Хроматический датчик CWL


Многозадачный датчик


Многозадачный датчик FRTОсобенности:

- измерение топографии, используя хроматический белый свет
- высокие разрешающая способность и точность
- очень высокая скорость измерения без краевых дефектов изображения
- пригоден для поверхностей всех типов, независимо от шероховатости, отражательной способности и цвета
- четкое пятно маленького размера
- долговечный, не подверженный износу ввиду отсутствия подвижных деталей
- маленькая измерительная головка с соединителем для волоконного световода
- электронная аппаратура управления совместима с хроматическим датчиком толщины пленки CWL FT




Технические характеристики


Принцип измерения

использование хроматического белого света

Диапазон измерения по оси Z*

300 мкм

600 мкм

3 мм

10 мм

25 мм

Расстояние измерения

4,5 мм

6,5 мм

20 мм

70 мм

80 мм

Макс. разрешение по оси Z

3 нм

6 нм

30 нм

300 нм

800 нм

Разрешение по осям X, Y

1-2 мкм

1-2 мкм

5-6 мкм

12 мкм

14 мкм

Угол измерения**

приблизительно 90° ±30°

приблизительно 90° ±30°

приблизительно 90° ±30°

приблизительно 90° ±20°

приблизительно 90° ±15°

* другие диапазоны измерения по заказу.
** возможно рассеяние света на поверхности под большими углами.



Каталог приборов для трехмерного контроля поверхности FRT (Германия)