Плазменные установки TETRA-30-LF
Мелкосерийная промышленная установка plasma system TETRA-30-LF с 30 - литровой камерой и автоматической системой управления используется в производственных процессах для: очистки, травления и активации.
Промышленная установка (plasma system) "TETRA-30-LF" с автоматическим управлением для: очистки, активации, травления, нанесения покрытий
Технические характеристики
|
Технические характеристики: |
Plasma cleaner TETRA-30-LF |
|
Шкаф распределительного устройства: |
Ш 600 mm, В 2.200 mm, Г 650 mm |
|
Камера: |
Ш 305 mm, В 300 mm, Г 370 mm |
|
Объем камеры: |
~ 34 литра |
|
Подвод газа: |
2 регулятора расхода газа с игольчатыми клапанами |
|
Генератор: |
40кГц/0-1000 Вт |
|
Вакуумный насос: |
Leybold, тип D16B (16 m³/h) |
|
Комплектация: |
до 6 ярусов(до 6 подложек для обрабатываемых образцов) |
|
Управление: |
автоматическое, время устанавливается таймером |