Cyclone XL
Производительность 5000 ст.л/минНовый высокопроизводительный, высокоэффективный влажный (водосорбционный) скруббер серии Airgard.
Преимущества
• Низкая стоимость владения
• Максимально длинные интервалы между обслуживанием
• Быстрое техническое обслуживание
• Рекордно высокая эффективность
• Быстрый выход на режим
• Высочайшая надежность
Применения
- EPI (высокий поток/Солнечные панели)
- Фотовольтаика
- Напыление кремния, диселенида галлия-индия-меди
- Производство солнечных батарей
- Очистительные процессы
- Вентиляция газораспределительных станций
- NH3 обработка
Основные характеристики
• Подогреваемый входной фланец с тефлоновой вставкой
• Полностью автоматический PLC блок управления
• 5,000 стандартных литров в минуту – максимальная производительность
Серия скрубберов Airgard имеют подтвержденную временем высокую эффективность, непревзойденную надежность, и самые низкие эксплуатационные затраты за более чем 20-летнюю историю применения в полупроводниковой промышленности. Паровые скрубберы данной серии увеличивают период продуктивной эксплуатации основного оборудования за счет сокращения времени технического простоя скруббера практически до нуля. В настоящее время среди скрубберов Airgard появилась также модель с повышенной производительностью POU, удовлетворяющая растущим требованиям производителей солнечных батарей. Модель Cyclone XL сочетает в себе все возможные технические преимущества влажных скрубберов существующих в настоящий момент на рынке, а также имеет рекордную производительность в 5000 стандартных литров в минуту. Скрубберы серии Airgard – это всегда максимальная эффективность и минимальное техническое обслуживание возможное в отрасли.
Каталог сухих форвакуумных насосов и систем нейтрализации опасных газов Ebara (Япония), Русский, 6 МБ