Хроматический датчик CWL
Многозадачный датчик
Особенности:
- измерение топографии, используя хроматический белый свет
- высокие разрешающая способность и точность
- очень высокая скорость измерения без краевых дефектов изображения
- пригоден для поверхностей всех типов, независимо от шероховатости, отражательной способности и цвета
- четкое пятно маленького размера
- долговечный, не подверженный износу ввиду отсутствия подвижных деталей
- маленькая измерительная головка с соединителем для волоконного световода
- электронная аппаратура управления совместима с хроматическим датчиком толщины пленки CWL FT
Технические характеристики
Принцип измерения |
использование хроматического белого света |
||||
Диапазон измерения по оси Z* |
300 мкм |
600 мкм |
3 мм |
10 мм |
25 мм |
Расстояние измерения |
4,5 мм |
6,5 мм |
20 мм |
70 мм |
80 мм |
Макс. разрешение по оси Z |
3 нм |
6 нм |
30 нм |
300 нм |
800 нм |
Разрешение по осям X, Y |
1-2 мкм |
1-2 мкм |
5-6 мкм |
12 мкм |
14 мкм |
Угол измерения** |
приблизительно 90° ±30° |
приблизительно 90° ±30° |
приблизительно 90° ±30° |
приблизительно 90° ±20° |
приблизительно 90° ±15° |
* другие диапазоны измерения по заказу.
** возможно рассеяние света на поверхности под большими углами.
Каталог приборов для трехмерного контроля поверхности FRT (Германия)