Газоанализатор Transpector CPM

transpector_cpm газовый анализатор INFICON

Transpector CPM недорогой газоанализатор для мониторинга самых современных техпроцессов. Газоанализатор Transpector CPM компании INFICON на месте подаёт ранние предупреждения и снижает издержки:
- измерение реакций в газообразной фазе
- проверка герметичности вакуумной системы
- определение присутствия загрязнений даже в незначительном количестве
- определение состава фона и техпроцесса
- определение степени чистоты газа

Компактный прибор Transpector CPM компании INFICON для мониторинга процесса представляет собой полнофункциональный, компактный, доступный по цене газоанализатор (квадрупольный масс-спектрометр), который оптимально подходит для мониторинга комплексных процессов прямо на месте. Для достижения новых уровней производительности эта система с безмасляной откачкой использует испытанную технологию газоанализатора Transpector 2 компании INFICON.

Особенности и возможности газоанализатора CPM FDC

- газоанализатор на основе квадруполя для мониторинга комплексных процессов
- возможен непрерывный мониторинг для максимального увеличения выпуска продукции и производительности, что сокращает издержки
- компактный квадрупольный масс-спектрометр, имеющий невысокую стоимость для установки на любой высоковакуумной камере
- система отбора проб HexBlock™ повышает производительность
- газоанализатор имеет встроенный CDG для мониторинга давления в среде процесса и блокировки вакуума
- по заказу предоставляется калибровочный эталон для настройки опорного сигнала по газу
- долговечный закрытый ионный источник обеспечивает обнаружение загрязнений в диапазоне менее ppm и устойчив к воздействию большинства коррозионных и химически активных газов
- небольшой вес, легко транспортируется

Оптимальная конструкция газоанализатора CPM

Производственная площадь дорого стоит, поэтому прибор СРМ имеет компактную универсальную конструкцию и занимает мало места. Для ускорения получения результатов в широком диапазоне рабочих давлений и сведения к минимуму влияния на анализируемые газы, компания разработала универсальное впускное устройство HexBlock™. Чтобы гарантированно обеспечить наилучшие эксплуатационные характеристики и очень высокую надёжность, в приборе используется квадрупольный анализатор, который был установлен в более чем 12000 газоанализаторах Transpector 2 и хорошо себя зарекомендовал.

Чтобы обеспечить коррозионную стойкость к воздействию чрезвычайно агрессивных газов, присутствующих в некоторых сложных техпроцессах, например при травлении и химическом осаждении из паровой фазы, компания изготовила впускное устройство HexBlock из цельнометаллической заготовки из химически инертной нержавеющей стали 316 и использовала коррозионно-стойкие насосы. В приборе установлен закрытый ионный источник, рассчитанный на долговременную работу в неблагоприятных условиях различных техпроцессов, при этом позволяющий определять загрязнения, содержание которых менее 1 ppm.

Встроенный ёмкостный мембранный манометр с высокой точностью измеряет рабочее давление техпроцесса и позволяет осуществлять блокировку вакуумной системы при необходимости. Кроме того, по заказу поставляется калибровочный эталон для настройки и опорного сигнала по газу.

Техническая информация

Предлагаем техническую информацию в формате PDF на русском языке:

Выбор подходящего анализатора остаточных газов

Газоанализатор Transpector® CPM - интегрированный прибор мониторинга техпроцесса для процесса обезгаживания пластин размером 300 мм при высоком давлении

Мониторинг процесса травления газоанализаотором Transpector®

Оптимизация энергии электронов для анализаторов остаточных газов

Использование квадрупольных масс-спектрометров для обнаружения загрязняющих веществ, концентрация которых менее 1 РРМ, в газовой среде

Эталонная газовая смесь для калибровки Transpector CPM

Полная всесторонняя поддержка

Являясь мировым лидером в области производства анализаторов остаточных газов для полупроводниковой отрасли, компания INFICON располагает всеми необходимыми ресурсами для разработки новаторских надёжных систем контроля, повышающих выпуск годных изделий, а также имеет международную сеть специалистов по прикладным решениям и поддержке для оказания помощи в любом регионе в любое время, когда возникнет такая необходимость.

Компактный газоанализатор Transpector CPM компании INFICON для мониторинга техпроцесса обладает теми эксплуатационными характеристиками, универсальностью и достоинствами, которые традиционно ассоциируются с продукцией INFICON, и отличается небольшими габаритами, доступной ценой и надёжностью, достаточной для непрерывного круглосуточного контроля производственного техпроцесса или применения в области фундаментальных исследований.

