Озонаторы воды серии OZW


Благодаря применению генератора озона высокой концентрации серии OZC, Teflon® мембраны из полых волокон, а также специального насоса, озонаторы воды EBARA способны непрерывно производить озонированную воду в большом объеме, тем самым отвечая требованиям процессов полупроводниковой промышленности следующего поколения.


Основные преимущества: Озонаторы воды


- Высокая концентрация, большой объем озонированной воды
- Система способна обеспечить концентрацию озонированной воды 3-30 мг/л при потоке 3-50 л/мин (задается оператором в зависимости от требований применения)
- Озонированная вода без загрязнений. Использование озонатора серии OZC с мембраной Teflon® из полых волокон и специального насоса помогает устранять общее содержание органического углерода, а также загрязнения тяжелыми металлами
- Исключительно высокая концентрация и стабильность потока.
Применение индикатора озона, основанного на принципе поглощения ультрафиолетовых лучей, и специально разработанного насоса Ebara с регулируемой скоростью позволяет получать озон точно контролируемой концентрации и постоянный поток озонированной воды
- Исключительная простота и безопасность использования - идеально для применения на производстве
- Имеет сенсорную панель управления
- Внешняя система управления позволяет осуществлять как локальное, так и удаленное управление
- Отвечает требованиям S2-93, также доступна модель в соответствие с CE
- Принцип действия OZW:
Ультрачистая вода прокачивается специальным насосом Ebara через мембрану из полых волокон при этом озонированный газ, вырабатываемый интегрированным озонатором серии OZC, также проходит через мембрану, тем самым производя воду с высоким содержанием озона и стабильной концентрацией.


Применения:


- Полупроводниковая промышленность
- Однородные оксидные пленки
- Снятие фоторезиста
- Влажная очистка


Технические характеристики


Модели

Поток , л/мин

Концентрация, PPM

OZW05M1-H2

3 - 10

3 -30

OZW20M1-H3

10 -25

3 -25

OZW30H2

20 - 35

3 -10

OZW40H2

25 - 50

3 -10