Расходные материалы и запчасти для техпроцесса и установок Auto306 и Auto500
Лодочки, нити накала, корзинки, кристаллы для контроля толщины напыления и футеровка тиглей для электронно-лучевого напыления |
Компания HHV Ltd предлагает целый ряд расходных материалов для технологического процесса, запчастей и вспомогательных устройств для вашей системы нанесения покрытий.
Номенклатура расходных материалов для технологического процесса была специально подобрана для использования вместе с оригинальными резистивными и электронно-лучевыми источниками установок E306, Auto306 и Auto500.
Поставляются дополнительные или сменные приспособления для технологического процесса, такие как держатели нитей накала, нагреватели подложек и подложкодержатели, изготовленные по оригинальным чертежам с соблюдением стандарта качества компании Edwards. Вы можете заменить изношенные приспособления новыми или усовершенствовать вашу установку, добавив дополнительные или альтернативные источники.
Каталог установок нанесения тонких пленок HHV
HHV Ltd может также предоставить расходные материалы для более старых установок Edwards, таких как S150B, E306, 12E, 19E, E610 – пожалуйста, свяжитесь с специалистами «Вакуум Техно» , если у вас есть особые требования.
Вольфрамовые нити накала |
Вольфрамовые корзинки |
Вольфрамовые, молибденовые и танталовые лодочки |
Тип |
Описание |
A |
B |
C |
D |
Типовой |
Номер |
Соответствующий |
WA2 |
Вольфрамовая нить накала |
75 |
4,8 |
25 |
- |
40-60 |
100102 |
H01401002 |
WA4 |
Вольфрамовая нить накала |
75 |
6 |
25 |
- |
40-60 |
100104 |
H01401003 |
WB2 |
Вольфрамовая корзинка |
75 |
4,8 |
12 |
- |
40-60 |
100152 |
H01401022 |
WB6 |
Вольфрамовая корзинка |
75 |
13 |
12 |
- |
80-100 |
100156 |
H01401023 |
MC1 |
Молибденовая лодочка с углублением |
50 |
5 |
1,5 |
6 |
60-70 |
100201 |
H01401040 |
WC1 |
Вольфрамовая лодочка с углублением |
50 |
5 |
1,5 |
6 |
70-80 |
100202 |
- |
TC1 |
Танталовая лодочка с углублением |
50 |
5 |
1,5 |
6 |
50-60 |
100203 |
- |
MC3 |
Молибденовая лодочка с углублением |
50 |
9 |
3 |
10 |
100-120 |
100301 |
H01401041 |
WC3 |
Вольфрамовая лодочка с углублением |
50 |
9 |
3 |
10 |
140-150 |
100302 |
- |
TC3 |
Танталовая лодочка с углублением |
50 |
9 |
3 |
10 |
100-120 |
100303 |
- |
Футеровка тигеля электронно-лучевого источника EB3 и нити накала
Эти футеровки тигеля электронно-лучевого источника EB3 специально подобраны для компактного электронно-лучевого источника EB3. В наличии есть футеровки из графита, молибдена, нитрида бора, интерметаллических соединений и оксида алюминия.
Мы предлагаем сменные нити накала для источника EB3. Нить накала EB3 также подходит для более старого источника Edwards EB1.
Тип |
Описание |
Номер |
Соответствующий |
4CCGR |
Графитовая футеровка для источника EB3 с тиглем объемом 4куб.см |
100401 |
E09088030 |
4CCMO |
Молибденовая футеровка для источника EB3 с тиглем объемом 4куб.см |
100402 |
E09088031 |
4CCBN |
Футеровка из нитрида бора для источника EB3 с тиглем объемом 4куб.см |
100403 |
- |
4CCIN |
Интерметаллическая футеровка для источника EB3 с тиглем объемом 4куб.см |
100404 |
E09088032 |
4CCAO |
Футеровка из оксида алюминия для источника EB3 с тиглем объемом 4куб.см |
100405 |
- |
EB3FIL |
Нить накала для источника EB3 (также подходит для EB1) |
100411 |
E03615005 |
Кварцевые кристаллы для контроля толщины напыления
Кварцевые кристаллы высокого качества, диаметром 14 мм и частотой стабилизации 6 МГц предназначены для использования в составе устройств контроля толщины пленки FTM5, FTM6 и FTM7.
Надежные и качественные кварцевые кристаллы производства HHV также используются в составе устройств контроля и контроллерах, изготовленных компаниями Sigma, Inficon и другими производителями. Компания HHV выпускает кварцевые кристаллы с покрытием из золота и серебра.
