Датчик на 6 кристаллах (CrystalSix)
Датчик на 6 кристаллах компании INFICON специально сконструирован для длительных
технологических процессов, требующих непрерывного контроля скорости напыления. В OLED- и MBE-приложениях, при производстве солнечных панелей или в других техпроцессах с длительным интервалом между вентиляциями камеры, датчик CrystalSix обеспечивает высокую надёжность за счёт 6 кварцевых кристаллов, установленных в одной головке измерительного датчика. При использовании с контроллером процесса напыления тонких плёнок компании INFICON датчик на 6 кристаллах автоматически поворачивает новый кристалл в рабочую позицию в случае повреждения или нестабильной работы кристалла.Кристаллы автоматически переключаются, не прерывая процесс непрерывного контроля скорости напыления.
Механизм с пневматическим приводом осуществляет периодическую круговую подачу кристаллов. Этот пневмодвигатель обеспечивает более высокую тепловую стабильность по сравнению с модулями конкурентов, в которых используются дорогие электродвигатели для работы в условиях вакуума, выделяющие тепло. Трубки для воды диаметром 1/8 дюйма поддерживают стабильную температуру головки датчика и не ограничивают возможность выбора местоположения датчика.
При использовании с некоторыми контроллерами процесса напыления тонких плёнок компании INFICON, этот датчик поддерживает обратную связь по положению, что позволяет задавать конкретные положения для отдельных материалов.
Каталог по контроллерам и кварцевым измерителям толщины тонких пленок Inficon (PDF, Русский, 6 МБ)
Преимущества датчикa на 6 кристаллах
- Вмещает 6 кристаллов с надёжным автоматическим механизмом переключения для сведения к минимуму времени простоя
- Стабильная температура кристалла, благодаря использованию пневматического механизма переключения кристаллов (модули конкурентов используют электродвигатели, выделяющие тепло)
- 1/8-дюймовые трубки для воды поддерживают стабильную температуру и не ограничивают возможность выбора местоположения датчика
- Дополнительно можно заказать затвор кристалла
Информация для заказа
Датчик на 6 кристаллах
|
Датчик на 6 кристаллах |
750-446-G1 |
|
Датчик на 6 кристаллах с затвором |
SPS-1039-G1 |
Примечание 1:
Автоматический переключатель кристаллов только в комплекте с IC6, IC/5, Cygnus, XTC/3M, XTC/3S, SQC-310 и SQC-310C
Примечание 2:
SQC-310 и SQC-310C не поддерживают обратную связь по положению.
Примечание 3:
Для датчика на 6 кристаллах требуется пневматический клапан управления 750-420-G1
Технические характеристики
Технические характеристики датчика на 6 кристаллах 750-446-G1
|
Макс. температура прогрева без водяного охлаждения |
130°C |
|
Макс. температура рабочей изотермической среды при минимальном расходе охлаждающей воды |
400°C |
|
Коаксиальные трубки и трубки для воды и воздуха |
76 см в стандартном исполнении |
|
Замена кристалла |
Фронтальная установка, требуется инструмент для извлечения (входит в комплект) |
|
Установка |
Шесть #4-40 резьбовых отверстий на задней стороне корпуса датчика |
|
Размер (макс. огибающая) |
Диам. 9,7 см x 5,1 см высота |
Требования установки
|
Вакуумный ввод |
Кол-во (1) 2 ¾-дюймовый фланец ConFlat® с двумя коаксиальными вакуумными вводами, 2 проходных фитинга для присоединения трубок подачи воды и один для трубки для воздуха, IPN 002-080, |
|
Прочее |
Пользователь обеспечивает вакуумплотные паяные соединения или фитинги для трубок для воды или воздуха. |
|
|
Клапанный блок для воздуха (не входит в комплект), IPN 750-420-G1, с ограничительной диафрагмой 0,022 дюйма, устанавливаемой пользователем. (Диафрагма входит к комплект принадлежностей датчика на 6 кристаллах) |
Коммуникации
|
Мин. расход воды |
150-200 куб.см./мин. при температуре не более 30 °C (не допускать замерзания) |
|
Регулируемая подача воздуха |
80-90 psig (5,5-6,2 бар) [550-620 кПа] |
Материалы
|
Пластина, держатели, антинапылительный экран, механические части |
Нержавеющая сталь типа 304 |
|
Пружины, электрические контакты |
Позолоченный сплав бериллия и меди, позолоченный инконель, нержавеющая сталь 303 |
|
Трубки для воды или воздуха |
Бесшовная трубка из нержавеющей стали 304 с наружным диаметром 3,2 мм и толщиной стенки 0,4 мм длиной 76 см |
|
Соединитель (Microdot®) |
Нержавеющая сталь |
|
Изоляторы |
> 99 % Al2O3 |
|
Кабель |
Медь, покрытая тефлоном |
|
Кристалл |
Диаметр 0,55 дюйма |
|
Корпус и карусель |
Aлюминий 2024 T351 |
Список запасных частей
Датчики на 6 кристаллах
|
Номер для заказа |
Описание |
|
007-007 |
Пружинный замок (деталь держателя кристалла) |
|
007-023 |
Керамический держатель |
|
007-044 |
Кабель для вакуума, 78 см |
|
070-0170 |
#2 пружинная шайба (деталь теплового экрана) |
|
070-0398 |
Упорное кольцо (фиксирует подшипник, расположенный следом за штоком привода и защёлкой) |
|
070-0777 |
Пружина сжатия (на валу карусели) |
|
070-0778 |
Шарикоподшипник (под каруселью) |
|
070-0779 |
Подшипник (осуществляет связь со штоком привода и защёлкой) |
|
070-0870 |
Тефлоновая пружина (на валу карусели) |
|
070-0877 |
Регулировочная прокладка (деталь теплового экрана) |
|
070-0879 |
Подшипник (в центре сварного узла верхней пластины) |
|
073-114 |
Провод 0,022 х 1,06 дюйма (фиксирует стопорный штифт теплового экрана) |
|
082-026 |
#2-56 гайка (деталь теплового экрана) |
|
750-048-P1 |
Пружинный замок (прижимает держатели кристаллов к карусели) |
|
750-175-P1 |
Нижний изолятор (под плоскими пружинами) |
|
750-188-P2 |
Плоская пружина |
|
750-249-P2 |
Стопорный штифт (деталь теплового экрана) |
|
750-250-G1 |
Тепловой экран |
|
750-256-P2 |
Пружина растяжения (деталь сварного узла верхней пластины) |
|
750-257-P3 |
Гофрированная пружина 11,2 см |
|
750-261-G1 |
Карусель (вместе с резисторной сборкой и электрическими контактами) |
|
750-262-G1 |
Держатель кристалла |
|
750-265-G1 |
Сварной узел верхней пластины |
|
750-276-P2 |
Крышка исполнительного механизма |
|
750-278-P2 |
Трубка для воды |
|
750-286-P2 |
Сильфонный узел |
|
750-290-P3 |
Электрические контакты карусели (набор 8 шт.) |
|
750-291-P1 |
Фиксатор |
|
750-293-P2 |
Храповый механизм |
|
750-294-P2 |
Собачка |
|
750-295-G1 |
Шток привода и защёлка |
|
750-336-G1 |
Резисторная сборка |
|
750-338-P1 |
Изолятор контакта (под электрическими контактами карусели) |
Габаритные размеры
Датчик на 6 кристаллах 750-446-G1
Датчик CrystalSix 750-446-G1 можно использовать со следующими вакуумными вводами:
Датчик CrystalSix с затвором SPS-1039-G1 можно использовать с вакуумным вводом 750-683-G1
