Датчик FTR тонких покрытий


Для п/п и высокотехнологичных изделий


Датчик тонких покрытийОсобенности:

- измерение методом отражения со спектральным разрешением
- многослойное измерение отдельных слоев с разрешением 1 нм
- обширная база данных с параметрами полупроводников, оксидов и т.д.
- компиляция наборов команд для каждой задачи измерения
- отображение толщины в комбинации с MicroProf® и MicroGlider®




Каталог приборов для трехмерного контроля поверхности FRT (Германия)


Технические характеристики:


Принцип измерения

измерение коэффициента отражения

Источник излучения

галогенная лампа

дейтериевая галогенная лампа

Модель

VIS

NIR

VIS/NIR

UV/VIS

UV/VIS/NIR

Диапазон длины волны

400-850 нм

650-1100 нм

400-1100 нм

250-850 нм

250-1100 нм

Диапазон измерения толщины

50 нм - 20 мкм

70 нм - 70 мкм

50 нм - 100 мкм*

10 нм - 20 мкм

10 нм - 70 мкм

Разрешение толщины слоя

1 нм

Разрешение по осям X, Y

200-800 мкм без оптики (лучше чем 10 мкм с дополнительной оптикой)

* по заказу 1-250 мкм.