Угловой металлический электронный ионизационный датчик
Диапазон измерений: 10-3 - 2х10-11 Торр
Этот высокотехнологичный датчик типа Баярда-Альперта размещается в прямоугольном корпусе из нержавеющей стали. Заключение датчика в прямоугольном корпусе значительно уменьшает количество осаждений, которые могут попадать на чувствительные элементы датчика. Таким образом значительно повышается стойкость датчика к загрязнениям. В отличии от стеклянного корпуса ионизационных датчиков, широкое горло датчика 8140EA обеспечивает отличную проводимость, что повышает быстродействие измерительной системы. Датчик может быть установлен в любом положении. Этот высокотехнологичный датчик базируется на проверенной конструкции безкорпусных датчиков ETI 8130 и 8140. Он доступен в конфигурации с одинарной или двойной нитью накала, покрытой торием. При работе нить накала поддерживается в натянутом состоянии для обеспечения высокой точности.
Преимущества углового датчика вакуума:
- Основывается на проверенной конструкции датчиков серии ETI.
- Прямоугольная конструкция и внутренняя анодная сетка минимизируют осаждения на измерительном приборе, увеличивают срок службы нити накала и в тоже время обеспечивают хорошую проводимость.
- Версии с единичной или двойной покрытой торием нитью накала на выборОбезгаживающий отжиг до 450°C.
- Выбор метода дегазации (в зависимости от модели).
- Дуговой механизм надёжно удерживает кабель на месте.
Применения датчика:
- Вакуумное напыление.
- Ионная имплантация.
- Химическое осаждение из паровметаллоорганических соединений.
- Производство дисплеев.
- Нанесения оптических и функциональных тонких пленокФизика высоких энергий.
- Производство ламп и лазеров.
- Масс-спектрометры.
- Производство электронно-оптических приборов и приборов ночного видения.
- Плазменное напыление.
Каталог вакуумметров и датчиков вакуума Televac (США)
Угловой металлический электронный ионизационный датчик
|
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ |
Угловой металлический электронный ионизационный датчик |
|
Диапазон измерений |
1x10-3 - 4x10-10 Toрр – модель с одинарной нитью накала |
|
Материал |
Нержавеющая сталь 304, Вольфрам, Торий, Керамика |
|
Коллектор |
0.005'' (0,127мм) вольфрам |
|
анодная решётка |
Вольфрамовая пружина – модель с одинарной нитью накала |
|
Чувствительность по азоту |
10/Toрр - модель с одинарной нитью накала |
|
Предел излучения |
4x10-10 Toрр - модель с одинарной нитью накала |
|
Дегазация потоком электронов |
70 Вт - модель с одинарной нитью накала |
|
Дегазация резистивным нагревом |
6.3 - 7.5 В, 10 А (только модель с одинарной нитью накала ) |
|
Максимальная температура отжига |
+450°C |
|
Вакуумный фланец |
CF40 |
|
Потенциал коллектора |
0 В |
|
Потенциал анодной сетки |
150 - 180 В |
|
Напряжение нити накала |
3 - 5 В |
|
Потенциал нити накала |
30 В |