Cухие вакуумные насосы типа Рут (Серия ESR)

Серия ESR - это многоступенчатые сухие вакуумные насосы типа Рут, специально разработанные для применения в технологических процессах, таких как: высокотемпературная обработка, осаждение тонких пленок (PVD-процессы) и ионно-плазменное травление, откачка вакуумных камер большого объема, а также и других процессах связанных с откачкой чистых сред и сред со средним уровнем загрязнения.

Многоступенчатые сухие вакуумные насосы типа Рут Насосы серии ESR высокой производительности имеют дополнительную ступень в виде встроенного сухого бустерного двухроторного насоса.

Насосы серии ESR обладают быстротой действия от 78 до 2760 м3/ч.

Нужно отметить, что насосы серии ESR имеют очень низкую стоимость владения за счет использования многоступенчатой конструкции с применением двигателей постоянного тока и интеллектуальной системы управления двигателем. Эти усовершенствования позволяют снизить потребление электроэнергии, охлаждающей воды и азота по сравнению с насосами, работающими на двигателях переменного тока. Интеллектуальная система управления позволяет настраивать насос на определенную степень вакуума, а также на переход в режим ожидания, когда насос не используется. Для применения в «чистых» технологических процессах продувка азотом не требуется. Для откачки агрессивных и ядовитых газов используется встроенная система продувки азотом (с экономичным расходом). Очень высокая химическая стойкость деталей проточной части насосов обеспечивается использованием запатентованных сплавов с высоким содержанием никеля.

Сухие вакуумные насосы EBARA имеют целый ряд неоспоримых преимуществ, что позволяет их считать наиболее оптимальным средством откачки в самых ответственных процессах.


ESR80WN

Преимущества вакуумных насосов серии ESR:

- Самая низкая стоимость владения в своем классе
- Компактная конструкция
- Широкий диапазон производительностей
- Использование высокотехнологичных безщеточных двигателей постоянного тока
- Интеллектуальная система управления
- Насосы имеют международные сертификаты: ЕС, Национальной Поверочной Лаборатории полупроводников, Международной организации полупроводникового оборудования и материалов S2 и подходят для использования в чистых помещениях

Каталог сухих форвакуумных насосов и систем нейтрализации опасных газов Ebara (Япония)

Технические характеристики

Характеристики/Модель	ESR20N	ESR30N	ESR80WN	ESR200WN	ESR300WN	ESR500WN
Быстрота действия, м3/час	78-120	90-180	240-600	600-1200	900-1800	2760
Предельное остаточное давление, мбар	2х10^-2	6.7х10^-3	2х10^-3	2х10^-3	2х10^-3	2х10^-3
Соединительный фланец	KF 40	KF 50	KF 50	ISO-K 100	ISO-K 100	ISO-K 100
Максимальная потребляемая мощность (при минимальном остаточком давлении), кВт	2.8 (0.7)	3.5 (1.7)	4.5 (1.0)	5.6 (2.1)	7.5 (2.9)	7.9 (3.1)
Расход охлаждающей воды, л/мин	2-8	2-8	2-8	2-8	3.5-8	3.5-8
Расход азота на продувку, л/мин	2-12	2-12	2-12	2-12	2-12	2-12
Габаритные размеры, ДхШхВ, мм	695 х 280 х 370	760 х 400 х 488	720 х 380 х 705	850 х 380 х 705	825 х 460 х 880	975 х 460 х 880
Масса, кг	105	190	200	250	390	500