Cухие вакуумные насосы типа Рут (Серия ESR)
Серия ESR - это многоступенчатые сухие вакуумные насосы типа Рут, специально разработанные для применения в технологических процессах, таких как: высокотемпературная обработка, осаждение тонких пленок (PVD-процессы) и ионно-плазменное травление, откачка вакуумных камер большого объема, а также и других процессах связанных с откачкой чистых сред и сред со средним уровнем загрязнения.
Насосы серии ESR высокой производительности имеют дополнительную ступень в виде встроенного сухого бустерного двухроторного насоса.
Насосы серии ESR обладают быстротой действия от 78 до 2760 м3/ч.
Нужно отметить, что насосы серии ESR имеют очень низкую стоимость владения за счет использования многоступенчатой конструкции с применением двигателей постоянного тока и интеллектуальной системы управления двигателем. Эти усовершенствования позволяют снизить потребление электроэнергии, охлаждающей воды и азота по сравнению с насосами, работающими на двигателях переменного тока. Интеллектуальная система управления позволяет настраивать насос на определенную степень вакуума, а также на переход в режим ожидания, когда насос не используется. Для применения в «чистых» технологических процессах продувка азотом не требуется. Для откачки агрессивных и ядовитых газов используется встроенная система продувки азотом (с экономичным расходом). Очень высокая химическая стойкость деталей проточной части насосов обеспечивается использованием запатентованных сплавов с высоким содержанием никеля.
Сухие вакуумные насосы EBARA имеют целый ряд неоспоримых преимуществ, что позволяет их считать наиболее оптимальным средством откачки в самых ответственных процессах.
ESR80WN |
Преимущества вакуумных насосов серии ESR:
- Самая низкая стоимость владения в своем классе
- Компактная конструкция
- Широкий диапазон производительностей
- Использование высокотехнологичных безщеточных двигателей постоянного тока
- Интеллектуальная система управления
- Насосы имеют международные сертификаты: ЕС, Национальной Поверочной Лаборатории полупроводников, Международной организации полупроводникового оборудования и материалов S2 и подходят для использования в чистых помещениях
Каталог сухих форвакуумных насосов и систем нейтрализации опасных газов Ebara (Япония)
Технические характеристики
Характеристики/Модель |
ESR20N |
ESR30N |
ESR80WN |
ESR200WN |
ESR300WN |
ESR500WN |
Быстрота действия, м3/час |
78-120 |
90-180 |
240-600 |
600-1200 |
900-1800 |
2760 |
Предельное остаточное давление, мбар |
2х10-2 |
6.7х10-3 |
2х10-3 |
2х10-3 |
2х10-3 |
2х10-3 |
Соединительный фланец |
KF 40 |
KF 50 |
KF 50 |
ISO-K 100 |
ISO-K 100 |
ISO-K 100 |
Максимальная потребляемая мощность (при минимальном остаточком давлении), кВт |
2.8 (0.7) |
3.5 (1.7) |
4.5 (1.0) |
5.6 (2.1) |
7.5 (2.9) |
7.9 (3.1) |
Расход охлаждающей воды, л/мин |
2-8 |
2-8 |
2-8 |
2-8 |
3.5-8 |
3.5-8 |
Расход азота на продувку, л/мин |
2-12 |
2-12 |
2-12 |
2-12 |
2-12 |
2-12 |
Габаритные размеры, ДхШхВ, мм |
695 х 280 х 370 |
760 х 400 х 488 |
720 х 380 х 705 |
850 х 380 х 705 |
825 х 460 х 880 |
975 х 460 х 880 |
Масса, кг |
105 |
190 |
200 |
250 |
390 |
500 |