Вакуумные насосы серии PDV
Вакуумные насосы серии PDV - это компактные сухие винтовые вакуумные насосы, которые обеспечивают создание чистого и стабильного вакуума для полупроводниковой промышленности, в процессах нанесения тонких пленок, фотолитографии, биомедицинской и фармацевтической промышленности, а также при применении во всех отраслях науки и техники, когда требуется чистый безмасляный вакуум.
Сухие вакуумные насосы серии PDV имеют привлекательную стоимость и служат для замены спиральных насосов и масляных пластинчато-роторных насосов. Конструктивно насосы серии PDV - это сухие двухступенчатые винтовые вакуумные насосы.
Вакуумные насосы серии PDV не требуют технического обслуживания и имеют очень низкую стоимость владения, а наличие интерфейса для удаленного управления и контроля позволяет контролировать параметры откачки, управлять включением и выключением насоса через систему управления установкой.
В отличие от спиральных насосов, насосы серии PDV не имеют в рабочей камере пар трения, следовательно, Вам не придется, как в спиральных насосах, менять уплотнения, а какое-либо загрязнение откачиваемого объема продуктами износа уплотнений или ухудшение степени сжатия в процессе эксплуатации конструктивно исключено.
Компания Ebara имеет большой опыт производства винтовых насосов. Насосы винтовой конструкции одни из самых стойких к загрязнениям. И хотя насосы серии PDV разрабатывались для откачки чистых сред, именно высокопроизводительные винтовые вакуумные насосы Ebara используются для откачки агрессивных сред и сред с высоким содержанием мелкодисперсных частиц, например, в полупроводниковом производстве.
|
|
|
PDV250 |
PDV500 |
Технические характеристики
|
Характеристики/Модель |
PDV250 |
PDV250-GB |
PDV500 |
PDV500-GB |
|
Быстрота действия, л/мин∗ |
230 |
230 |
500 |
500 |
| Быстрота действия с подключенным газовым балластом, л/мин∗ |
- | 200 | - | 430 |
|
Предельное остаточное давление, мбар∗ |
5.0х10-3 |
5.0х10-3 |
5.0х10-3 |
5.0х10-3 |
| Предельное остаточное давление с подключенным газовым балластом, мбар | - |
2.0х10-2 | - | 2.0х10-2 |
|
Соединительный фланец |
KF 25 |
KF 25 |
KF 40 |
KF 40 |
|
Тип охлаждения |
воздушное |
воздушное |
воздушное |
воздушное |
|
Автоматический клапан газобалласта |
- |
Подвод сухого воз- духа или азота |
- |
Подвод сухого воз- духа или азота |
|
Габаритные размеры, ДхШхВ, мм |
168 х 442 х 273 |
168 х 442 х 273 |
185 х 467 х 305 |
185 х 467 х 305 |
|
Масса, кг |
15 |
15 |
20 |
20 |
∗ - Значение приведено по воздуху. В случае откачки иных газов (в том числе легких) значение может отличаться от приведенного.
Насосы серии PDV являются идельным решением если Вам требуется максимальная чистота откачной системы, максимальный ресурс и низкие эксплуатационные затраты. Синхронизация вращения винтовой пары осуществляется с помощью магнитной муфты, винты вращаются без контакта друг с другом, уплотнения неизнашиваемые бесконтактные - в насосах PDV практически нечему изнашиваться и ломаться. Единственный элемент имеющий ограниченный ресурс - это подшипниковый узел, но в насосах PDV вращающиеся части легкие и идеально сбалансированы (например, в спиральных насосах это конструктивно не возможно) и нагрузка на подшипники невелика. Благодаря этому ресурс подшипников около 70 000 часов. Таким образом ресурс наиболее изнашиваемой части в насосах PDV превосходит ресурс большинства современных форвакуумных насосов в целом с учетом техобслуживания и капитальных ремонтов. Если Вам нужно оборудование, которое не требует обслуживания, то насосы PDV отличный выбор. В насосах серии PDV используются подшипники с консистентной смазкой, аналогичные тем, что используются в современных сухих турбомолекулярных насосах.
Преимущества:
- Отсутствие пар трения и изнашивающихся элементов в рабочей камере
- Сухие необслуживаемые подшипники с консистентной смазкой
- Низкие энергопотребление и шум
- Встроенная система самодиагностики
- Воздушное охлаждение
- Правильная геометрическая форма и продуманное расположение фланцев для удобного встраивания в любую вакуумную установку
- Встроенный обратный клапан на выхлопе
- Газобалластный клапан для лучшего откачивания влажных и легких газов
- Компактные габаритные размеры и вес
- Практически не требуется техническое обслуживание
- Очень высокий ресурс
- Переносная конструкция
- Встроенный LCD дисплей
- Возможность удаленного управления
Для большинства современных вакуумных установок, вибрация, создаваемая форвакуумными насосами является крайне нежелательным фактором, поэтому нередко форвакуумные насосы устанавливают отдельно от откачиваемых ими установок и применяют специальные демпферы. Насосы Ebara позволяют решить эту проблему проще. Так как подвижные части в насосах PDV - это идеально отбалансированные роторы, совершающие вращательное движение, насос практически не создает вибраций.
Одно из типичных применений насосов серии PDV это форвакуумная откачка высоковакуумных систем с турбомолекулярными, криогенными и магнито-разрядными насосами. Использование насосов PDV в таких системах позволяет улучшить чистоту системы за счет полного отсутствия углеводородов, сократить работы по техническому обслуживанию.
В насосах PDV имеется встроенная система самодиагностики, эта функция обеспечивает очень простую эксплуатацию и обслуживание насосов. Насосы PDV способны работать даже при нестабильном электропитании, они продолжают работу даже при "просадке" напряжения до 85В на период до 1с. Стабильность работы при нестабильном питании обеспечивается за счет того что, электродвигатели насоса и управляющая электроника питаются от встроенного стабилизированного источника постоянного тока и насос нечувствителен к колебаниям питающего напряжения.
Инструкция: Вакуумный насос с сухим уплотнителем. PDV 250-GB/PDV 500-GB
Каталог сухих форвакуумных насосов и систем нейтрализации опасных газов Ebara (Япония)