ПО FabGuard Explorer™ для анализа газов


ПО FabGuard Explorer™ для управления анализатором остаточных газов – простое в использовании и удивительно многофункциональное.


Две наиболее часто используемые функции анализатора остаточных газов доступны одним щелчком кнопкой мыши: режимы мониторинга и обнаружения течи. FabGuard Explorer предоставляет легко интерпретируемые данные, характеризующие наиболее часто отслеживаемые газы (водород, водяной пар, азот, кислород, аргон и др.) в наглядном трендовом отображении.


Простой пользовательский интерфейс FabGuard Explorer можно комбинировать с расширенными функциями управления технологическим процессом, ожидаемыми опытными квалифицированными пользователями. Рационально организованный графический пользовательский интерфейс предоставляет пользователям такие дополнительные функции как создание многошаговых наборов команд и вычитание фона.


ПО FabGuard Explorer прошло проверку совместимости с ОС Windows® 7 и является комплексным ПО для анализаторов остаточных газов, не вызывающим никаких сомнений в совместимости с операционной системой.


Для эксплуатации одного анализатора остаточных газов Transpector экономичным решением является версия ПО FabGuard Explorer для одного датчика. Использование версии этого ПО для нескольких датчиков позволяет управлять несколькими газоанализаторами Transpector различного типа как сетью датчиков с одного компьютера. Переходное устройство TCA485 для связи с газоанализатором Transpector присоединяется к свободному электрическому соединителю интерфейса RS232 на задней панели ПК и обеспечивает возможность полного контроля кончиками пальцев одной руки. Ещё более важно то, что ПО FabGuard Explorer разработано для управления всеми датчиками и одновременно с этим отображения до четырёх трендовых графиков на вкладке Live Data (Данные в реальном времени).


FabGuard Explorer предоставляет несколько способов сбора данных. Наиболее общий способ называется Quick Manual Acquisition (Быстрый сбор данных вручную). ПО FabGuard Explorer предварительно настроено для сбора данных анализа газов с молекулярной массой в диапазоне 0-50 а.е.м. с одной точкой на 1 а.е.м. и отображением в виде гистограммы или трендового графика, демонстрирующих уровни содержания водорода, водяного пара, азота, кислорода, аргона и углекислого газа.


Особенности и возможности:

Fab_Guard1.png

- Доступ одним щелчком мышью к функциям:
  1.Обнаружение течи/сбор данных
  2.Создание набора команд одним щелчком мыши
  3.Шаблоны выполнения техобслуживания
- ПО FabGuard Explorer позволяет работать с несколькими датчиками: анализаторами остаточных газов Transpector 2, ВЧ датчиками RFS100 и газоанализатором Quantus
- Средство диагностики вакуума (Vacuum Diagnostics) быстро идентифицирует молекулы газов в вакуумной системе
- Сводные данные анализа (Run Summary) добавляет полные сведения о сборе данных и датчике к каждому анализу, которые помогают определить чем вызваны отклонения данных от нормы: изменением параметров датчика или другой причиной
- Функция маркировки (Tagging) упрощает высокоуровневый анализ процесса
- Функции автонастройки (Auto Tune) поддерживают исправное состояние датчика
- Совместимо с Windows 7


Газ, содержание которого необходимо отслеживать, отсутствует на отображаемом по умолчанию трендовом графике? ПО FabGuard Explorer позволяет отобразить любой элемент с обнаруживаемой прибором массой на трендовом графике (Trend Graph) простым выбором из списка.

Fab_Guard_2.png

Сбор данных


Необходимо изменить способ получения данных программой FabGuard Explorer? ПО FabGuard Explorer позволяет пользователю настраивать элементы управления сбором данных по умолчанию посредством создания приёмника (указание программе об элементах с какой массой (а.е.м.) собирать данные) и меню управления приёмом данных (указание программе как собирать данные).

Fab_Guard_3.png

Создание набора команд


Затрудняетесь идентифицировать газы, которые могут присутствовать в техпроцессе? Функция Chemistry Library (Библиотека химических соединений) ПО FabGuard Explorer позволяет накладывать спектры до 5 различных газов с различным относительным содержанием на спектр, полученный анализатором остаточных газов. После идентификации газов, присутствующих в среде техпроцесса, ПО FabGuard Explorer позволяет подобрать параметры сканирования, соответствующие обнаруженным газам.


Техобслуживание процесса


В ПО FabGuard Explorer реализовано новое меню управления техобслуживанием, которое объединяет все доступные функции техобслуживания в одном интерфейсе, удобном для работы. Это не имеющее аналогов меню предоставляет простой доступ к функциям техобслуживания, как правило скрытым внутри в ПО других разработчиков.


Обнаружение течи

Традиционное применение анализаторов остаточных газов заключается в проверке герметичности вакуумной системы с помощью газообразного гелия. ПО FabGuard Explorer обеспечивает интуитивно понятный простой процесс течеискания, доступный из главного меню нажатием всего одной кнопки. Звуковые сигналы оповещения позволяют легко определить состояние процесса течеискания даже если вакуумная система находится на значительном удалении от компьютера, на котором выполняется программа.


Для проверки герметичности ПО FabGuard Explorer может отслеживать элемент с любой массой, что позволяет обойтись без использования дорогостоящего чистого газообразного гелия.

