Вакуумные насосы EBARA VOS100
Насосы EBARA VOS100 имеют самое высокое отношение скорости откачки к габаритным размерам среди всех представленных на рынке средств сухой вакуумной откачки. Модель VOS100 основана на базе многоступенчатого насоса Рут уникальной конструкции и предназначена для установки на очень близком расстоянии к камере технологического процесса.
Насосы серии VOS обладают великолепными показателями быстроты действия при минимальном весе, имея очень компактную конструкцию. Отсутствует необходимость в подаче азота для чистых процессов. Исполнение "Р" подходит для откачки агрессивных газов (например, в процессах травления).
Преимущества вакуумных насосов серии VOS:
- Компактные габаритные размеры. Идеально подходят для интеграции в системы
- Низкая стоимость владения
- Использование энергосберегающих двигателей постоянного тока
- Нет необходимости продувки азотом в чистых процессах
Каталог сухих форвакуумных насосов и систем нейтрализации опасных газов Ebara (Япония)
Технические характеристики вакуумных насосов серии VOS
|
Характеристики/Модель |
VOS100 |
VOS100P |
|
Быстрота действия, м3/час |
108 |
102 |
|
Предельное остаточное давление, мбар |
1.2х10-2 |
1.2х10-2 |
|
Соединительный фланец |
KF 50 |
KF 50 |
|
Тип охлаждения |
водяное |
водяное |
|
Расход охлаждающей воды, л/мин |
1.5-3 |
1.5-3 |
|
Расход азота на продувку, л/мин |
0 |
11-13 |
|
Габаритные размеры, ДхШхВ, мм |
450 х 230 х 275 |
450 х 230 х 275 |
|
Масса, кг |
60 |
60 |