Специальная установка "Special plasma system Tetra-600-LF-PC"
Производственная установка "Tetra-600" с камерой на 600 л и системой компьютерного управления применяется в серийном производстве (очистка, травление и активация).
 |
 |
|
"Plasma system TETRA-600-LF-PC": с блоками загрузки камеры, закрытая |
"Plasma system TETRA-600-LF-PC": с блоками загрузки камеры, открытая |
Технические характеристики
|
Технические характеристики: |
Plasma etcher Tetra-600 |
|
Шкаф распределительного устройства: |
Ш 600 мм, В 2.200 мм, Г 800 мм |
|
Камера: |
Ш 1 000 мм, В 1 000 мм, Г 600 мм |
|
Объем камеры: |
~ 600 литров |
|
Подвод газа: |
2 шт. (каждый 40 кГц) |
|
Генератор: |
40 кГц / 0 – 2.500 Вт |
|
Комплектация: |
10 ярусов / Подложек для обрабатываемых образцов |
|
Управление: |
Управление через ПК (Windows) |