-
Промышленное вакуумное оборудование
- Вакуумные насосы и откачные системы
- Откачные системы для промышленности и медицины
- Системы управления вакуумными установками
- Системы вакуумного прессования
- Мембранно-вакуумные прессы
- Стрелочные вакуумметры и реле вакуума
- Уравнительные вакуумные баллоны (вакуумные ресиверы)
- Вакуумные шланги
- Аксессуары для вакуумных насосов
-
Вакуумная техника для исследований и высокотехнологичных производств
- Вакуумные насосы и откачные системы
- Вакуумметры и датчики вакуума
- Течеискатели
- Фитинги, клапаны, вводы и другие комплектующие для высоковакуумных систем
- Установки имитации космоса
- Напылительные установки
- Вакуумные установки по техническим заданиям заказчиков
- Установки плазменной очистки, травления, активации и снятия фоторезиста
- Вакуумные камеры
- Квадрупольные масс-спектрометры
- Компоненты для вакуумных напылительных установок
- Вакуумные системы для химических и биологических лабораторий
-
Полупроводниковое оборудование
- Установки осаждения тонких пленок
- Установки очистки пластин и снятия резиста
- Скрубберы и установки нейтрализации газообразных отходов
- Испытательные центрифуги
- Компоненты для вакуумных напылительных установок
- Оборудование для производства солнечных батарей
- Озонаторы
- Регуляторы расхода газов
- Солнечные батареи
- Течеискатели и приборы для проверки на герметичность микросхем и установок
- Установки для испытаний микросхем на разряд статического электричества
- Установки для нанесения и сушки/задубливания фоторезиста
- Установки термического отжига
- Инспекционные установки и микроскопы
- Оборудование для полировки/шлифовки пластин
- Установки молекулярно-лучевой эпитаксии
- Установки контактной и бесконтактной литографии
- Термическое оборудование
- Криогенное оборудование
-
Аналитическое и испытательное оборудование
- Приборы детектирования и идентификации химических веществ (GC-MS)
- Приборы химического мониторинга (GC)
- Приборы обнаружения химических веществ (GC/PID/FID)
- Квадрупольные масс-спектрометры
- Установки имитации космоса
- Системы высокотемпературных прочностных испытаний
- Камеры для динамических вибрационных испытаний
- Электронная и ионная оптика
- Течеискатели
- Испытательные центрифуги для микроэлектронных приборов
- Климатические камеры
- Камеры для испытаний температурным ударом
- Инспекционные установки и микроскопы
- Компоненты для вакуумных напылительных установок
- Регуляторы и измерители расхода газов
- Рефлектометр для астрономической оптики CT7
- Системы активной виброизоляции
- Лабораторные вакуумные системы
-
Общепромышленное оборудование
- Центробежные жидкостные насосы
- Металлообрабатывающие станки
- Оборудование для медицинского газоснабжения
- Солнечные батареи
- Иструменты для сервиса холодильной техники
- Установка для термовакуумной обработки баллонов ТВОБ-2/40
- Системы вакуумной инфузии
- Пластинчато-роторные вакуумные насосы
- Турбомолекулярные насосы и откачные посты
- Вакуумные крионасосы
- Сухие форвакуумные насосы
- Вакуумные водокольцевые насосы
- Когтевые вакуумные насосы и компрессоры
- Паромасляные диффузионные насосы
- Плунжерные (золотниковые) вакуумные насосы
- Промышленные винтовые насосы
- Спиральные вакуумные насосы
- Мембранные вакуумные насосы
- Ионно-геттерные (магниторазрядные) насосы
- Мембранно-поршневые насосы
- Вихревые вакуумные насосы
- Двухроторные (типа Рут)
Автоматическая cистема управления плазменными установками
Пример: Плазменная установка "plasma system NANO"
Свободные параметры (plasma technologies):
- Время процесса
- Мощность
- Расход и тип газа
- Давление