Тип |
Описание |
Номер |
Соответствующий |
CRYS01 |
Кварцевый кристалл диаметром 14мм, с частотой 6МГц, покрытый золотом |
300021 |
E08668000 |
CRYS02 |
Кварцевый кристалл диаметром 14мм, с частотой 6МГц, покрытый серебром |
300022 |
- |
Запасные части и вспомогательные устройства
Код |
Описание |
D15701042 |
Фторопластовая прокладка Scancoat6 |
E00100202 |
Нитриловая прокладка Scancoat6 |
E00100234 |
Изолирующая втулка излучателя с фланцем |
E02512000 |
Набор куполообразных вакуумных колпаков |
E02701003 |
Угольный стержень 6,35 X длина 120мм |
E02703004 |
Металлокерамический под 6-позиционный EBS, комплект из 5 шт. |
E03300012 |
Изолирующая втулка |
E03615005 |
Нить накала для источников EB1/EB3, комплект из 10 шт. |
E03615015 |
Магнит для источника с отклоняющимся лучом |
E03615017 |
Интерметаллический под футеровки |
E03615018 |
Медный под тигля для источника с отклоняющимся лучом |
E03615021 |
Графитная футеровка пода для источника с отклоняющимся лучом |
E03619015 |
Нити накала для 6-позиционного EBS, комплект из 5 шт. |
E04805011 |
Прокладка 12" Витон для камеры E306 / Auto306 |
E05201000 |
Охлаждающий палец для образца |
E06900067 |
Закрытая защита от раздавливания E306A |
E06900155 |
Открытая защита от раздавливания E306A |
E06902002 |
Стеклянный цилиндр рабочей камеры 12" x 14" E306A |
E08508040 |
Формообразующее устройство для угольного стержня размером 3mm |
E08519011 |
Неподвижный цанговый зажим 6,35мм |
E08519012 |
Подвижный цанговый зажим 6,35мм |
E08519013 |
Подвижный цанговый зажим 3мм |
E08519015 |
Пружинный графитовый источник-испаритель |
E08519018 |
Слюдяной изолятор C Evs |
E08519022 |
Неподвижный цанговый зажим 3мм |
E08519030 |
Угольный стержень 3мм X 300мм, комплект из 20 шт. |
Одиночный резистивный источник E09028000 | Графитовый источник-испаритель E09039000 |
Код |
Описание |
E08535000 |
Магнитный держатель сетки ПЭМ для Rotatilt3 |
E08569003 |
Кабельная оплетка в сборе |
E08570011 |
Электромотор и коробка подач Rotatilt 3 |
E08571000 |
Держатель сетки ПЭМ размером 3mm для Rotatilt 3 |
E08572000 |
Планетарный подложкодержатель СЭМ для Rotatilt 3 |
E08573000 |
Плоский подложкодержатель для Rotatilt3 |
E08664000 |
Устройство контроля толщины пленок FTM6 |
E08666000 |
Генератор и кабель FTM5/FTM6/FTM7 |
E08667000 |
Кварцедержатель FTM5/FTM6/FTM7 |
E08667002 |
Кабельная сборка, длина 750мм |
E08667018 |
Запасной пружинный держатель |
E08668000 |
Запасные кристаллы FTM5/6/7, комплект из 5 шт. |
E08669000 |
Устройство контроля толщины пленок FTM7 |
E08703047 |
Стеклянный цилиндр S150A/B ETD4 Scancoat 6 |
E08703048 |
Защита от раздавливания для S150A |
E08712072 |
Медная мишень для Scancoat 6 и S150B |
E08732000 |
Платиновая мишень для Scancoat 6 и S150B |
E08733000 |
Золотая/палладиевая мишень, SC6 и S150B |
E08734000 |
Железная мишень для Scancoat 6 и S150B |
E08741000 |
Заслонка для Scancoat 6 и S150B |
E08742000 |
Держатель металлургических образцов для S150B |
E09020000 |
Подъемник куполообразных вакуумных колпаков для Auto306 |
E09021000 |
Устройство тлеющего разряда Plasmaglo |
E09022000 |
Тренога |
Электронно-лучевой источник EB3 E09072000, запасные части и вспомогательные устройства
Код |
Описание |
E09023000 |
Отражательная плита |
E09024000 |
Кварцевый ламповый нагреватель мощностью 500Вт |
E09025000 |
Шина постоянного тока устройства тлеющего разряда |
