период измерения

0,1-2 сек.

* Значения разрешающей способности по скорости и толщине указаны для периода 0,5 с и плотности 2,73 г/см3 (алюминий)

Плата SAM242 аналогового ввода-вывода, номер для заказа: 782-SAM-242

Вводы

Четыре аналоговых сигнала

Выводы

Два аналоговых сигнала

Сигналы

от 0 до ±10 В постоянного тока

Сигнал

от 0 до ±10 В постоянного тока

Разрешающая способность

16 бит

Разрешающая способность

16 бит

Электрические соединители

BNC

Полное сопротивление

1 кОм

Электрический соединитель

Два телефонных гнезда ¼

ПО в стандартной комплектации (в комплекте с SQM242)

Обеспечивает основную настройку и контроль процесса напыления посредством одной или двух плат SQM242. Программы LabView и Visual Basic содержат исходный код и интерфейс ActiveX. Возможности использования программ многослойных процессов, выдержки до и после напыления, а также дискретный ввод-вывод НЕ предоставляются в комплекте.

Дополнительное ПО SQS242, номер для заказа: 782-SQS-242

Обеспечивает полную настройку и контроль процесса напыления посредством одной или двух плат SQM242 и одной платы SAM242. Средства для использования программ многослойных процессов, выдержки до и после напыления, а также дискретный ввод-вывод предоставляются в комплекте.

Каталог по контроллерам и кварцевым измерителям толщины тонких пленок Inficon (PDF, Русский, 6 МБ)