Плазменные установки NANO


Малогабаритная установка "Plasma system NANO" с камерой объёмом 24 литра и полуавтоматическим управлением, применяется в следующих областях производства:

 
- полупроводниковая техника
- техника точных приборов
- электротехника
- медицинская техника
- техника обработки пластмасс
- техника эластомеров
- научно-исследовательские работы

Малогабаритная установка (plasma system) "NANO" с полуавтоматическим управлением: очистка, активация, травление, нанесение покрытий

Малогабаритная установка (plasma system) "NANO" с автоматическим управлением: очистка, активация, травление, нанесение покрытий


Малогабаритная установка (plasma system) "NANO" с полуавтоматическим управлением:
очистка, активация, травление, нанесение покрытий

Технические характеристики

Технические характеристики:

Plasma cleaner NANO

Шкаф распределительного устройства:

Ш 580мм, В 650мм, Г 600мм

Камера:

Ø 267мм, Г 420мм

Объем камеры:

~ 24 литра

Подвод газа:

2 регулятора расхода газа с игольчатыми клапанами

Генератор:

40 кГц / 300 Вт, бесступенчатый (Опционально: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)

Вакуумный насос:

Leybold, тип D8B (8 м³/ч)

Комплектация:

Подложка для обрабатываемых образцов – 1 шт.

Управление:

полуавтоматическое, время устанавливается таймером