Фронтальный однокристальный датчик
Фронтальный однокристальный датчик INFICON обеспечивает подтверждённые испытаниями надёжность и долговечность, а также имеет наилучшую тепловую стабильность по сравнению с любой другой головкой датчика, имеющейся на рынке. Конструкция с фронтальной установкой обеспечивает лёгкую установку держателя кристалла в тех приложениях, где недостаточно пространства для установки сбоку. Соединения деталей конструкции в основном механические, а не паяные, поэтому детали без труда можно заменить на месте эксплуатации при необходимости. Датчики можно заказывать отдельно или в комбинации с вакуумным вводом, присоединение которого может быть сварным или с помощью обжимного фитинга.
Конфигурации датчика
Изготавливаются датчики двух конфигураций: стандартная и прямоугольная (компактная) модели. Стандартная модель предназначена для установки сбоку или снизу камеры, в которой охлаждающие трубки расположены параллельно грани кристалла. Прямоугольная модель предназначена для установки сверху вакуумной камеры, в которой трубки с охлаждающей водой расположены перпендикулярно грани кристалла. По выбору, можно заказать датчики с затвором кристалла с пневматическим приводом для защиты кристалла во время нагрева источника, когда он не используется во время напыления другого материала или для продления срока службы кристалла с помощью RateWatcher™. Затвор сконструирован так, чтобы откидываться вниз, облегчая замену кристалла.
Подвергающийся воздействию электрод кристалла полностью заземлён для эффективного предотвращения возможных проблем из-за электромагнитных помех.
Вакуумные вводы
Предлагаем вакуумные вводы двух типов: с 1-дюймовым резьбовым соединением или 2 ¾-дюймовым (CF40) фланцем ConFlat®. Можно заказать вакуумные вводы с фланцем KF40.
Присоединение вакуумного ввода
Фронтальные однокристальные датчики можно заказать в комбинации с вакуумным вводом. Соединение вакуумного ввода с датчиком может быть сварным или выполнено с помощью обжимного фитинга. Обжимные фитинги облегчают регулировку, не требуя пайки и сварки. Вакуумный ввод можно смещать вдоль трубок, что позволяет регулировать длину внутри вакуумной системы в диапазоне 20,3-71,1 см для датчиков с обозначением «Е» для диапазона длины и в диапазоне 20,3-121,9 см для датчиков с обозначением «G» для диапазона длины. После определения нужной длины, обжимные фитинги позволяют выполнить герметичное присоединение усилием от руки. Другим вариантом присоединения может быть сварное соединение. Если требуется сварное соединение, обращайтесь к специалистам "Вакуум Техно".
Каталог по контроллерам и кварцевым измерителям толщины тонких пленок Inficon (PDF, Русский, 6 МБ)
Преимущества
- Держатель кристалла с фронтальной установкой
- Простая установка
- Варианты вакуумного ввода:
1-дюймовое резьбовое соединение
Фланец CF40
- Регулируемая длина при заказе с обжимными фитингами
- Комбинации вакуумного ввода с датчиком со сварным соединением, согласно спецификации длины, указанной заказчиком
- При заказе с обжимными фитингами или сварным соединением вакуумного ввода никакой пайки не требуется
Информация для заказа
Фронтальный однокристальный датчик (с кабелями для вакуума)
Для заказа Вам нужно составить код, вставив в формулу вместо букв a , b, c, d, e нужные цифры.
|
S |
L |
- |
a |
b |
c |
d |
e |
|
a |
Тип датчика (включает кабель для вакуума, выталкиватель кристалла и руководство пользователя. Кристаллы приобретают отдельно) |
|
b |
Затворный узел – см. примечание 4 |
|
с |
Длина датчика – см. примечания 1 и 3 стандартная длина: 203-711 мм. В комплекте кабель для вакуума 781 мм. см. примечание 6 – E |
|
d |
Вакуумный ввод – см. примечание 2 |
|
e |
Присоединение вакуумного ввода – см. примечание 4 |
Не поставляются (см. примечания 4 и 5) следующие комбинации: SL-A1E38, SL-A1G38, SL-B1E38, SL-B1G38, SL-A1E47, SL-A1G47, SL-B1E47,SL-B1G47. Возможна поставка компонентов по заказу, с особыми изгибами и другие нестандартные компоненты – обращайтесь к изготовителю.
