Вращательная головка датчика (RSH)
Вращательные головки датчика серии RSH-600 сконструированы для требовательных процессов, в которых напыляются очень
толстые плёнки из нескольких различных материалов.
Конфигурации датчика
Датчик серии RSH-600 вмещает шесть кристаллов в теплоизолированном корпусе с водяным охлаждением, обеспечивающем высокие рабочие характеристики кристалла в средах, где температура до 300 °C. Кристаллы устанавливаются в легкоизвлекаемый держатель из нержавеющей стали и тефлона. Кристаллы перемещаются на1 позицию подачей импульса длительностью 1 с на пневматический клапан 115 В переменного тока, 36 мА или 24 В постоянного тока, 29 мА. 7-контактный электрический соединитель обеспечивает индивидуальные замыкания переключателя на землю для индикации текущей позиции кристалла.
|
|
|
|
|
Фиксатор кристаллов и стандартная крышка из нержавеющей стали |
Медная крышка головки |
Конусная головка (угол 45°) |
Вакуумные вводы
Датчик серии RSH-600 может быть оснащён плоской головкой для установки сверху через вакуумный ввод с уплотнительным кольцом (не входит в комплект). Для установки в вакуумную камеру сбоку датчик может быть оснащён конусной головкой (угол 45°). Стандартные крышки головки изготовлены из нержавеющей стали. Крышки головки также изготавливаются из меди для приложений, в которых температура может создавать проблемы.
Датчики RSH-600 изготавливаются с разной глубиной ввода в вакуумную камеру:
- глубина ввода в вакуумную камеру = до 200 мм
- глубина ввода в вакуумную камеру = до 350 мм
- глубина ввода в вакуумную камеру = до 450 мм
- глубина ввода в вакуумную камеру = до 540 мм
- глубина ввода в вакуумную камеру = до 650 мм
- Также возможно изготовление датчика с глубиной ввода в вакуумную камеру до 860 мм.
Преимущества
- 6 кристаллов
- Обратная связь по положению
- Регулируемая длина
- Прочная конструкция
Каталог по контроллерам и кварцевым измерителям толщины тонких пленок Inficon (PDF, Русский, 6 МБ)
Информация для заказа
Вращательная головка датчика – датчик RSH-600
Для заказа Вам нужно составить код, вставив в формулу вместо букв a , b, c нужные цифры.
|
1 |
5 |
3 |
2 |
0 |
a |
- |
b |
c |
|
a |
Тип датчика: |
|
b |
Длина датчика (глубина ввода в вакуум) |
|
c |
Напряжение: 115 В – 1; 24 В - 2 |
Технические характеристики
Технические характеристики RSH600
|
Число кристаллов |
6 |
|
Размер кристалла |
диаметр 0,55 дюйма |
|
Отверстие для установки |
диаметр 2,0 дюйма |
|
Габаритная длина |
См. Габаритные размеры |
|
Регулируемая глубина ввода в вакуумную камеру |
См. Габаритные размеры |
|
Потребляемое электропитание |
115 В переменного тока 50 мА или 24 В постоянного тока 20 мА |
|
Способ переключения кристаллов |
регулируемая подача воздуха: 55psi (4 кг/см2) |
|
Способ охлаждения |
расход воды 5 л/мин. при 2 кг/см2 (не допускать замерзания) |
|
Фитинги для подачи воды или воздуха |
(1) ¼-дюймовый быстроразъёмный фитинг для подачи воздуха, (2) ?-дюймовых обжимных фитинга для воды |
|
Макс. температура прогрева без водяного охлаждения |
130°C |
|
Рабочая температура |
макс. 300 °C с водяным охлаждением и стандартной крышкой головки |
|
Масса |
прибл. 3,8 кг, в зависимости от габаритной длины |
Список запасных частей
|
Номер для заказа |
Описание |
|
153202 |
Регулируемый фланец |
|
153204 |
Фиксатор кристаллов – плоский |
|
153204-2 |
Фиксатор кристаллов – конусный |
|
153706 |
Пружинный замок – плоский |
|
153707 |
Электромагнитный клапан 24 В постоянного тока |
|
153708 |
Крышка головки из нержавеющей стали – плоская |
|
153709 |
Фиксирующий винт для плоского фиксатора кристалла |
|
153710 |
Держатель кристалла – плоский (153709 в комплекте) |
|
153713 |
Крышка головки из нержавеющей стали – конусная |
|
153714 |
Пружинный замок – конусный |
|
153715 |
Фиксирующий винт для конусного фикстора кристалла |
|
153716 |
Держатель кристалла – конусный |
|
153722 |
Блок контактов для передачи сигналов и заземления |
|
153724 |
Комплект контактов с пружинным замком – плоский (6 шт.) |
|
153726 |
Пружинный контакт для фиксатора кристалла |
|
153731 |
Медная крышка головки – плоская |
|
153731-2 |
Медная крышка головки – конусная |
|
889128 |
7-контактный вилочный электрический соединитель |
|
889128-2 |
7-контактный розеточный электрический соединитель |
|
144-101 |
M3 x 6 винт с головкой под торцевой ключ для плоского фиксатора кристалла |
Габаритные размеры
