Однокристальный датчик Cool Drawer
Однокристальные датчики Cool Drawer™ допускают установку кристалла в датчик сбоку, что удобно в системах, где недостаточно свободного пространства для установки кристалла спереди. В однокристальных датчиках Cool Drawer используется держатель кристалла Cool Drawer в корпусе с водяным охлаждением, который служит теплоизолирующим экраном для обеспечения высоких рабочих характеристик кристалла и его надёжного функционирования.
Конфигурации датчика
Изготавливаются датчики двух конфигураций: Стандартная и прямоугольная модели. Стандартная модель предназначена для установки сбоку или снизу камеры, в которой охлаждающие трубки расположены параллельно грани кристалла. Прямоугольная модель предназначена для установки сверху вакуумной камеры, в которой трубки с охлаждающей водой расположены перпендикулярно грани кристалла. Обе модели датчика изготавливаются как с затвором кристалла, так и без затвора.
Подвергающийся воздействию электрод кристалла полностью заземлён для эффективного предотвращения возможных проблем из-за электромагнитных помех. В корпусе имеются два резьбовых (4-40) отверстия для удобного монтажа.
Вакуумные вводы
Компания INFICON предлагает вакуумные вводы двух типов с разными способами присоединения на выбор: вакуумный ввод с 1-дюймовым резьбовым соединением или 2 ¾-дюймовым фланцем ConFlat®.
Присоединение вакуумного ввода
Однокристальные датчики Cool Drawer можно заказать в комбинации с вакуумным вводом. Соединение вакуумного ввода с датчиком может быть сварным или выполнено с помощью обжимного фитинга.
Обжимные фитинги облегчают регулировку, не требуя пайки и сварки. Вакуумный ввод можно смещать вдоль трубок, что позволяет регулировать длину внутри вакуумной системы в диапазоне 10-66 см. После определения нужной длины, обжимные фитинги позволяют выполнить герметичное присоединение усилием от руки.
Датчик с приваренным фланцем CF40 выбирают для высокотемпературных процессов, в которых критерий надёжности является самым важным. Изготовленный с использованием таких материалов, как нержавеющая сталь и керамика, этот датчик пригоден для приложений, требующих прогрева при высокой температуре (см. технические характеристики).
Каталог по контроллерам и кварцевым измерителям толщины тонких пленок Inficon (PDF, Русский, 6 МБ)
Преимущества
- Не требуются соединительные кабели для вакуума
- Держатель кристалла Cool Drawer
- Простая установка
- Датчик с приваренным фланцем CF40 допускает прогрев
- Варианты вакуумного ввода:
Фланец CF40
1-дюймовое резьбовое соединение
- Регулируемая длина при заказе с обжимными фитингами
- При заказе с обжимными фитингами никакой пайки не требуется
- Комбинации вакуумного ввода с датчиком со сварным соединением, согласно спецификации длины, указанной заказчиком
Информация для заказа
Однокристальный датчик Cool Drawer (с проводящей трубкой)
Для заказа Вам нужно составить код, вставив в формулу вместо букв a , b, c, d, e нужные цифры.
|
C |
D |
S |
- |
a |
b |
c |
d |
e |
|
a |
Тип датчика (кристаллы приобретают отдельно) |
|
b |
Затворный узел; Нет 0; стандартный затвор 1 |
|
c |
Длина датчика – см. примечание 1; Длина: 102-660 мм - F |
|
d |
Вакуумный ввод – см. примечание 2; 1-дюймовое резьбовое соединение – 3; CF40 - 4 |
|
e |
Присоединение вакуумного ввода |
НЕ выпускаются следующие комбинации: CDS-A1F48, CDS-B1F48. Возможна поставка компонентов по заказу, с особыми изгибами и другие нестандартные компоненты – обращайтесь к нашим специалистам.
Примечание 1:
Для заказа датчиков со сварным соединением с вакуумным вводом особой длины обращайтесь к специалистам Вакуум Техно.
