Система нейтрализации газов EBARA GDC 250

Система нейтрализации газов EBARA применяется для утилизации побочных продуктов следующих процессов: PECVD (плазмохимическое осаждение), LPCVD и UHVCVD (химическое осаждение из газовой вазы в вакууме), травление, MOCVD (химическое осаждение из газовой фазы металлоорганических соединений), любых промышленных технологий, связанных с выделением перфторуглеродов (ПФУ).
Системы нейтрализации газов EBARA GDC 250, принцип работы которых, основан на разложении путем высокотемпературной обработки с последующей “отмывкой” газа во встроенном водосорбционном скруббере, являются универсальным решением для полупроводниковой промышленности, производства солнечных батарей, технологий нанесения тонких пленок. Тепловое разложение в пламени дополняется влажным очищением продуктов горения в 2-ступенчатом водяном скруббере, чтобы очистить поток от твердых частиц, растворимых в воде и реагирующих с водой газов.
Международные правила охраны окружающей среды, касающиеся выбросов ПФУ в атмосферу, становятся с каждым годом все более жесткими. В состав нейтрализатора GDC 250 входит уникальная запатентованная "кольцевая" система сжигания с температурой в зоне реакции 2 500 °C. В комбинации со встроенным водосорбционным скруббером такая система обеспечивает снижение концентрации перфторуглеродов в обрабатываемом потоке на беспрецедентно низкий уровень. Даже CF₄ (тетрафторметан), который является одним из самых устойчивых соединений в органической химии, может быть нейтрализован до уровня менее чем 1 ppm. Полная производительность установки 250 ст.л/мин, включая азот, поступающий в систему из каналов продувки вакуумных насосов.

Для установок нейтрализации газов Ebara доступен целый ряд опций:

• Система предварительной очистки от твердых частиц
• Герметичный жидкостной насос для перекачки воды отработавшей в водосорбционном скруббере (необходимо, если сливной трубопровод поднимается выше выходного патрубка установки)
• Система нагрева подающего трубопровода, для предотвращения конденсации и засорения трубопроводов
• Система подачи атмосферного воздуха для предотвращения конденсации влаги в выходном трубопроводе
• Датчики контроля утечки газа (топлива)

- Высокоэффективная система нейтрализации (например, эффективность по нейтрализации перфторуглеродов выше 99%) для низких и высоких потоков утилизируемых газов
- Самые высокие стандарты безопасности, чтобы устранить любые риски для операторов и окружающей среды
- Самая низкая стоимость владения благодаря низкой стоимости сервисного обслуживания и длинным интервалам между обслуживаниями
- Нет риска коррозии, все трубопроводы имеют внутри особо корозионноустойчивое покрытие. Не требуется применения ни каких других средств для защиты от коррозии.
- Система работает с обычной водопроводной водой, никакая предварительная подготовка воды не требуется
- Установка нейтрализации оборудована уникальной автоматической системой механической очистки. Автоматически по мере необходимости происходит механическая очистка с помощью специальных строенных устройств реактора и горелок. Таким образом значительно сокращается объем технического обслуживания, значительно увеличиваются межсервисные. Благодаря встроенной системе очистки установки нейтрализации Ebara обладают беспрецедентной надежностью и отказоустойчивостью
- В качестве топлива могут использоваться три различных газа: пропан, водород, сжиженный природный газ
- Лучшие показатели по снижению выбросов окислов азота (NOx), благодаря малому потреблению чистого газа. Особенно это действительно при работе с сухими форвакуумными насосами Ebarа, так же обладающими очень низким потреблением азота или работающими без потребления азота
- Различные режимы работы: HIGT, LOW и режим ожидания позволяют экономить на эксплуатационных затратах

Технические характеристики:

Максимальный поток нейтрализуемых газов: 250 ст.л/мин.
Входные патрубки: NW40KF x 4 шт. (62 ст.л/мин. макс. поток газа на каждый патрубок)
Габаритные размеры, мм: 900 (ширина) x 900 (глубина) x 1800 (ширина)
Масса: 550 кг
Электропитание: 1.5 кВт (потребление: 0.8 кВт), одна фаза, 220 В
Топливо: GDC 250 SA:Природный газ
GDC 250 SP: Пропан
GDC 250 SH: Водород
Потребление топлива*: GDC 250 SA: 14 [26] ст.л/мин
GDC 250 SP: 6 [11] ст.л/мин
GDC 250 SH: 35 [80] ст.л/мин
Потребление кислорода*: GDC 250 SA: 20 [58] ст.л/мин
GDC 250 SP: 21 [55] ст.л/мин
GDC 250 SH: 12 [40] ст.л/мин
Потребление сухого воздуха*: GDC 250 SA: 140 [100] ст.л/мин
GDC 250 SP: 140 [100] ст.л/мин
GDC 250 SH: 140 [100] ст.л/мин
Потребление азота: 38 ст.л/мин (во время работы) 100 ст.л/мин (во время останова)
Потребление воды: 9 ст.л/мин
* Значение в квадратных скобках [] соответствует потреблению при нейтрализации CF4.

Каталог сухих форвакуумных насосов и систем нейтрализации опасных газов Ebara (Япония), Русский, 6 МБ