2.3CPM2.png

Перечень компонентов прибора CPM

1.Блок электроники СРМ
2.Датчик СРМ
3.Нагреватель и манифольд датчика
4.Дополнительный калибровочный эталон
5.Впускное устройство HexBlock™
6.Фланцы для присоединения к технологическому оборудованию (CF40, KF40 или KF25)
7.Ёмкостный мембранный манометр для измерения давления в техпроцессе
8.Переходное соединение для высоковакуумных приложений
9.Высоковакуумный гибридный насос
10.Встроенный блок форвакуумной линии
11.Электромагнитные клапаны
12.Регулятор расхода азота (для продувки азотом и управления клапанами)

Впускное устройство HexBlock™

Гибкий контроль техпроцесса предъявляет особые требования к газоанализаторам. Масс-спектрометры должны быть способны работать в широком диапазоне давления, соответствующего различным стадиям производственного цикла, быть стойкими к воздействию коррозионных газов и иметь достаточно компактный размер для беспрепятственной установки на оснащённое приборами технологическое оборудование или вакуумные камеры. Компания INFICON разработала собственное принципиально новое впускное устройство HexBlock для удовлетворения этим требованиям и обеспечения оптимальной производительности.

- Четыре клапана обеспечивают возможность присоединения к зоне высокого вакуума, двум технологическим зонам с разным рабочим давлением и байпасный канал для высокого давления, при этом не требуется менять диафрагму
-Взаимозаменяемые диафрагмы позволяют использовать прибор CPM для контроля различных техпроцессов
- Изготовлено из химически инертной нержавеющей стали 316, более стойкой к воздействию агрессивных газов, чем сталь марки 304
- Моноблочная конструкция имеет поверхность меньшей площади для сведения к минимуму поверхностных реакций и уменьшения времени отклика
- Поверхности отполированы для дополнительного уменьшения вероятности поверхностных реакций
- Меньший размер (длина 7,1 см по сравнению с 18 см)
- Отверстие для манометра с присоединённым ёмкостным мембранным манометром, контролирующим рабочее давление технологической среды с целью выбора подходящего впускного канала для отбора пробы и обеспечения блокировки вакуумной системы
- Входное отверстие для калибровки позволяет присоединить резервуар (не входит в комплект) с эталонным газом для настройки и получения опорного сигнала по чувствительности
- Конструктивная возможность присоединения щупа позволяет осуществлять отбор пробы ближе к фактической области протекания реакций в ходе техпроцесса
- Различные фланцы для присоединения к технологическому оборудованию (CF40, KF40 и KF25)

Технические характеристики газоанализатора Transpector CPM

	CPM	CPM	CPM
Диапазон масс	1-100 а.е.м.	1-200 а.е.м.	1-300 а.е.м.
Ширина пика на уровне 10% от максимума	< 1 а.е.м.
Тип источника ионов	закрытый источник ионов
Диапазон полного давления¹	5E-7 – 1E-3 торр (6,6E-7 – 1,3E-3 мбар)
Погрешность измерения полного давления²	±25% в диапазоне 1E-6 – 1E-3 торр (1,3E-6 – 1,3E-3 мбар)
Макс. рабочее давление источника ионов³	1E-3 торр (1,3E-3 мбар)
Номинальное рабочее давление источника ионов⁴	2E-4 торр (2,6E-4 мбар)
Рабочее давление системы (с диафрагмами и капилляром)	1E-8 торр (1,3E-8 мбар) – 2 атм.
Коэфф. усиления ВЭУ при 1225 В	> 10000
Чувствительность слабая эмиссия, ЦФ сильная эмиссия, ЦФ	> 4,0E-6 А/торр (> 3E-6 А/мбар) > 2,0E-5 А/торр (> 1,5E-5 А/мбар)	> 2,0E-6 А/торр (> 1,5E-6 А/мбар) > 1,0E-5 А/торр (> 7,6E-6 А/мбар)	> 1,0E-6 А/торр (> 7,6E-7 А/мбар) > 5,0E-6 А/торр (> 3,8E-6 А/мбар)
Мин. измеряемое парциальное давление⁶	1,0E-13 торр (1,3E-13 мбар)	2,0E-13 торр (2,6E-13 мбар)	4,0E-13 торр (5,3E-13 мбар)
Чувствительность по изотопам⁷	< 5 ppm	< 10 ppm	< 100 ppm
Zero Blast⁸	< 2 ppm	< 25 ppm	< 200 ppm
Предел чувствительности⁹	< 1 ppm	< 2 ppm	< 4 ppm
Линейность¹⁰	±20%
Мин. остаточное давление	< 1,0E-8 торр (< 1,3E-8 мбар)
Макс. рабочая температура впускного устройства и датчика	150°C

1) Показание давления при слабой эмиссии с использованием линзы полного давления
2) Погрешность измерения полного давления при слабой эмиссии
3) Макс. рабочее давление источника ионов при слабой эмиссии (порог отключения катода)
4) 2E-4 торр в закрытом источнике ионов создаёт давление приблизительно 1Е-5 торр в области квадруполя
5) Мин. коэффициент усиления ВЭУ при макс. напряжении на ВЭУ
6) Мин. регистрируемое парциальное давление с ВЭУ при коэфф. усиления 10000 и времени выдержки 1 сек.
7) Вклад элемента массой 40 а.е.м. в пик элемента массой 41 а.е.м.
8) Вклад Zero blast в пик элемента массой 2 а.е.м.
9) Мин. обнаруживаемое содержание криптона в воздухе при длительности выдержки 1 сек.
10) Линейность при слабой эмиссии и давлении в 0,1-2 раза отличающегося от номинального давления на диафрагме

Габаритные размеры газоанализатора Transpector CPM