Специальная установка "Special plasma system Tetra-120-LF-PC"
Производственная установка "Tetra-120" с камерой объёмом 120 л и автоматической дверью применяется в серийном производстве (очистка, травление и активация).
Plasma system TETRA-120-LF-PC: c управлением через ПК. Установка оснащена автоматической дверью
Технические характеристики
|
Технические характеристики: |
Plasma etcher Tetra 120-LF-PC |
|
Шкаф распределительного устройства: |
Ш 600 мм, В 2.150 мм, Г 1.000 мм |
|
Камера: |
Ш 1.200 мм, В 150 мм, Г 1.700 мм |
|
Объем камеры: |
~ 120 литров |
|
Подвод газа: |
4 регулятора расхода газов с MFCs |
|
Генератор: |
2 шт. (каждый 40 кГц) |
|
Управление: |
ПК управление(Windows) |
|
Автоматизация: |
Установка оснащена автоматической дверью |
