MicroGlider® - Высокоточная система на воздушном подшипнике
MicroGlider® — это высокоточная мультидатчиковая измерительная система от компании FRT, предназначенная для приложений, где требуется измерение с особо высокой точностью. Двухкоординатный столик на бесконтактном воздушном подшипнике с приводом от линейного электродвигателя гарантирует особо высокую точность перемещения при позиционировании. Благодаря этому MicroGlider® измеряет профиль, топографию, шероховатость и толщину пленки с еще более высокой точностью.
Кроме того, MicroGlider® оснащен ПЗС-камерой для облегчения позиционирования образца и может автоматически выполнять предварительно заданные измерения.
Особенности измерительной системы:
- более высокая точность измерения
- измерение неразрушающим способом
- высокая разрешающая способность
измерительной системы
- высокая повторяемость и воспроизводимость результатов измерений
- автоматические циклы измерений
- позиционирование образца с использованием ПЗС-камеры
- возможность измерения несколькими датчиками
Технические средства:
- промышленный компьютер, монитор, электроника и руководство
- хроматический датчик или зонд AFM
- двухкоординатный столик на воздушном подшипнике
- измерение перемещения с высоким разрешением
- прочное устойчивое гранитное основание
Программное обеспечение:
ПО FRT Acquire Measuring
- набор макросов для типичных приложений измерительного прибора
- автоматизация комплексных измерений
- удобный и понятный пользователю интерфейс
ПО FRT Mark III для анализа
- полный анализ полученных данных (2D и 3D)
- протоколирование этапов анализа и результатов
- настраиваемые отчеты
- экспорт и импорт данных в различных форматах
- язык: английский или немецкий
- бесплатные обновления
Технические характеристики
|
|
MicroGlider®100 |
MicroGlider®350 |
MicroGlider®600 |
|
Конструкция системы |
воздушный подшипник с линейным электроприводом с катушкой |
воздушный подшипник с линейными электродвигателями |
воздушный подшипник с линейными электродвигателями |
|
Диапазон сканирования* |
100 мм х 100 мм |
350 мм х 350 мм |
600 мм х 600 мм |
|
Макс. скорость сканирования |
100 мм/с |
100 мм/с |
100 мм/с |
|
Макс. высота образца |
36 мм |
120 мм |
120 мм |
|
Макс. масса образца |
5 кг |
35 кг |
35 кг |
* другие размеры по заказу.
Каталог приборов для трехмерного контроля поверхности FRT (Германия)