Специальная установка "Special plasma system Tetra-600-LF-PC-D" c вращающимся барабаном


Производственная установка "Tetra-600" с камерой на 600 л, системой компьютерного управления и вращающимся барабаном предназначена для серийного производства (очистка, травление и активация).




"Plasma system TETRA-600-LF-PC-D": с вращающимся барабаном, закрытая


"Plasma system TETRA-600-LF-PC-D": с вращающимся барабаном, открытая




Технические характеристики


Технические характеристики:


Plasma etcher Tetra-600


Шкаф распределительного устройства:

Ш 600 мм, В 2.200 мм, Г 800 мм

Камера:

Ш 1.100 мм, В 1.100 мм, Г 700 мм

Объем камеры:

~ 600 литров

Генератор:

2 шт. (каждая 40 кгц)
(опционально 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Комплектация:

Вращающийся барабан (с 4 коробами, каждый объемом 30 литров)

Управление:

ПК управление (Windows) с промышленной шиной Fieldbus