Комбинированный мембранно-ёмкостный вакуумметр с датчиками Байярда-Альперта и Пирани BCG450
Комбинированный мембранно-ёмкостный вакуумметр с датчиками Байярда-Альперта и Пирани компании INFICON, BCG450, реализует преимущества трёх различных технологий в одном компактном экономичном модуле с диапазоном измерения 5x10-10 - 1500 мбар (3,75x10-10 - 1125 торр) технологического и базового давления. Вакуумметр BCG450 сконструирован для замены трёх датчиков (ионизационный датчик с горячим катодом, конвекционный датчик Пирани с расширенным диапазоном и реле вакуума) позволяя сократить расходы и сэкономить свободное пространство оборудования.
Преимущества комбинированного вакуумметра BCG450
- Вакуумметр BCG450 позволяет сократить расходы и экономно использовать свободное пространство оборудования, а также упрощает установку и настройку вакуумной системы
- Независимость результатов измерения от типа газа при давлении больше 10 торр обеспечивает более надёжное управление загрузочным шлюзом для смеси любых газов
- Блокировка Пирани защищает горячий катод от преждевременного перегорания
- Автоматическая регулировка Пирани для высокого вакуума уменьшает вмешательство оператора
- Измерение перепада давления при атмосферном давлении исключает неопределённость, обусловленную изменением атмосферного давления
- Легко заменяемый чувствительный элемент с хранящимися в устройстве данными калибровки гарантирует высокую воспроизводимость результатов измерений
- Дополнительно: графический дисплей и интерфейс промышленной сети
- Соответствует положениям директивы (RoHS), ограничивающей содержание вредных веществ
Области применения комбинированного вакуумметра BCG450
- Измерение давления в техпроцессах производства полупроводников и шлюзовых камерах
- Промышленные установки для напыления покрытий
- Измерение и контроль вакуума в системах в диапазоне от низкого до сверхвысокого вакуума
Информация для заказа
|
|
BCG450 без ЖКИ |
BCG450 с ЖКИ |
BCG450-SP с Profibus DP(2) |
BCG450-SD с DeviceNetTM2 |
BCG450-SR с RS485(1)(2) |
|
DN 25 ISO-KF |
353-550 |
353-552 |
353-554 |
353-557 |
353-559 |
|
DN 40 CF-R |
353-551 |
353-553 |
353-556 |
353-558 |
353-560 |
|
Сменный датчик 25 ISO-KF |
354-492 |
354-492 |
354-492 |
354-492 |
354-492 |
|
Сменный датчик 40 CF-R |
354-493 |
354-493 |
354-493 |
354-493 |
354-493 |
1) по запросу
2) не изготавливается с ЖКИ
Принадлежности
|
Блок питания 24 В пост. тока / линия RS232C |
353-511 |
|
Отражатель |
353-512 |
|
Центрирующее кольцо с отражателем DN 25 ISO-KF |
211-113 |
Технические характеристики BCG450 (стандартное исполнение)
|
|
BCG450 (с индикатором) |
|
Диапазон измерения, мбар (торр) |
5x10-10…1500 (3.75x10-10…1125) |
|
Точность, % от показания |
|
|
10-8… 50 мбар |
±15 |
|
50 … 950 мбар |
±5 |
|
950 … 1050 мбар |
±2,5 |
|
Повторяемость,10-8 … 10-2 мбар, % от показания |
5 |
|
Выбор уровня давления для включения ионизации горячим катодом (выбор: высокий/низкий уровень давления, команда через интерфейс RS232 или промышленной сети), мбар |
2x10-2 (высокий) 8x10-3 (низкий) |
|
Давление, макс., бар (абс.) |
5 |
|
Температура |
|
|
Эксплуатация (окружающая среда) , °C |
0 … +50 |
|
Эксплуатация, °C |
-20 … +70 |
|
Прогрев |
|
|
Фланец, °C |
80 |
|
Без электроники, °C |
150 |
|
Напряжение питания, В/А, пост. ток |
20 … 28 / 0.8 |
|
Аналоговый выходной сигнал, В |
0 … 10.3 |
|
Диапазон измерения, В |
0.774 … 10.3 |
|
Зависимость напряжения от давления, В / декада |
0.75 |
|
Сигнал ошибки, В |
0.3 / 0.5 |
|
Мин. нагрузка, кОм |
10 |
|
Интерфейс (цифровой)(2) |
RS232C |
|
Соединитель |
D-sub, 15-контактный, вилка |
|
Макс. длина кабеля, м(3) |
100 |
|
Материалы, соприкасающиеся с областью вакуума |
Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, нержавеющая сталь, стекло |
|
Внутренний объём KF/CF , см3 (дюйм3) |
24 (1.46) / 34 (2.1) |
|
Масса KF/CF, г |
285 / 550 |
|
Степень защиты |
IP30 |
1) Точность снижается при обезгаживании
2) Одновременное использование RS232C или контроллеров серии VGC400 с передачей данных через промышленную сеть запрещено