Примечание 1:
Заказы на датчики со сварным соединением с вакуумным вводом принимаются только при условии получения компанией INFICON чертежа с указанием размеров, подписанного заказчиком. После подтверждения особой длины или запуска заказа в производство, заказ отменить нельзя. Компания INFICON предоставляет форму спецификации длины датчика.
Примечание 2:
Конфигурация вакуумного ввода меняется в зависимости от выбранных вариантов (с затвором или без, тип вакуумного ввода и т. д.). Пример. SL-A0E37 использует вакуумный ввод, номер для заказа 002-042, а SL-A1E37 использует вакуумный ввод, номер для заказа 750-030-G1.
Примечание 3:
Длина датчика измеряется от центра кристалла до уплотняющей поверхности вакуумного ввода со стороны вакуума (см. чертёж).
Примечание 4:
При заказе датчиков с затворами и вакуумным вводом с 1-дюймовым резьбовым соединением, соединение может быть только сварным (с обжимными фитингами не изготавливаются).
Примечание 5:
При заказе датчиков с фронтальной установкой в комбинации с вакуумным вводом с фланцем CF40 и затвором, соединение не может быть сварным из-за пространственных ограничений фланца CF40.
Примечание 6:
При заказе датчиков без сварного присоединения (вариант «0» или «8» заказа), трубки изготавливаются длиной 762 мм для диапазона длины «Е» и 1219 мм для диапазона длины «G» датчиков. Использование кабеля длиной 1524 мм может потребовать применение специального генератора.
Технические характеристики
Стандартный однокристальный датчик серии SL-A
|
Макс. температура прогрева без водяного охлаждения |
130 °C |
|
Макс. температура рабочей изотермической среды при минимальном расходе охлаждающей воды |
400 °C |
|
Размер SL-A (макс. огибающая без затвора) |
27 мм х 61,47 мм х 17,53 см |
|
Трубка для воды |
наружный диаметр 3,175 мм, бесшовная из нержавеющей стали |
|
Замена кристалла |
фронтальная установка; моноблочная конструкция для облегчения замены |
|
Установка |
два #4-40 резьбовых отверстия на задней стороне корпуса датчика |
Требования установки
|
Вакуумный ввод |
2 проходных фитинга для присоединения трубки подачи воды с наружным диаметром 4,8 мм и коаксиальным соединителем Microdot® |
|
Расход воды |
мин. расход воды 150-200 куб.см./мин. при температуре не более 30 °C (не допускать замерзания) |
|
Качество воды |
хладагент не должен содержать хлориды поскольку может возникнуть коррозионное растрескивание. Сильно загрязнённая вода может уменьшить охлаждающую способность |
Материалы
|
Корпус и держатель |
Нержавеющая сталь типа 304 |
|
Пружины, электрические контакты |
Позолоченный сплав бериллия и меди |
|
Трубки для воды |
Бесшовная трубка из нержавеющей стали 304 с наружным диаметром 3,175 мм и толщиной стенки 0,381 мм |
|
Соединитель (Microdot) |
Нержавеющая сталь, покрытие Teflon® или стекло |
|
Провод |
Медь, покрытая тефлоном |
|
Изоляторы |
> 99 % Al2O3 |
|
Твёрдый припой |
Жаропрочный сплав Ni-Cr для работы в вакууме |
|
Кристалл |
Диаметр 13,97 мм |
Прямоугольный однокристальный датчик серии SL-В
|
Макс. температура прогрева без водяного охлаждения |
130 °C |
|
Макс. температура рабочей изотермической среды при минимальном расходе охлаждающей воды |
400 °C |
|
Размер SL-B |
1.11" x 1.06" x 1.06" |
|
(макс. огибающая без затвора) |
28,19 х 26,92 х 26,92 мм |
|
Трубка для воды |
Наружный диаметр 3,175 мм, бесшовная из нержавеющей стали |
|
Замена кристалла |
Фронтальная установка; моноблочная конструкция для облегчения замены |
|
Установка |
Два #4-40 резьбовых отверстия на задней стороне корпуса датчика |
Требования установки
|
Вакуумный ввод |
2 проходных фитинга для присоединения трубки подачи воды с наружным диаметром 4,8 мм и коаксиальным соединителем Microdot® |
|
Прочее |
Генератор или XIU, подходящий для конкретного контроллера, клапанный блок 750-420-G1 для датчиков с затвором |
|
Расход воды |
Мин. расход воды 150-200 куб.см./мин., температура не более 30 °C |
|
Качество воды |
Хладагент не должен содержать хлориды, поскольку может возникнуть коррозионное растрескивание. Сильно загрязнённая вода может уменьшить охлаждающую способность |
Материалы
|
Корпус и держатель |
Нержавеющая сталь типа 304 |
|
Пружины, электрические контакты |
Позолоченный сплав бериллия и меди |
|
Трубки для воды |
Бесшовная трубка из нержавеющей стали 304 с наружным диаметром 3,175 мм и толщиной стенки 0,381 мм |
|
Соединитель (Microdot) |
Нержавеющая сталь, покрытие Teflon® или стекло |
|
Изоляторы |
> 99 % Al2O3 |
|
Провод |
Медь, покрытая тефлоном |
|
Твёрдый припой |
Жаропрочный сплав Ni-Cr для работы в вакууме |
|
Кристалл |
Диаметр 13,97 мм |
Технические характеристики вакуумного ввода
Примечание. Технические характеристики комбинации вакуумного ввода с датчиком определяются худшими характеристиками каждого компонента.
