Система нейтрализации газов EBARA G5

Системы нейтрализации газов EBARA G5, принцип работы которых, основан на разложении путем высокотемпературного воздействия и влажного скруббирования , широко применяются в полупроводниковой промышленности, солнечной энергетике и в технологиях нанесения тонких пленок. Основное назначение - это нейтрализация перфторуглеродов (ПФУ) и реакционных газов в процессах травления. Международные правила охраны окружающей среды, касающиеся выбросов ПФУ в атмосферу, становятся с каждым годом все более жесткими. В состав нейтрализатора G5 входит уникальная запатентованная "кольцевая" система сжигания, которая позволяет снизить содержание ПФУ до беспрецедентно низкого уровня. После термического разложения в системах G5 следуют мокрая очистка продуктов сжигания в высокоэффективных 5-ступенчатых водных скрубберах. Это позволяет задержать оставшуюся часть газов не подвергшуюся термическому разложению. Система оснащена резервуаром для воды для эффективного поглощения большого количества растворимых в воде газов и твердых продуктов сжигания. Производительность одной единицы системы составляет 350 ст. л/мин. (включая азот, необходимый для продувки вакуумных насосов). Система нейтрализации газов EBARA G5 применяется для утилизации побочных продуктов следующих процессов: PECVD (плазмохимическое осаждение), LPCVD и UHVCVD (химическое осаждение из газовой вазы в вакууме), травление, MOCVD (химическое осаждение из газовой фазы металлоорганических соединений), любые промышленные процессы, связанные с выделением перфторуглеродов (ПФУ).


G5-A3

Основные характеристики:

Примеры нейтрализуемых газов: TEOS - SiO₄C₈H₂0, TEPO - PO₄C₆H₁₅, TEB - BO₃C₆H₁₅, NF₃, O₃ и др.
Производительность: 350 ст. л/мин
Входные фланцы: NW40KF, до 4
Габаритные размеры: 1200(Ш) x 650(Г) x 1900(В) мм.
Вес: 550 кг
Электропитание: 3ф, 380В
Потребляемая мощность: 2.1 кВт
Потребление топлива в процессе горения (СПГ): 13 – 25 л/мин
Кислород: 25 – 50 л/мин
Воздух: 145 – 165 л/мин
Азот: 13 л/мин
Вода: 10 л/мин
Охлаждающая вода: 3 - 60 л/мин

Преимущества:

• Высокая эффективность. Характеризуется отсутствием системы напуска воздуха или азота в линии выхлопа скруббера. Это позволяет правильно оценивать концентрацию нейтрализуемых газов на выходе из системы
• Высочайшие стандарты безопасности для обслуживающего персонала
• Низкая стоимость владения
• Высокая коррозионная стойкость. Все компоненты системы выполнены из материалов имеющие повышенную стойкость к коррозии для данного класса оборудования
• Автоматическая система очистки от отложений на внутренних частях системы
• Возможность использования, на выбор, сжиженного природного газа или пропана в качестве горючего в процессе сжигания

Дополнительные опции:

• Герметичный насос для перекачки воды. Насос необходим для перекачки жидкости в случае расположения бака вне системы очистки
• Система предварительного нагрева, для предотвращения конденсации и засорения входящих газовых линий
• Датчики давления на входе
• Датчики контроля утечки горючих газов

Каталог сухих форвакуумных насосов и систем нейтрализации опасных газов Ebara (Япония), Русский, 6 МБ