Примечание 2:
Конфигурация вакуумного ввода меняется в зависимости от выбранных вариантов (тип вакуумного ввода, соединение). Пример. В CDS-A1F47 и-B1F47 используется двухкомпонентная гибридная конструкция вакуумного ввода из-за пространственных ограничений, обусловленных стандартным фланцем CF40.
Примечание 3:
Длина датчика измеряется от центра кристалла до уплотняющей поверхности вакуумного ввода со стороны вакуума (см. чертёж)
Примечание 6:
При заказе датчиков без сварного присоединения (вариант «8» заказа), трубки изготавливаются длиной 30 дюймов для стандартного датчика и 26 дюймов для прямоугольного датчика.
Технические характеристики однокристального датчика Cool Drawer серии CDS
|
Поверхность |
Нержавеющая сталь, позолоченный Cool Drawer |
|
Охлаждающая вода |
0,2 галлона в минуту, подаётся по трубке наружным диаметром 1/8 дюйма (не допускать замерзания) |
|
Электрическое подключение |
1 стандартная розетка типа BNC с наружной стороны |
|
Кристалл |
Промышленного стандарта, диаметр 0,55 дюйма |
|
Подача воздуха |
Датчикам с затвором требуется регулируемая подача в диапазоне 55-60 psi |
Cоединительная часть под обжимной фитинг или 1-дюймовое резьбовое соединение:
|
Материалы |
Hержавеющая сталь 304, Teflon®, керамика, никель-бериллий, VITON® |
|
Температура |
температура рабочей среды до 300 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без охлаждения |
|
Установка |
Диаметр отверстия 1,015" ± 0,010" |
Cоединительная часть под приваренный фланец CF 40
|
Материалы |
Нержавеющая сталь 304, Teflon®, керамика, никель-бериллий |
|
Температура |
температура рабочей среды до 450°C с водяным охлаждением или до 165 °C без охлаждения |
|
Установка |
Под фланцы 2 ¾ типа ConFlat с мин. внутренним диаметром 1,375 дюйма |
Список запасных частей
|
Номер для заказа |
Описание |
|
123417 |
Держатель затвора |
|
123418 |
Крышка сильфона |
|
123419 |
Затвор |
|
147207 |
Крышка и сильфон в сборе |
|
147402 |
Шарнир |
|
147403 |
Привод |
|
147406 |
Опора сильфона |
|
147407 |
Крышка сильфона |
|
147408 |
Шток с резьбой |
|
147411 |
Промежуточное кольцо |
|
147424 |
Сильфонная труба |
|
084-205 |
#4-40 x 3/16 винт со шлицем «Филлипс» |
|
800128 |
#4 пружинная шайба |
|
800371 |
Винт с буртиком |
|
800372 |
Шайба |
|
800416 |
Установочный винт 6-32 x 3/16 дюйма |
|
803313 |
Пружина |
|
123223-1 |
Паяный проводник в сборе – длинный вывод |
|
123223-2 |
Паяный проводник в сборе – короткий вывод |
|
147206-2 |
Сильфон с трубой 35 дюймов |
|
803102 |
Уплотнительное кольцо для регулируемого вакуумного ввода с 5 отверстиями |
|
803261 |
Уплотнительное кольцо для регулируемого вакуумного ввода с 5 отверстиями |
Габаритные размеры
CDS-A0F38 и CDS-B0F38
Комбинации однокристального датчика Cool Drawer с вакуумным вводом
CDS-A0F47 и CDS-B0F47
Комбинации однокристального датчика Cool Drawer с вакуумным вводом
Спецификация длины датчика CDS-A0F47, используемого в комбинациях с вакуумным вводом
Спецификация длины датчика CDS-A1F47, используемого в комбинациях с вакуумным вводом
Спецификация длины датчика CDS-B0F47, используемого в комбинациях с вакуумным вводом
Спецификация длины датчика CDS-B1F47, используемого в комбинациях с вакуумным вводом
Спецификация длины датчика CDS-B0F37, используемого в комбинациях с вакуумным вводом
