Плазменные установки FEMTO
Двухлитровая лабораторная установка "Plasma system FEMTO" с полуавтоматическим управлением применяется в следующих областях:
- Малосерийное производство
- Аналитика (REM, TEM)
- Медицинская техника
- Стерилизация
- Научно-исследовательские работы
- Археология
- Текстильное производство
- Полупроводниковые технологии
- Технологии обработки искуcственных материалов
|
Plasma System FEMTO timer (модель 1)
Исследовательские работы, очистка, активация, травление (мелкосерийные процессы)
|
 |
|
Технические характеристики:
|
Plasma cleaner Femto timer
(модель 1)
|
|
Шкаф распределительного устройства:
|
Ш 345мм, В 220мм, Г 420мм
|
|
Камера:
|
Ø 100 мм, Г 270 мм
|
|
Объем камеры:
|
~ 2 литра
|
|
Подвод газа:
|
1 регулятор расхода газа с игольчатым клапаном
|
|
Генератор:
|
40 кГц / 100 Вт, бесступенчатый
|
|
Вакуумный насос:
|
Leybold, тип S1,5 (1,5м³/ч)
|
|
Комплектация:
|
Подложка для обрабатываемых образцов – 1 шт.
|
|
Управление:
|
Ручное, время устанавливается таймером
|
|
|
|
|
Plasma system FEMTO (модель 2)
Исследовательские работы, очистка, активация, травление (порт с дверцей на шарнирах)
|
 |
|
Технические характеристики:
|
Plasma cleaner Femto
(модель 2)
|
|
Шкаф распределительного устройства:
|
Ш 560 mm, В 310 mm, Г 600 mm
|
|
Камера:
|
Ш 100 mm, В 100 mm, Г 280 mm
|
|
Объем камеры:
|
~ 2 литра
|
|
Подвод газа:
|
1 регулятор расхода газа с игольчатым клапаном
|
|
Генератор:
|
40 кГц / 100 Вт, бесступенчатый
|
|
Вакуумный насос:
|
Leybold, тип S1.5 (1.5m/h)
|
|
Комплектация:
|
Подложка для обрабатываемых образцов – 1 шт.
|
|
Управление:
|
Ручное, время устанавливается таймером
|
|
|
Plasma system FEMTO (модель 3)
Исследовательские работы, очистка, активация, травление (мелкосерийные процессы)
|
 |
|
Технические характеристики:
|
Plasma cleaner Femto
(модель 3)
|
|
Шкаф распределительного устройства:
|
Ш 562 mm, В 211 mm, Г 420 mm
|
|
Камера:
|
Ø 100 mm, Г 270 mm
|
|
Объем камеры:
|
~ 2 литра
|
|
Подвод газа:
|
2 регулятора расхода газа с игольчатыми клапанами
|
|
Генератор:
|
40 кГц / 100 Вт, бесступенчатый
|
|
Вакуумный насос:
|
Leybold, тип S1.5 (1.5m/h)
|
|
Комплектация:
|
Подложка для обрабатываемых образцов – 1 шт.
|
|
Управление:
|
Ручное, время устанавливается таймером
|
|
Датчик давления:
|
Pirani
|
|
|
Plasma system FEMTO-PC (модель 4)
Исследовательские работы, очистка, активация, травление (мелкосерийные процессы)
|
 |
|
Технические характеристики:
|
Plasma cleaner Femto
(модель 4)
|
|
Шкаф распределительного устройства:
|
Ш 562 mm, В 460 mm, Г 550 mm
|
|
Камера:
|
Ø 100 mm, Г 270 mm
|
|
Объем камеры:
|
~ 2 литра
|
|
Подвод газа:
|
3 канала подвода газа с электронной регулировкой (MFC)
|
|
Генератор:
|
40kHz/0-100 W (или: 13,56 МГц, 2,45 ГГц)
|
|
Вакуумный насос:
|
Leybold, тип S1.5 (1.5m/h)
|
|
Комплектация:
|
Подложка для обрабатываемых образцов – 1 шт.
|
|
Управление:
|
ПК управление работает с Windows
|
|
|
Plasma system FEMTO (модель 5)
Исследовательские работы, очистка, активация, травление (мелкосерийные процессы)
|
 |
|
Технические характеристики:
|
Plasma cleaner Femto
(модель 5)
|
|
Шкаф распределительного устройства:
|
Ш 320 mm, В 500 mm, Г 420 mm
|
|
Камера:
|
Ш 100 mm, В 270 mm, Г 280 mm
|
|
Объем камеры:
|
~ 2 литра
|
|
Подвод газа:
|
2 регулятора расхода газа с игольчатыми клапанами
|
|
Генератор:
|
40 кГц / 100 Вт, бесступенчатый
|
|
Вакуумный насос:
|
Leybold, тип S1.5 (1.5m/h)
|
|
Комплектация:
|
Подложка для обрабатываемых образцов– 1 шт.
|
|
Управление:
|
Ручное, время устанавливается таймером
|
|
Датчик давления:
|
Pirani
|
|
