Сухие насосы EBARA серии ESA

Сухие насосы EBARA серии ESA предназначены для откачки незагрязненных сред и специальных применений. Насосы спроектированы для работы в условиях высокой газовой нагрузки и высокой быстроты действия. Насосы серии ESA обладают быстротой действия от 150 до 3000 м3/ч.


ESA25-D	ESA70W-D	ESA300W

Модели ESA25-D, ESA75W-D и ESA200W специально спроектированы для откачки в процессах с повышенным содержанием водорода, а 3-х лепестковая конструкция многоступенчатого насоса Рут позволяет предотвратить обратное натекание водорода в откачиваемый объем. Модели ESA300W и ESA500W идеально подходят для откачки загрузочных камер большого объема и откачки систем производства жидко-кристаллических панелей.

Преимущества:

- Высокопроизводительный базовый насос c возможностью регулирования частоты вращения
- Высокая скорость откачки, даже в диапазоне давлений, близких к атмосферному
- Использование высокотехнологичных бесщеточных двигателей постоянного тока
- Интеллектуальная система управления
- Возможность работы насоса при высоких температурах для предотвращения конденсации
- Низкий уровень шума и вибраций
- Низкое потребление электроэнергии, азота, охлаждающей воды
- Режим ожидания для экономии электроэнергии

Каталог сухих форвакуумных насосов и систем нейтрализации опасных газов Ebara (Япония)

Технические характеристики

Характеристики/Модель	ESA25-D	ESA70W-D	ESA200W	ESA300W	ESA500W
Быстрота действия, м3/час	150	420	1200	1680	3000
Предельное остаточное давление, мбар	2х10^-2	2.7х10^-3	5.3х10^-3	5.3х10^-3	1х10^-2
Соединительный фланец	KF 50	KF 50	KF 80	ISO-K 100	ISO-K 160
Максимальная потребляемая мощность (при минимальном остаточком давлении), кВт	3.7 (2.6)	5.9 (3.6)	4 (3.4)	11 (6.6)	24.1 (6.7)
Расход охлаждающей воды, л/мин	3.5-8	3.5-8	3.5-8	6-9	6-9
Расход азота на продувку, л/мин	11-13	14-16	11-13	5-7	5-7
Габаритные размеры, ДхШхВ, мм	1074 х 394 х 520	985 х 400 х 770	970 х 400 х 907	1110 х 620 х 945	1110х 620х1010
Масса, кг	240	300	420	700	750