Fab_Guard_4.png


Диагностика вакуума

Достаточно простого нажатия всего одной кнопки, чтобы ПО FabGuard Explorer предоставило легкоинтерпретируемый спектр, демонстрирующий все газообразные элементы, присутствующие в вакуумной системе. Это новое средство диагностики вакуума (Vacuum Diagnostics) наглядно информирует о любых присутствующих примесях и даже определяет их идентичность, не требуя сложного качественного визуального анализа.

Fab_Guard_5.png

Техобслуживание датчика


ПО FabGuard Explorer предоставляет простые в использовании функции техобслуживания, которые помогают поддерживать анализатор остаточных газов в правильно настроенном и готовом к работе состоянии. Техобслуживание датчика помогает обеспечивать достоверное соответствие данных, полученных от анализатора остаточных газов, конкретному приложению.


Режим настройки

Настройка анализаторов остаточных газов является обязательным процессом для достижения достоверности данных, получаемых прибором. Режимы настройки, реализованные в ПО других разработчиков, могут оказаться очень сложными для использования, что приводит к эксплуатации ненастроенных анализаторов остаточных газов. В ПО FabGuard Explorer реализован новый автоматический способ настройки, когда программа автоматически настраивает датчик для получения пика с надлежащими характеристиками и в правильной позиции, используя газы, присутствующие в вакуумной камере.


Калибровка

ПО FabGuard Explorer обеспечивает простой интуитивно понятный процесс калибровки полного давления, ВЭУ (если установлен в приборе) и чувствительности. Регулярное выполнение этих калибровок повысит качество количественного анализа данных анализатора остаточных газов и обеспечит получение более точных оценок концентрации обнаруженных газов.


Дополнительные возможности, предоставляемые FabGuard


ПО FabGuard Explorer является частью набора продуктов FabGuard Suite, которые предоставляют пользователю наиболее востребованные функции анализатора остаточных газов – мониторинг техпроцесса, обнаружение течи и программирование работы прибора в виде функциональных средств, легко используемых нажатием кнопки мыши. По мере сбора данных, подключения новых датчиков и повышения требований анализа, ПО FabGuard Explorer можно обновить до версии FabGuard Sensor Controller для более эффективного выявления неполадок в реальном времени и использования экспертных систем на базе оборудования. Если требуется централизованная база данных с SPC анализом на базе оборудования и групп, ПО FabGuard Explorer можно легко обновить до версии FabGuard IPM. При дополнительном использовании базы данных SQL или Oracle и опыта компании INFICON в области разработки решений с применением нескольких датчиков, ПО FabGuard IPM существенно расширяет возможности для выявления неполадок и адекватной оценки состояния техпроцесса. При обновлении до любого продукта из набора FabGuard Suite, пользователям потребуется лишь минимальное дополнительное обучение для быстрого развёртывания нового продукта, благодаря привычному интерфейсу.


Техническая информация


Устройство TCA-485 - это новый подход к обеспечению выбора платформы для контроллера с электрическим соединителем RS-485


Использование библиотеки спектров Национального института стандартов и технологий США (NIST)

Технические характеристики


Поддерживаемые датчики

Transpector 2 High Performance и Compact (версия микропрограммного ПО не ниже 2.13)

Transpector CPM

Transpector XPR2 и XPR3

Transpector HPR

Transpector Preclude

Transpector CIS2

ВЧ датчик RFS100

Quantus SPOES

Интерфейс связи

Для анализаторов Transpector: RS232 или RS485 через переходное устройство TCA485

Для RFS100: RS232

Для Stiletto SPD и Quantus SPOES: Ethernet

Скорость передачи данных в бодах

RS232 – выбирает пользователь (4800 или 9600 (по умолчанию)

RS485 – 57600

Макс. длина кабеля передачи данных

RS232 – 30,5 м

RS485 – 305 м

Ethernet – нет ограничения

Требования к рекомендуемой компьютерной системе

Процессор

Pentium IV, 3,0 ГГц, ОЗУ 1 ГБ, жёсткий диск 80 ГБ

Разрешение монитора

1024 x 768, качество цветопередачи 16 бит или выше

Эл. cоединитель для последовательной передачи данных

1 стандарта RS232 для одного анализатора или нескольких анализаторов с переходным устройством TCA485

1 стандарта RS232 (RFS100)

1 стандарта 10/100 Base-T Ethernet (Quantus)

ОС

Windows: XP или 7


Информация для заказа


Компакт-диск с версией ПО FabGuard Explorer для работы с одним датчиком

921-039-G1

Компакт-диск с версией ПО FabGuard Explorer для работы с несколькими датчиками

921-039-G2

Компакт-диск с обновлением версии ПО FabGuard Explorer для работы с одним датчиком

921-039-G3

Компакт-диск с обновлением версии ПО FabGuard Explorer для работы с несколькими датчиками

921-039-G4

Комплект TCA485 для передачи данных – версия для США

916-600-G2

Комплект TCA485 для передачи данных – версия для Германии

916-600-G3

Комплект TCA485 для передачи данных – версия для Японии

916-600-G4

Комплект TCA485 для передачи данных – версия для Великобритании

916-600-G2

Переходное устройство USB/RS-232

911-451-P1

Руководство пользователя ПО FabGuard Explorer

074-528