E09026000 |
Радиационный нагреватель для Auto 306 |
E09027000 |
Набор стеклянных цилиндрических камер для Auto 306 |
E09028000 |
Держатель нитей накала для Auto 306 |
E09029000 |
Привод подложкодержателя Rotatilt 3 |
E09032000 |
Заслонка источника с ручным приводом |
E09033000 |
Многопозиционный переключатель низкого напряжения |
E09035000 |
Регулятор тока ВН/НН |
E09037018 |
Изолятор Pvzm0300 |
E09037019 |
Изолятор Pvzm0301 |
E09037026 |
Интерметаллический под, комплект из 5 шт. |
E09038000 |
Резистивный источник на четырехпозиционном поворотном столике |
E09038018 |
Изолятор, наружная часть с разъемной втулкой |
E09038019 |
Изолятор, внутренняя часть с разъемной втулкой |
E09038029 |
Запасная гибкая муфта |
E09039000 |
Графитовый источник-испаритель |
E09044000 |
Электромагнитный привод заслонки |
E09045000 |
Контроллер электромагнитной заслонки источника |
E09046000 |
Электронно-лучевой источник EB1 |
E09049000 |
Поворотный подложкодержатель для Auto306 |
E09049000 |
Поворотный подложкодержатель 260мм |
E09052000 |
Блок питания ВН для Auto 306 |
E09058000 |
Кольцо подложкодержателя |
E09060000 |
Блок питания на 3кВт для EB3, 50Гц |
E09061000 |
Блок питания на 3кВт для EB3, 60Гц |
E09062000 |
Противовес верхней плиты |
E09063000 |
Трансформатор НН 100A/200A |
E09064000 |
Трансформатор НН 10В 90A/30В 30A |
E09065000 |
Комплект для автоматического газоотвода |
E09066000 |
Купол подложкодержателя |
E09070000 |
Трансформатор НН 350A |
Вакуумные вводы E10014000 и E10034000 | Изоляторы E09038018 и E09038019 |
Код |
Описание |
E09072000 |
Электронно-лучевой источник-испаритель EB3 |
E09080000 |
Комплект вводов для EB3 |
E09081000 |
Датчик расхода воды для EB3 |
E09082000 |
Блок развертки луча по X-Y |
E09083000 |
Комплект электроприводов поворотного столика для EB3 |
E09084000 |
Комплект ручных приводов для EB3 |
E09088030 |
Графитовая футеровка для тигля объемом 4куб.см |
E09088031 |
Молибденовая футеровка для тигля объемом 4куб.см |
E09088032 |
Интерметаллическая футеровка для тигля объемом 4куб.см |
E09090000 |
Камера FL400 с фронтальной загрузкой |
E09091000 |
Футеровки камер для FL400 |
E09092000 |
Вспомогательное перископное оборудование |
E09093000 |
Комплект для бокового монтажа EB3 для камеры FL400 |
E09303000 |
Магнетронный источник EPM75 |
E09304000 |
Магнетронный источник EPM100 |
E09702001 |
Конический алюминиевый тигель объемом 2куб.см |
E09702002 |
Конический алюминий-нитридный тигель объемом 2куб.см |
E09702003 |
Конический бор-нитридный тигель объемом 2куб.см |
E09702011 |
Цилиндрический алюминиевый тигель объемом 2куб.см с кварцевой вставкой |
E09702012 |
Цилиндрический алюминий-нитридный тигель объемом 2куб.см с кварцевой вставкой |
E09702013 |
Цилиндрический бор-нитридный тигель объемом 2куб.см с кварцевой вставкой |
E10001001 |
Заглушка NW10 |
E10004001 |
Заглушка NW25 |
E10014000 |
Вакуумный ввод НН с клеммой "земля" / "масса" |
E10024000 |
Водоохлаждаемый вакуумный ввод |
E10031000 |
Вакуумный ввод 7EK10 |
E10034000 |
Вакуумный ввод 6EK25 |
E10041040 |
Поворотный вакуумный ввод 4RK10 |
E10044040 |
Поворотный вакуумный ввод 8RK10 |
E10044120 |
Поворотный вакуумный ввод 12RK10 |
E10054000 |
Вакуумный ввод TL8K25 |
E10074000 |
Заземление, удлинитель вакуумного ввода 6EK25 |
E10074005 |
Удлинитель вакуумного ввода 10EK25 |