Установки напыления тонких пленок HHV TF600 для лабораторных НИОКР или производства
Установка напыления тонких пленок HHV TF600 дает возможность использовать полный диапазон методов нанесения для НИОКР и производства и разработана для повышенных требований к технологическому процессу. Заказчики могут выбрать между рентабельной системой управления ПЛК или полной системой управления на базе ПК с обширной возможностью управления технологическим процессом. Камера шириной 600мм откачивается на выбор турбомолекулярными насосами или крионасосами, которые обладают достаточной скоростью откачки, обеспечивающей надлежащие условия работы ионных источников для ионного-лучевого напыления или травления.
Конструкция установки напыления тонких пленок TF600 позволяет использовать различные модификации камер шириной 600мм, располагать подложку и верхнюю плиту согласно требованиям заказчика, а также выбирать устройства напыления и откачных систем высокой производительности, что делает ее исключительно гибкой платформой для исследований и производства.
Установка напыления тонких пленок TF600 с управлением на базе ПЛК
Компания HHV предлагает в качестве эффективного средства напыления в операторском режиме установку напыления тонких пленок TF600. Установка TF600 с управлением на базе ПЛК - эффективное, но доступное по цене средство для НИОКР. ПЛК промышленного исполнения с сенсорной панелью позволяет управлять вакуумной установкой, пока оператор занят устройствами напыления.
Дополнительные возможности управления технологическим процессом позволяют выполнять циклы многослойного напыления нажатием одной кнопки.
Каталог установок нанесения тонких пленок HHV
|
|
|
|
Камера TF600 с электронно-лучевым источником мощностью 6 кВт, источником распыления и резистивными источниками размером 4” |
Установка напыления TF600 |
Установка напыления тонких пленок TF600 с управлением на базе ПК для современных исследований и производства
Установка напыления тонких пленок TF600 комплектуется полной системой управления на базе ПК. ПК обеспечивает работу системы диспетчерского контроля и сбора данных (SCADA) на базе ОС Windows с использованием программного обеспечения, удовлетворяющего промышленным стандартам. Весь набор команд по управлению технологическим процессом предоставляется посредством индивидуальных настроек дополнительного устройства, которые появляются на 'всплывающем' окне полноразмерного цветного экрана.
Система управления обеспечивает автоматический контроль последовательности выполнения операций и регистрации данных при нанесении покрытий, а также управление и контроль вакуумной установкой.
|
|
 |
|
Пульт управления установки TF600 на базе ПК |
Камера TF600 |
Функциональные характеристики установки TF600
Технологические процессы напыления
- Резистивный источник, электронно-лучевой источник, источники распыления на постоянном и ВЧ токе
- Ионно-лучевые источники для травления и напыления
- Управление источником и вспомогательным устройством в ручном режиме
- Кварцевый датчик для контроля процесса напыления
- Полное управление процессом напыления с использованием ПК
Камеры
- Стандартная камера TF600 шириной 600мм, высотой 500мм со смотровым окном диаметром 100мм и футеровкой камеры
- Расширенные возможности по высоте для специального применения
- Водоохлаждаемые варианты камеры для использования при высокотемпературном нагреве подложек
Средства управления и обеспечения безопасности
- Контроллер системы на базе ПЛК с сенсорным дисплеем для управления вакуумной установкой
- Использование ПК для контроля работы комплексной вакуумной установки и программного обеспечения управления технологическим процессом
- Автоматический высоковакуумный клапан служит для защиты насосов и технологического процесса
- Комплексные блокировочные устройства обеспечивают максимальную безопасность оператора
- Auto600 имеет маркировку ЕС
Вакуумные установки
- Турбомолекулярные насосы на магнитом подвесе производительностью 1600 л/с или 2200 л/с
- Крионасосы производительностью 1500 л/с или 3500 л/с
- Безмасляный спиральный форвакуумный/вспомогательный насос