Вакуумные насосы серии EV-М

Компания EBARA представляет новую конструкцию вакуумного насоса для процессов откачки агрессивных сред (NF3, HF, Cl2, SiH2Cl2 и др.). Насосы имеют меньшие размеры, и потребляют на 50% меньше энергии, чем насосы серии EST. Насосы серии EV-M имеют более высокую скорость откачки H2, по сравнению со шнековыми вакуумными насосами.

Преимущества вакуумных насосов EV-M:

- Меньший вес и размеры, по сравнению с более ранними моделями
- Более высокая скорость откачки H2, по сравнению с вакуумными насосами шнекового типа
- Увеличенная надежность, благодаря электродвигателям с большим крутящим моментом
- Интеллектуальная система управления
- Низкий уровень шума и вибраций
- Регулируемая скорость откачки, благодаря возможности изменения количества об/мин
- Низкое потребление электричества, охлаждающей воды и азота
- Режим ожидания обеспечивает дополнительную экономию энергии

Технические характеристики

Характеристики/Модель	EV-M20N	EV-M102N	EV-M202N	EV-M302N	EV-M502N	EV-M802N
Быстрота действия, м³/час	108	600	1200	1620	3000	4800
Предельное остаточное давление, мбар	5х10^-2	5х10^-2	5х10^-2	5х10^-2	5х10^-2	5х10^-2
Расход охлаждающей воды, л/мин	3-8		3.5-8	4-8	5-8
Расход азота на продувку, л/мин	15-18				16-20
Соединительный фланец	40 KF	100 ISO-K	100 ISO-K	100 ISO-K	160 ISO-K	160 ISO-K
Максимальная потребляемая мощность, кВт	2.2	3.8	4.4	4.7	5.7	5.4
Вес, кг	170	320	360	400	500	740
Габаритные размеры, ДхШхВ, мм	820x370x620	810x380x922	870x380x922	961x380x1000	1015x485x1040	1140x630x1105
Питание, В	200 - 220 / 380 - 440, 3 ф., 50/60 Гц

Каталог сухих форвакуумных насосов и систем нейтрализации опасных газов Ebara (Япония)