3) Для передачи данных по стандарту RS232C менее 30 м
Технические характеристики (DeviceNet™)
|
|
BCG450-SD DeviceNet™ |
|
Протокол |
DeviceNet™, группирование только 2 ведомых |
|
Скорость передачи данных, Кбод |
125, 250, 500 выбор переключателем или по сети, используя программу |
|
Длина кабеля, м (фут) |
|
|
125 Кбод |
500 (1650) |
|
250 Кбод |
250 (825) |
|
500 Кбод |
100 (330) |
|
MAC-адрес |
2 переключателя (адрес 00-63) или по сети, используя программу |
|
Число узлов в сети |
до 64 узлов в одном сегменте |
|
Цифровые функции |
считывание значения давления, выбираемые единицы измерения: торр, мбар, Па функция обезгаживания мониторинг состояния вакуумметра безопасное состояние позволяет определять поведение в случае ошибки подробные сведения при предупреждении или тревоге |
|
Аналоговые функции |
аналоговый вывод (0-10 В) для индикации давления 2 настраиваемых реле А+В |
|
Индикаторы для визуального оповещения |
СИД состояние сети (зелёный/красный) СИД состояние модуля (зелёный/красный) |
|
Технические характеристики |
DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (Профиль вакуумметра) |
|
Тип прибора |
"CG" для комбинированного вакуумметра |
|
Обмен сообщениями с ведомым (ввод-вывод) |
только последовательный опрос |
|
Настраиваемые реле |
2 |
|
Диапазон, мбар |
1x10-9 … 1400 |
|
Контакт реле |
замыкающий, сухой контакт |
|
Гистерезис, % от показания |
10 |
|
Номинальные рабочие напряжение и ток контакта, В/А, пост. ток |
60 / 0.5 |
|
Соединитель |
D-sub, 15-контактный, вилка |
|
Напряжение питания для DeviceNet™ , В/А, пост. ток |
11 … 25 / 0.5 |
|
Напряжение питания для вакуумметра, В/А, пост. ток |
20 … 28 / 0.8 |
|
Электрический соединитель для DeviceNet™ |
Microstyle, 5-контактный |
|
Электрический соединитель для BCG (аналоговый вывод, напряжение питания, уставки) |
D-sub, 15-контактный, вилка |
Технические характеристики (Profibus DP)
|
|
BCG450-SP Profibus DP |
|
Скорость передачи, Кбод |
9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 |
|
Скорость передачи, Мбод |
1.5 / 12 |
|
Адрес |
2 переключателя (адрес 00-127) или по сети, используя программу |
|
Цифровые функции |
считывание значения давления, выбираемые единицы измерения: торр, мбар, Па функция обезгаживания мониторинг состояния вакуумметра безопасное состояние позволяет определять поведение в случае ошибки подробные сведения при предупреждении или тревоге |
|
Аналоговые функции |
аналоговый вывод (0-10 В) для индикации давления 2 настраиваемых реле А+В |
|
Настраиваемые реле |
2 |
|
Диапазон, мбар |
1x10-9 … 1400 |
|
Контакт реле |
замыкающий, сухой контакт |
|
Гистерезис, % от показания |
10 |
|
Номинальные рабочие напряжение и ток контакта, В/А, пост. ток |
60/0,5 |
|
Электрический соединитель для Profibus DP |
D-sub, 9-контактный, розетка |
|
Электрический соединитель для BPG (аналоговый вывод, напряжение питания, уставки) |
D-sub, 15-контактный, вилка |
Технические характеристики (RS485)
|
|
BCG450-SR RS485 |
|
Скорость передачи, Кбод |
0.3 / 1.2 / 2.4 / 4.8 / 9.6 / 19.2 / 28.8 |
|
Адрес |
2 переключателя (адрес 00-127) или по сети, используя программу |
|
Цифровые функции |
считывание значения давления, выбираемые единицы измерения: торр, мбар, Па функция обезгаживания, настройка предела показаний датчика Пирани мониторинг состояния вакуумметра подробные сведения при предупреждении или тревоге |
|
Аналоговые функции |
аналоговый вывод (0-10 В) для индикации давления 2 настраиваемых реле А+В |
|
Настраиваемые реле |
2 |
|
Диапазон, мбар |
1x10-9 … 1400 |
|
Контакт реле |
замыкающий, сухой контакт |
|
Гистерезис, % от показания |
10 |
|
Номинальные рабочие напряжение и ток контакта, В/А, пост. ток |
60/0,5 |
|
Электрический соединитель для Profibus DP |
D-sub, 9-контактный, розетка |
|
Электрический соединитель для BPG (аналоговый вывод, напряжение питания, уставки) |
D-sub, 15-контактный, вилка |
Каталог вакуумметров, датчиков вакуума и блоков индикации Inficon (Лихтенштейн) на русском языке