Соединительная часть под обжимной фитинг или 1-дюймовое резьбовое соединение:
|
Материалы |
Нержавеющая сталь 304, Teflon®, керамика, никель-бериллий, VITON® |
|
Температура |
Температура рабочей среды до 300 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без охлаждения |
|
Установка |
Диаметр отверстия 1,015" ± 0,010" |
Соединительная часть под приваренный фланец CF 40
|
Материалы |
Нержавеющая сталь 304, Teflon®, керамика, никель-бериллий |
|
Температура |
Температура рабочей среды до 450°C с водяным охлаждением или до 165 °C без охлаждения |
|
Установка |
Под фланцы 2 ¾ типа ConFlat с мин. внутренним диаметром 1,375" |
Список запасных частей
|
007-007 |
Пружинный замок (для держателя кристалла) |
|
007-023 |
Керамический держатель |
|
007-044 |
Кабель для вакуума, 78,1 см |
|
080-018 |
Установочный винт (для коаксиального соединителя розеточного типа) |
|
082-044 |
Тефлоновый винт (для плоской пружины) |
|
750-115-P4 |
Муфта (для сильфонного узла) |
|
750-169-P2 |
Сильфонный узел (без муфты) |
|
750-171-P1 |
Кнопочный пружинный контакт |
|
321-039-G13 |
Кабель для вакуума, 154,2 см |
|
750-172-G1 |
Держатель кристалла (с пружинным замком) |
|
750-174-P2 |
Коаксиальный соединитель розеточного типа |
|
750-175-P1 |
Изолятор (под плоской пружиной) |
|
750-188-P2 |
Плоская пружина |
|
750-210-G1 |
Блок затвора (сильфонный узел, шток в сборе и затворный узел) |
|
750-215-G1 |
Шток в сборе (часть блока затвора) |
|
750-216-G1 |
Затворный узел (часть блока затвора) |
Габаритные размеры
Стандартный однокристальный датчик серии SL-A_E (только датчик)
 |
|
Прямоугольный однокристальный датчик серии SL-B_E__ (только датчик)
Вакуумный ввод, используемый в следующих комбинациях с датчиками: SL-A0_47, SL-A0_40, SL-B0_47 и SL-B0_40
Вакуумный ввод, используемый в следующих комбинациях с датчиками: SL-A1_40 и SL-B1_40
Вакуумный ввод, используемый в следующих комбинациях с датчиками: SL-A0_48 и SL-B0_48
Вакуумный ввод, используемый в следующих комбинациях с датчиками: SL-A1_48 и SL-B1_48
Вакуумный ввод, используемый в следующих комбинациях с датчиками: SL-A0_37, SL-B0_37, SL-A0_30 и SL-B0_30
Вакуумный ввод, используемый в следующих комбинациях с датчиками: SL-A0_38 и SL-B0_38
Вакуумный ввод, используемый в следующих комбинациях с датчиками: SL-A1_37, SL-B1_37, SL-A1_30 и SL-B1_30
 |
|
Спецификация длины датчика SL-A_ _ _ _, используемого в комбинациях с вакуумным вводом
Спецификация длины датчика SL-B_ _ _ _, используемого в комбинациях с вакуумным вводом
